气体放电电子束及其在微电子加工中的应用

一种利用低气压放电产生电子束的装置可以发射强力电子束,这种装置成本低廉、易于调节,并且电子束截面形状可以按要求设计。这种电子束的发生技术、理论以及开发工作在美、日等国正在开展。利用这种电子束进行半导体加工的研究工作已取得很大成功,电子束硅片区域熔融再结晶的研究也有了实质性进展。但是,这方面的研究工作在我国尚未受到应有的重视。本文着重介绍这种电子束的基本特性和参量,这些内容是笔者在美国科罗拉多州立大学(CSU)电机系与GeorgeJ.Collins教授合作时的部分研究结果。本文还概括地介绍了这种电子束的应用前景。     

电子束控制放电抽运的大孔径CO2激光器

引言高压气体激光器的电子束控制或引发放电抽运能够制造大孔径高脉冲能量激光器。向气体注入电子束最初是用于高电压放电器的精确起动 ,后来用于高气压 CO2 激光器形成体积放电。俄罗斯科学院西伯利亚分院强流电子学研究所同仁在体积放电、制造电子加速器和 CO2 激光器方面进行了大量研究。本文报导该所研制的三台辐射能量最高的高效大孔径 CO2 激光器。50 0 J脉冲 CO2 激光器激光器主要部件结构示于图 1。电子加速器和具有谐振腔的气室是它的主要部件。电子加速器的真空二极管外壳 1由不锈钢制成。二极管使用工作于爆炸发射状态的多尖…     

气体放电彩色显示板

气体放电单色显示板在数字、图形显示器方面得到应用。在美国主要放在数字、图形的彩色显示上,而在日本主要进行电视图像的研究。目前其它种类的平板式彩色显示器的研究也取得较大进展,有些已达到实用的水平。气体放电彩色板,是平板彩色化研究的一个分支。     

气体放电显示器及其现状

本文叙述了各种类型的气体放电显示器,并扼要地介绍了目前已投放市场的一些新型显示器。     

非均匀电场条件下的真空放电现象

为了空间电力应用的发展，需要对中、低真空中、特别是非均匀电场下的放电现象进行分析。虽然这种条件下的数据对空间电力装置的绝缘设计至关重要，但是很少有这方面的研究报告。     

磁约束放电稳定性气体动力学的研究

分析了磁约束激光放电的气体动力学过程,对放电空间气体绕磁场轴切向旋转速度进行了推导计算,阐述了这种气体旋转流动对稳定激光放电的作用机制。     

电子束控制放电CO_2激光器用于半导体诱导掺杂的研究

电子束控制放电CO_2激光器的脉冲能量是～50J,光斑直径为～φ60mm,聚焦后光斑直径为～φ20mm,用该激光器在硅中诱导掺入杂质锑和铝,得到了浅突变p-n结。结的大小为直径φ10～15mm,最大为φ20mm,结深为0.2～0.7μm,并具有～500mV的光生电压。     

臭氧的气体电晕放电制备及食品加工厂臭氧应用系统

描述了臭氧特性和食品加工厂臭氧气体电晕放电制备方法。借助于臭氧的不稳定性和强氧化性,臭氧可在食品加工厂做以下三项工作：杀灭微生物一杀菌消毒;氧化分解有机或无机物污染气味一除臭净化;分解果蔬代谢产物,抑制后熟过程一保鲜。在此基础上,设计了一个食品加工厂的臭氧应用系统。在该系统中,我们把臭氧特性应用到食品加工厂的主要加工过程中,例如：食品的原料处理,存储、加工、包装、运输和污水处理。考虑到该食品加工厂臭氧需求量较大,我们建立了一个臭氧产生站,并通过该站向需要臭氧的各个环节输送臭氧。     

高能点火气体放电管放电性能的研究

高能点火气体放电管主要用于高能点火器作控制大能量的开关,主要技术电参数：直流击穿电压、动态放电电压稳定性和动态放电电压的起始衰减。本文综述了气体放电管基本工作原理,提出了高能点火气体放电管动态特性的概念,对高能点火气体放电管的放电性能进行了研究。     

