国外空气洁净技术发展的若干现状

本文仅以微电子工业的发展对空气洁净技术提出的要求为中心，介绍了国外在分子态化学污染控制，高洁净度微环境控制，新型洁净产品开发以及大型洁净室运行节能等方面，在近几年中的技术进展。     

微电子工业与洁净技术的发展

介绍微电子技术的特点与应用领域，以及对微环境系统与洁净技术的要求。     

SMIF隔离技术的洁净微环境——洁净技术的新发展

叙述了当今世界空气净化的新概念--SMIF隔离技术。介绍了该项技术的国内研究发展情况。并以详细的技术对比数据显示了SMIF技术将成为21世纪高级别空气净化的主流。