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电子回旋共振等离子体技术 总被引:2,自引:0,他引:2
微波电子回旋共振是一种先进的低温等离子体技术,它具有优良的综合指标,提高了微电子,光电子集成电路制造工艺等应用领域中的低温等离子体加工水平,文章介绍了电子回旋共振等离子体产生原理,特点及重要的实验研究结果。 相似文献
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诊断电子回旋共振离子源等离子体的传统方法是采用传统的单探针无发射时测量伏安曲线,并根据曲线的拐点由理论公式计算出的等离子体密度。本文设计并研制了等离子体密度的测量装置。采用单根朗缪尔探针(该探针可以用来发射电子)测量等离子体的伏安特性。在探针有发射和无发射两种状态下测量得到两条伏安曲线,根据这两条曲线的"分叉点"得到等离子体电位,然后根据该电位直接由计算机计算出电子温度、电子密度。采用该新方法,测量得到的等离子体参量空间电位约为17 V,悬浮电位约为-5 V,电子温度约为4.4 eV,离子密度为1.10×1011cm-3,与传统方法计算出的等离子体1.12×1011cm-3相比,两者相差仅1.8%,但新方法效率和精度更高。 相似文献
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低气压、低温放电方面的一个重要的最新进展是电子回旋共振(ECR)放电。这种技术首先是在核聚变研究中发展起来的。最初,它被用于磁镜实验装置产生和加热等离子体,后来,又被发展成为托卡马克、串级磁镜等聚变装置实验中进行等离子体加热的主要手段之一,即电子回旋共振加热(ECRH)。目前,这一高技术已被移植到各种低温等离子体应用之中,显示了蓬勃的生命力。电子回旋共振微波等离子体是指:当输入的微波频率ω等于电子回旋共振频率ωce时,微波能量可以共振耦合给电子,获得能量的电子电离中性气体,产生放电。电子回旋频率为ωce=eB/m,e和m为电子电荷及其质量,B是磁场强度。 相似文献
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文章介绍了在电子回旋共振等离子体中的两类非线性现象:混沌和鞘.观察到准周期和锁频以及等离子体的基频振荡突变到四次谐波的现象,分析了锁频窗内的周期2分叉,测量了等离子体鞘,研究了二次电子发射对鞘的影响. 相似文献
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电子回旋共振微波等离子体技术在薄膜制备技术、材料的表面处理、离子源和等离子体刻蚀等方面得到了广泛的应用,取得了长足的进展。这些特点在ICF实验制靶过程中有重要应用,如调制靶等,而且加工精度高,能满足ICF制靶的要求。基于在未来的ICF实验中对各种有机膜制备、各种调制靶的制备需求,开展了电子回旋共振微波等离子体技术在薄膜制备和等离子体刻蚀方面的预研工作。 相似文献
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用紫外可见光透射光谱(UV-VIS)并结合键结构的X射线光电子能谱(XPS)和红外谱(FTIR)分析,研究了电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备的氟化非晶碳薄膜的光吸收和光学带隙性质.在微波功率为140—700W、源气体CHF3∶C6H6比例为1∶1—10∶1条件下沉积的薄膜,光学带隙在1.76—2.85eV之间.薄膜中氟的引入对吸收边和光学带隙产生较大的影响,吸收边随氟含量的提高而增大,光学带隙则主要取决于CF键的含量,是由于强电负
关键词:
氟化非晶碳薄膜
光吸收与光学带隙
电子回旋共振等离子体 相似文献
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在磁场中有不少的极性晶体,电子和体纵光学声子的耦合弱,而与表面光学声子的耦合强。本文讨论电子和体纵光学声子耦合弱,与表面光学声子耦合强时对表面磁极化子的性质的影响。采用改进了的线性组合算符法导出了磁场中表面极化子的回旋共振频率和回旋共振质量,对AgCl晶体进行了数值计算。结果表明,磁场中表面极化子的回旋共振频率和回旋共振质量随磁场的增加而增加。 相似文献
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徐耀聪 薛思文 刘永 徐德明 郭干城 丁玄同 陈妙文 余利木 蒋秀芳 李晓东 邓希文 王恩耀 杨思泽 姚鑫兹 V.V.ROZHDESTVENSKY B.V.SHISHKIN V.I.MALYGIN 《中国物理》1995,4(1):39-46
The electron cyclotron resonance heating (ECRH) experiments on HL-1 tokamak with 300kW of power generated by a gyrotron are described. With ECE diagnostics, a 30% increase of electron temperature has been obtained. The following phenomena have been observed with various diagnostics during ECRH: increase of radiation intensity of soft X-ray;amplitude change and period elongation of sawtooth oscillation; MHD instability suppression; increase of Hα spectral fine intensity and ionized impurity radiation from edge plasma;increase of the temperature and density of edge plasma. Although the total plasma energy content increases, the energy confinement time is decreased. Initial results of low voltage start-up experiments have also been obtained. 相似文献
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本文给出了1986年5月在HT-6B上进行的二倍频ECR预电离实验的结果。实验观察到只要回旋共振层落在托卡马克小截面内都可获得正常放电波形;等离子体电流基本上是和环电压同时出现的;等离子体环电压下降30%左右。同时还观察到ECR预电离对减少放电初期的硬X射线和轻杂质(CⅣ)的辐射有比较明显的作用。 相似文献