过电压保护气体放电管

综述了过电压保护气体放电管的结构性能和原理，着重论述了放电管设计和大规模现代化生产的方法。同时，讲述了二电极放电管和三电极放电管的测试，试验及其应达到的主要标准。     

微间隙击穿性能的研究

本文对微米量级微间隙的电击穿性能进行了研究,在制作出微间隙试样的基础上,改变微间隙所处环境气氛以及间隙距离,测试了不同条件下的击穿电压V相对于气体压强P关系曲线,系统研究了N_2、O_2、Ar、He、Ne等环境气氛以及间隙距离对微间隙击穿性能的影响。对微间隙的静电击穿机制也进行了一些有益的探讨。     

Airy光束的无衍射特性

本文首先证明Ａｉｒｙ光束的横向分布通过ＡＢＣＤ光学系统是不变量．进一步。用圆形光栏截到第一暗环，中心亮斑的传输将是无衍射的．     

旋转棱镜对激光束的变换特性

应用旋转棱镜和组合光学系统能够将高斯光束变换成“无衍射”贝塞尔（Ｂｅｓｓｅｌ）光束，并能实现实心和环状光束的相互变换。本文对旋转棱镜及其组合系统的成像特征作了详细理论分析和实验研究，得到二者相一致的结果，证实了该光学系统在激光技术中有广泛的应用前景。     

部分相干光束的聚焦特性

基于部分相干光的传输方程,研究了光强为高斯分布、空间相干度函数为零阶贝塞耳函数的部分相干光束的聚焦特性。研究结果表明,在几何焦点附近的光强分布不仅依赖于入射的部分相干光束的光强分布,而且还依赖于部分相干光束的空间相干度。当空间相干长度、焦距等参数取某些特定值时几何焦点附近的光强分布将出现平顶光束的分布形式;另外,当空间相干长度取值改变时几何焦点附近的光强分布将出现局域空心光束的分布形式。基于此,可以通过改变部分相干光束的空间相干度来实现对几何焦点附近光强分布的控制,从而获得需要的光强分布。     

高压快速脉冲放电成像技术的实验研究

本文建立了一套高压快速脉冲放电成像系统，在该系统上，分别研究了脉冲持续时间和脉冲强度对成像清晰度的影响。研究结果表明，为获得清晰的放电成像，采用纳秒脉冲放电技术是关键。成像清晰度的提高，为脉冲放电成像技术在工程上的应用奠定了基础。     

厄米余弦高斯光束在梯度折射率介质中的传输特性

基于广义惠更斯-菲涅耳衍射积分法,对梯度折射率介质中的厄米余弦高斯光束传输特性进行了研究,得出了在梯度折射率介质中厄米余弦高斯光束的光场表达式,并利用此表达式作数值模拟,研究了梯度折射率介质对厄米余弦高斯光束传输特性的影响。结果表明:光强在轴上分布呈现空间周期性变化,最大光强位置与梯度折射率系数β有关;随着调制参数α的增大,轴上最大光强逐渐减小而且出现了空心分布。在同一传输面上横向光强随梯度折射率系数β增加,先增大后快速减小;并且发现调制参数α变大,光强不变,但是束腰宽变窄。     

雷达发射功率提高后放电管的改进设计

对某型机载火控雷达发射功率提高后放电管频发“击穿”故障进行了分析，在此基础上对放电管的改进设计进行了详细阐述，并给出了保护放电管(TRL)一体化设计结构参数的理论计算公式，在大量试验分析研究的基础上，成功地研制了PTR TRL结构的新型放电管，解决了工程应用的实际问题。     

气体放电管性能的研究与改善

综述了过电压保护气体放电管的性能和原理，从结构设计、材料选用、工艺规范等方面介绍了改善直流击穿电压、冲击击穿电压、耐流能力等性能的方法及应达到的标准。