高重复率XeCl准分子激光器的放电特性

本文报道紫外预电离放电泵浦的高重复率XeCl准分子激光器的放电特性,分析了放电参数的改变对放电过程的影响.最佳转换效率达2.2%.     

高气压紫外预电离横向放电泵浦XeCl激光器

目前,在稀有气体卤化物准分子激光器领域里,正掀起一股研究ＸｅＣｌ激光器的热潮［１－６］这不仅因为ＸｅＣｌ具备准分子的一切特点：辐射波长处于紫外区,能量转换效率高,可调谐,能够高重复率运转,而且工作寿命长,所使用的氯化物品种多,因此,这种激光器具有很大的实用价值．它正在吸引着越来越多的研究者．Ｂｕｒｎｈａｍ等［７］和Ｓｚｅ等［８］采用ＨＣｌ作氯施主,总气压在三个大气压以上,能量转换效率达１％．?...     

C-C转移放电泵浦XeCl准分子激光器能量沉积特性的分析

本文报道了一台使用UV自动预电离,C-C转移放电泵浦的XeCl准分子激光器,并且以激光器放电信号和输出激光信号的同时测量结果为依据,分析了激光器放电的能量沉积过程.可为设计同类型准分子激光器提供一些参考数据.     

XeCl准分子激光器寿命的研究

XeCI准分子激光器的寿命主要取决于HCI消耗的情况。实验结果表明,在环氧树脂筒的激光器室中,补充适量而价廉的HCI气体,器件寿命就可延长。我们在一次充入Xe气和Ar气的前提下,适时补充几次HCI,已获得大于1.03×10~6个脉冲输出,即在每秒5.3次的重复率和脉冲能量约100mJ的情况下,器件连续工作54hr还能正常运转。最大输出能量160mJ,文中还讨论了HCI对激光输出性能的影响。     

XeCl准分子激光器被动锁模

采用“弱聚焦”的简单紧凑光路,首次运用萘和PTP得到脉宽3ns、调制度大于90％、总能量6.3mJ、空间发散角2mrad,每次4～5个尖峰的XeCl~*准分子激光被动锁模脉冲序列。     

电子束泵浦XeCl准分子激光器及应用

为了获得高能紫外激光输出,开展了电子束泵浦XeCl准分子激光技术研究。详细介绍了四向电子束泵浦准分子激光装置的工作原理和结构特征,简述Marx发生器的放电电压、放电电流,激光气室中的沉积能量,激光脉冲能量、脉宽等参数的测量方法;研究了电子束泵浦XeCl准分子激光输出特性,得到了激光脉冲能量随激光气室内混合气体气压变化的规律,当激光器的充电电压为81kV时,获得了能量100J、脉宽200ns的XeCl准分子激光输出,其本征效率约为3.2%。并且开展了XeCl准分子激光辐照涂层材料力学特性研究,采用微型红外通光冲量探头测量不同条件下激光辐照涂层材料的冲量耦合系数,在常压空气环境中的冲量耦合系数约为8.32×10-5 N·W-1。     

高气压预电离短脉冲XeCl准分子激光产生研究

研究了在高气压、大体积、泵浦功率1.395 9 MW·cm-3抽运下,产生的XeCl*准分子激光光谱,波段307.7～308.5 nm,结果显示有两个谱线峰值307.98和308.19 nm,谱线最强的跃迁是B—X跃迁,脉冲宽度11.13 ns。在气体配比HCl∶Xe∶He=0.1%∶1%∶98.9%下,采用预电离初始电子,产生稳定辉光放电过程,获得了0.5～5 Hz,单脉冲能量450 mJ,束散角3 mrad, 短脉冲的准分子激光。     

电子束泵浦XeCl准分子激光器及应用

为了获得高能紫外激光输出,开展了电子束泵浦XeCl准分子激光技术研究。详细介绍了四向电子束泵浦准分子激光装置的工作原理和结构特征,简述Marx发生器的放电电压、放电电流,激光气室中的沉积能量,激光脉冲能量、脉宽等参数的测量方法;研究了电子束泵浦XeCl准分子激光输出特性,得到了激光脉冲能量随激光气室内混合气体气压变化的规律,当激光器的充电电压为81 kV时,获得了能量100 J、脉宽200 ns的XeCl准分子激光输出,其本征效率约为3.2%。并且开展了XeCl准分子激光辐照涂层材料力学特性研究,采用微型红外通光冲量探头测量不同条件下激光辐照涂层材料的冲量耦合系数,在常压空气环境中的冲量耦合系数约为8.3210-5 NW-1。     

XeCl放电激光器的简化动力学模型

本文在自由电子玻尔兹曼编码及动力学计算基础上,选取了对XeCl激光动力学起主导作用的反应物及动力学过程,建立了一个简化的动力学模型.采用这个模型计算了不同气体混合比、不同电流密度下荧光及激光强度与气压的关系,这些结果能与X光预电离雪崩自持放电的XeCl激光器的实验结果很好地符合.     

