X射线能谱分析的新进展

伴随着计算机技术的迅速发展,在近15年中X射线能谱仪及其分析方法突飞猛进。从1984年开始第三代的能谱仪问世,虽然它不仅可从事微区元素分析,而且可以进行图像处理和图象分析,成为发展最快使用最广的微区分析仪器。但是在超轻元素的分析、对谱线重叠的元素的定性分析、图像处理和图像分析的功能和速度方面还存在一系列问题有待改进。一:从1990年开始,出现了第四代能谱仪,目前正在第三代和第四代能谱仪的交替过程中,相信在不久的将来第四代能谱仪将在商品市场上完全替代第三代能谱仪。现以同一公司生产的这两代能谱仪在硬件方面的主要差别罗列于下:     

37cm0.39CDT荫罩母版合成中几个问题的探讨

本文系统的分析了在３７ｃｍ０．３９ＣＤＴ荫罩母版研制了所遇到的几个问题，论述了它们对母版合成的影响，提出了原稿与生干版之间垫透明介质层，利用点光源改变间距等行之有效地解决办法，成功地进行了３７ｃｍ０．３９ＣＤＴ荫罩母版的合成。     

X射线光电子能谱技术及其应用

X射线光电子能谱技术已广泛地用来分析和研究各种电子材料和元器件的质量、表面污染、界面状态及失效物理等。为了让从事电子材料和元件科研及生产的工程技术人员了解这种分析技术,作者结合教学与科研工作的一些体会,对它的工作原理、仪器结构和具体应用等作一些简要介绍。     

ESEM的特点及其X射线分析

环境扫描电子显微镜（ＥＳＥＭ）保留了传统扫描电子显微镜的全部优点，但取消了样品环境必须是高真空的限制，在气体压力高达６６００Ｐａ，温高达１５００℃，具有任何气体种类的多气环境里，ＥＳＥＭ都可提供高分辨率的二次电子成像。本文介绍了ＥＳＥＭ的特点、应用领域及Ｘ射线分析的有关问题。     

X射线能谱分析中对铁的百分含量修正的理论推导和实验测定

在KYKY-1000B扫描电镜上进行X射线能谱分析时,常出现附加的铁峰。本文从理论上对产生附加铁峰的原因作出了解释,并推导出附加铁峰强度和样品原子序数的函数关系的解析表达式,同时对附加的铁的百分含量进行了实验测量。由实验数据拟合得出的实验曲线和理论分析得出的表达很好地符合。     

三元尼龙/聚甲基丙烯酸甲酯共混物X射线能谱微区分析

本文利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)及图像处理系统对三元尼龙，聚甲基丙烯酸甲酯共混体系相结构进行了能谱微区分析，研究了一种利用钾元素标志尼龙相的方法，得到了共混物断面钾元素的面分布图。结果表明：X射线能谱微区分析方法可用于准确定性共混聚合物的相归属，为研究共混聚合物的相结构和相容性提供了一种新方法。     

软骨钙化的X射线能谱半定量分析

软骨钙化的Ｘ射线能谱半定量分析栗振宝，孙庆，潘力（白求恩医科大学电镜室，长春１３００２１）软骨的钙化过程实质上是钙盐在软骨内沉积的积累过程￣［１］。尽管人们一直关注这个问题，但并未完全清楚。本文利用透射电镜观察了钙盐在软骨细胞内外沉积的部位和形态，利...     

多相体系银焊条的X射线能谱定量分析

稀土银焊条属多相体系,它由低含量微细稀土氧化物弥散分布在银基体中所组成。文献[1][2]提出的多相体系样品电子探针定量分析法均由样品面扫描谱获得实验数据,对焊条中低含量的第二相元素,其峰强很低,实验误差大。因在银焊条中:基体对第二相各元素无荧光效应;基体对第二相各元素的质量吸收系数相近,第二相各元素特征x射线穿出基体时相对强度的变化可忽略,故基体、第二相之间的相互作用可忽略,宜用Russ法(即多相体系样品之平均成分由各单独相成分按其体积分数加和取得)进行定量分析。     

