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平面变线距光栅(VLS)的基本原理与线距修正系数的检测 总被引:1,自引:1,他引:0
变线距光栅是一种自消部分象差的光学元件,本文提出了用激光束检测变线距系数的理论模型,计算表明变线距光栅的衍射波与平面波的干涉条纹可以用于检测变线距系数。 相似文献
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极紫外、软X-射线变线距平面光栅单色仪的研究 总被引:1,自引:2,他引:1
高性能极紫外、软X射线单色仪的研制对高亮度同步辐射光源的应用具有十分重要的意义。对Itou的变线距平面光栅单色仪作了详细的分析研究,发现它的光栅工作曲线几乎与单色仪的入、出射臂长度等参量无关,仅取决于单色仪设计的边界条件。其曲线方程和SX-700单色仪的完全类似。该单色仪不仅具有很好的光栅效率和高级次谐波抑制性能,而且有利于几条光束线共享一个电子储存环窗口的光路优化设计。 相似文献
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变线距光栅线密度的干涉测量 总被引:1,自引:2,他引:1
变线距光栅在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景,它的制作和检测方法尚未成熟。用干涉法测量变线距光栅的线密度,给出了测量原理、实验中的光路、数据处理的方法、测量结果。在待测光栅表面,衍射光干涉条纹的数量和密度是入射光干涉条纹和倍增后光栅的刻线之差。采用共光路的方案,使光路具有很强的抗干扰能力。用中值滤波消除干涉图像中的干扰。针对不同的干涉条纹,讨论和比较了两种测量方法,提出相对密度不变性。证明了干涉法完全可以用于变线距光栅的线密度测量,并能达到一定的精度,初步解决了检测问题,认为这种方法也可以用于变线密度光栅的加工中。 相似文献
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随着同步辐射光源中光束线的分辨率不断提高,衍射光栅成为影响分辨率的关键因素,因此,在将光栅安装到光束线之前,需要进行准确的测试。用长程面形仪测量合肥光源光电子能谱线所需的变线距光栅的线密度,光栅衍射角变化范围超出长程面形仪的测量范围,因此采用拼接测量。用数据重叠测试及数据处理方法,消除了转台定位误差,有效抑制了随机误差,使光栅周期测量的重复性有较大提高。不同重叠率的测试结果显示,测量一致性优于1.13×10-6(RMS),满足了变线距光栅的测试需求。 相似文献
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基于无源均匀媒质中标量电磁场量的平面波展开式 ,获得平面光栅衍射场分布的一般公式 ,其系数由光栅上场分布的傅里叶逆变换得到 ;作为特例 ,给出黑白光栅和正弦光栅衍射场分布的公式 ,与用菲涅耳 基尔霍夫积分公式法得到的结果一致 . 相似文献
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通过仪器获得的凹面光栅的衍射效率是相对值,其测量值的精度受测量过程和补偿方法的影响。为使效率测量值的测量精度得到进一步提高,有必要对测量值产生影响的主要因素进行深入研究。该文进一步考察了影响衍射效率测量精度的主要因素,针对待测凹面光栅根据待测波长的测试要求进行旋转造成光束截面变化而产生的问题,适当补充原理性方案,并在此基础上推导出了适用于凹面光栅的光束截面变化因子k(θ)的解析表达式。基于影响测量精度因素与理论值之间的非线性关系,提出采用二次非线性回归分析的方法对测量结果进行补偿,给出了提高衍射效率测量精度的补偿公式。实验结果表明,对光栅衍射效率的测量值进行进一步补偿后,使得补偿值与理论值之间的整体误差范围由±2.5%缩小为±0.3%以内,与线性回归分析方法相比,显著缩小了补偿值与理论值之间的差距,进一步保证了衍射效率的准确测量。将补偿过程嵌入测量程序,该方法能够实时补偿测量结果,满足仪器准确测量的要求。 相似文献
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The formalism of Rokushima and Yamakita [J. Opt. Soc. Am. 73 (1983) 901] treating the diffraction on planar multilayered 1D anisotropic gratings is extended to the diffraction on anisotropic 2D multilayer grating structures bi-periodic in the plane parallel to the interfaces. In addition to the oblique incidence of plane waves, the case of normal incidence is also treated. The goal of the paper is to provide a basis for the formal analysis of 2D patterned multilayers with natural or induced anisotropies. For example, such structures are of interest in the design of new magnetic and magneto-optic devices. In view of the fact that the anisotropies have often a negligible effect on the energy distribution among diffracted modes with respect to the isotropic case the optical response is alternatively expressed in terms of the ellipsometric parameters of diffracted waves. The present analysis represents generalization of the problem of electromagnetic wave interactions in planar multilayers consisting of layers characterized by a general permittivity tensor treated by Yeh [J. Opt. Soc. Am. 69 (1979) 742]. 相似文献
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利用二维耦合波理论,研究了用短波长记录全息光栅而用通讯波段内的长波长读出时,用于90°结构垂直读出平板型的光折变局域体全息光栅的衍射性质.讨论了局域体全息光栅的几何尺寸对其衍射效率及光栅布喇格选择性的影响.结果表明,随着光栅的纵向和横向尺寸的增加,光栅的衍射效率也逐渐增加.当光栅的纵向和横向尺寸发生改变但光栅的总面积不变时,光栅衍射效率保持不变.此外,随着光栅尺寸的增加光栅的布喇格选择性越好.在利用短波长记录全息光栅而用长波长读出的光学器件设计过程中,为了获得最佳的衍射效率及其布喇格选择特性,应当根据要求合理地设计光栅的几何尺寸. 相似文献
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计算凹面闪耀光栅衍射效率的通用方法 总被引:1,自引:0,他引:1
为使凹面光栅的衍射能量更多地集中在所需要的级次上,提出了利用机械刻划的方法在凹面基底上制作变刻槽角度的凹面闪耀光栅,并利用菲涅耳-基尔霍夫衍射公式推导了同时在主截面和非主截面内计算凹面闪耀光栅衍射效率的理论方法,弥补了以往只在主截面内考虑衍射效率的不足,最后利用Matlab仿真软件模拟了衍射效率随波长的变化曲线,并对比了在不同制作和使用参数下衍射效率峰值的变化规律,为今后凹面光栅的设计和制作提供了参考价值。 相似文献