XeCl激光器的增益特性

本文根据稳腔均匀加宽激光器的模型,按照激光器的输出功率与小信号增益系数g,恒定的吸收损耗系数a_o,饱和强度I_s,腔长L之间的近似关系式,利用变换输出耦合的方法,对采用紫外预电离的Blumlein快放电激励XeCl激光器的增益进行测量.并讨论了器件的最佳透过率.发现最佳透过率是泵浦功率的函数.     

高气压氯化氙准分子激光放电的稳定性

高气压氯化氙准分子激光放电的稳定性与HCl的浓度有关。本文分析了放电等离子体的电子连续性方程,指出均匀放电的持续时间与HCl浓度平方根成反比。该结果与X射线预电离脉冲形成网络泵浦氯化氙激光的实验能很好地符合。 关键词：     

高气压下XeCl激光脉冲雪崩放电中的延迟效应

本文分析了高达10atm范围的XeCl激光脉冲雪崩放电过程,讨论了延迟效应对放电形成时间的影响,通过与XeCl激光脉冲雪崩放电实验结果的比较,导出临界雪崩通道长度约为1mm。 关键词：     

用于薄膜沉积的XeCl激基激光器研制

以镀制半导体薄膜、巨磁薄膜、金刚石及其它薄膜,外延生长及后续的光刻,激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,设计、研制了脉冲放电激励的XeCl激基激光器.试验结果表明:激光脉宽18ns,单脉冲能量150mJ,矩形光斑大小2cm×1cm,束散角3mrad,最高重复频率5HZ.与同类激光器相比,具有结构简单、造价低廉、性能稳定等特点.     

放电泵浦准分子激光器电路参数测定

用同轴型电阻分压器和微型罗柯夫斯基线圈测量了紫外自动预电离放电泵浦ＸｅＣｌ难分子激光器充放电电压和电流，并由此给出了充放电回路参数。     

Blumlein型准分子激光器放电回路的分布电感测量

本文介绍了一种利用快放电脉冲测量技术较准确地计算快放电回路分布电感的方法。通过分析测量结果和求解回路方程,导出了一个分布电感的数学解析表达式,最后对一些结果进行了讨论。 关键词：     

电子束泵浦注入锁定XeCl准分子激光理论模拟

模拟了强流电子束泵浦下,激光腔内的反应动力学过程,及不同注入时间、不同注入强度下注入锁定的激光生成、放大和输运过程。对实际非稳腔使用了一维伸展近似,并采用了预估—校正方法对光子输运方程进行求解。模拟结果表明,激光生成阶段,注入种子光源后,激光输出质量明显改善,使自发辐射部分受到了明显的抑制。得到了在不同注入强度、注入时间以及放大倍数下的激光输出的光谱特性,能量及各种效率的关系。发现锁定效果最佳时的注入时间出现在小信号增益峰值处。     

气体对介质阻挡放电激发XeCl*辐射的影响

在气体配比和气压易控制的小尺寸气体混合腔中．通过对混合气体Cl2／Xe进行参量(配比、气压)范围调节．研究了不同气体配比、气压下介质阻挡放电激发准分子XeCl*的辐射特性。结果表明．在一定放电功率下．合适的气体配比和气压能产生峰值辐射。对于放电管在气体比例pc12／p1在I．5％-4％范围内，放电形貌及准分子XeCl*辐射的强度和光谱特征表现出明显的差异。同比条件下．混合气体He／Cl2／Xe中放电产生的准分子辐射强度弱于混合气体Cl2／Xc。     

百焦耳级XeCl准分子激光辐照靶材的光学诊断

在百焦耳级ＸｅＣｌ准分子激光器上，开展了强紫外激光辐照ＬＹ—１２铝靶和碳纤维靶的光学诊断实验。研究了靶面对激光的反射系数随入射激光功率密度的变化规律，获得了激光等离子体光谱及蒸汽羽积分图象等实验结果。     

高功率XeCl准分子激光自发辐射放大的三维计算

 采用M – C方法计算了强流电子束泵浦XeCl准分子激光输运过程中生成的放大自发辐射（ASE）在激光腔中的输运过程。该模型考虑了腔壁的反射影响、非饱和吸收和镜反射的作用，计算给出最佳注入通量值。计算结果与文献[2] ~ [5] 给出的理论及实验结果相吻合。可为准分子激光实验提供理论依据和实验参考。并可推广到任何类型的激光器。     

激光驱动高压冲击波的实验观察

本文介绍能量约500J,脉宽约1.2ns的高功率激光脉冲聚焦辐照铝箔靶或铝台阶靶,用可见光超快速扫描相机观察靶背面冲击加热发光的情况。实验表明,采用特别的组合透镜聚焦,使激光冲击波的平面性得到明显的改善。实验测得铝台阶中的冲击波速度为17.6μm/ns,并推算出相应的冲击波压力达4.4Mbar。 关键词：