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高重复频率脉冲激光对光学薄膜的损伤 总被引:5,自引:0,他引:5
本文介绍了光学薄膜在高重复频率脉冲激光作用下的损伤阈值,与单次脉冲激光相比下降了二个数量级。论文并探讨了在高重复频率激光作用下光学薄膜损伤的主要原因及提高损伤阈值的方法。 相似文献
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ZrO2薄膜微结构及其抗激光损伤特性研究 总被引:1,自引:1,他引:0
通过分析ZrO2薄膜电子束沉积时氧压、衬底转动及温度对薄膜相结构、晶粒尺寸和粗糙度的影响,对ZrO2薄膜微结构特性与抗激光诱导损伤性能的关系进行了研究.ZrO2薄膜衬底无转动沉积时晶体以四方相为主,而转动沉积时形成具有较高激光损伤阈值的单斜相结构.薄膜晶粒尺寸和粗糙度均随氧压的升高而减小,四方相受氧压影响变化明显高于单斜相,氧压的继续升高使多晶形态向非晶形态逐渐转变.多晶结构的损伤阈值随着晶粒尺寸的减小而增高,薄膜表面粗糙度随着沉积温度的升高略有增加,且多晶结构的损伤阈值明显要高于非晶结构,ZrO2薄膜损伤阈值(E)与粗糙度(σ)基本符合关系:Eσα=β(α=1.41,β=2.25). 相似文献
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为了解决当前光学薄膜激光损伤阈值检测方法准确性差、可视化和灵活性不理想等难题,提出基于软件测试算法的光学薄膜激光损伤阈值检测方法。首先计算损伤阈值最终不确定度,并将不确定度计算结果代入损伤阈值检测中,然后利构成测量光路,激光在透镜上聚焦照射到待测样品上,根据测试软件程序对激光照射前后的图像进行预处理,判断是否存在损伤,若存在损伤,结合高斯光束理念获取有效光斑面积,最后损伤阈值,并进行了仿真实验,结果表明,该方法检测准确率和可视化程度高,且灵活性强。 相似文献
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本文对光学薄膜淀积过程中真空室的真空环境对薄膜激光损伤的影响了理论与实验方面的分析,对分子泵,扩散泵真空系统及扩散泵+离子束辅助淀积(IAD)制备出的膜系样品所进行的损伤实验表明,分子泵系统制备出的薄膜显示出较高的损伤阈值。 相似文献
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激光脉冲频率对纳米Si晶薄膜形貌的影响 总被引:5,自引:5,他引:5
在气压为10 Pa的惰性气体Ar环境下,采用XeCl准分子激光器(波长308 nm),调整激光单脉冲能量密度为4 J/cm2,激光烧蚀电阻率为3000Ω.cm的高纯单晶Si靶,在玻璃或Si衬底上沉积制备了纳米Si晶薄膜。实验中靶和衬底间距离保持为3 cm,对衬底既没有加温也没有冷却。拉曼(Raman)谱测量结果表明,所制备的薄膜中已有纳米Si晶粒形成。保持脉冲总数不变,分别取激光脉冲频率为1 Hz,3 Hz,10 Hz和20 Hz,相应沉积时间约为10 min,3.3 min,1 min和0.5 min,采用扫描电子显微镜(SEM)观察所得样品的表面形貌,不同脉冲频率下的结果比较显示,脉冲频率越大,制备的纳米Si晶薄膜的平均晶粒尺寸就越小,晶粒尺寸分布也越均匀。沉积动力学过程的非线性是导致实验出现该结果的原因。 相似文献
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激光损伤机理判断研究 总被引:2,自引:0,他引:2
实验发现光学材料的损伤与激光波长、材料特性、激光脉宽等因素有关,而且光学材料损伤的最终态是不一样的,这个态可以是熔化、碎裂或蒸发。为了解释这些现象,从材料的热传导方程出发半定量地讨论了光学材料损伤机理,指出了一个关键参数决定了激光诱发损伤与激光脉宽τp的关系,它就是光学材料内的夹杂物把热量传递给光学材料体所需时间τ。在τpτ时,损伤阈值由激光辐射强度决定;在τpτ时,损伤阈值由激光辐射能量密度决定。 相似文献
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报道了一种频率为1、5、10和20HZ,单脉冲能量超过10J,脉冲宽度小于0.4ms,能量外流地4%的重复脉冲Nd:YAG激光器。 相似文献
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同时重复频率激光脉宽和能量的实时测试系统 总被引:1,自引:0,他引:1
本文提出了用一套数字存储示波器和PIN光电二极管组成的测试系统的设计思想,维而以6频率为20HZ的激光脉冲为例提供了设计方案。该系统能同时测量重复频率为20HZ的激光脉冲的脉宽和能量。在有效地解决光电信转换、数据传输及数据处理等技术问题的基础上,可同时实时测试更高重频率的序列激光脉冲宽度和单脉冲能量值。 相似文献
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本文对激光光束通过望远系统后光束的变化进行了分析,并对6倍望远镜进行了激光损伤和破坏的实验研究,实验结果表明,激光对望远系统的损伤破坏主要是热效应所致,损伤破坏的情况与激光的能量,波长,脉冲宽度和望远系统的结构有关。 相似文献