X射线衍射、X射线光电子能谱对PtSi薄膜形成机理的研究

促使物相尽可能地向Pt2Si和PtSi 转化,是PtSi薄膜工艺研究中的重要工作。文中通过用X射线衍射（ XRD）、X射线光电子能谱（XPS）微观分析手段对PtSi薄膜形成物相分步观察,研究了长时间变温退火、真空退火以及真空和保护气体（N2和H2）退火等工艺条件对溅射PtSi薄膜物相形成的影响。结果表明,氢气气氛退火能提高薄膜质量;真空退火可以减少氧元素对成膜的影响。     

关于“X射线能谱定量分析通则”国家标准制订的几个问题

Si（Li）探测器类的X射线能谱仪已广泛地应用于电子探针和扫描电镜的分析领域，据不完全统计，我国大约有500多台X射线能谱仪与电子探针或扫描电镜（包括透视电子显微镜）联用，已成为最为主要的微区元素分析的工具，发挥了重要的作用。但也存在着分析结果上的明显缺陷，严重地影响定量分析的质量，并导致许多不应有的研究成果谬误的发生，甚至在一些科技文献中常见到这些错误的数据。《电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则》（GB／T17359-1998）国家标准的制定，集国内外分析技术专家在这一领域的理论和实践经验，对X射线能谱定量分析制定了几个大的原则，并作为国家标准发布，以规范X射线能谱定量分析，这对于提高我国X射线能谱定量分析的质量，进而推进我国相关领域的科学研究和工农业生产的发展，将具有重要的意义。     

识别X射线能谱重叠峰的一种方法

本文提出了一种利用EDAX PV9900能谱仪半定量分析(SUPQ)中的峰背拟合(INTE)功能来正确识别X射线能谱重叠峰的可行方法,并以Ag-SnO_2-In_2O_3合金材料为试样给出了几则应用实例和相应的实验结果。初步研究表明,该方法结合定性分析(EDAX)中的谱线识别(ID)功能可正确识别两峰能量差△E仅为20-50eV,甚至△E～10eV,谱峰强度约为两倍背底标准差的重叠峰。     

X射线能谱数据采集卡的PCI改造

本文利用PCI接口芯片PCI9052，结合CPLD技术，成功地将基于ISA总线的X射线能谱数据采集卡改造为PCI总线模式，并详细介绍了PCI接口芯片PCI9052的硬件连接、译码和配置方法．以及应用DriverWorks进行WDM驱动程序开发的过程。     

用于红外探测的铱硅化物的X射线光电子能谱

用Ｘ射线光电子能谱方法测量了铱硅化物的芯能级谱。得到了与化学键有关的化学多和芯能级对称性变化方面的信息，提出了在ＩｒＳｉ／Ｓｉ肖特基势垒形成机理与界面外ＩｒＳｉ和Ｓｉ原子的化学键密切相关本文结果有益于解用铱硅化物肖特基势垒制备红外探测器。     

旅游鞋大底“喷霜”的X射线能谱分析法

本文用扫描电镜观察鞋大底“喷霜”物质的形貌,用X射线能谱仪对“喷霜”物质进行面扫描和定点分析,其元素的特征X射线能谱图表明鞋大底喷出的是硫磺和含锌颗粒,这一结果对改进炼胶工艺提供了准确可靠的依据。     

CDT荫罩堵孔的分析与对策

荫罩堵孔是管子在制造过程中产生的一种影响外观的恶性不良,对策起来相当困难。本文对40cm CDT生产线进行了调查分析,在荫罩孔堵的对策方面提出了自己的一点经验,希望能对同行们有所启发。     

X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用

Ｘ射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用唐圣明，徐梅娣，陈思琴，林绥娟（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）铝钛酸铅［Ｐｂ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ＿３，简称ＰＺＴ］是一种新型的铁电薄膜材料，具有独特的电学，光学性能，有很广泛的应用价值。ＰＺＴ薄膜与器件的制...     

X射线能谱分析方法及其在电镜酶细胞化学中的应用

近年来,X射线能谱分析和电镜酶细胞化学在许多领域中得到了广泛的应用.两者的结合把超微分析和超微观察密切结合起来,为超微结构的研究提供了可靠的分析手段.本文对X射线能谱分析的原理作简单地介绍,同时对X射线能谱分析在电镜酶细胞化学中的应用和实验方法进行了分析和讨论.