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为了说明原子光刻(Atom Lithography)在纳米计量及传递作用中的特殊地位,首先对纳米计量标准及其现状进行了简要介绍,提出纳米计量中原子光刻的基本概念和优势,结合原子光刻实验装置对原子光刻技术的工作机理进行了分析。结果表明,可以通过原子光刻技术得到纳米量级刻印条纹,为纳米计量及标准传递提供更加精确的手段。最后对常见的2种原子光刻技术——沉积型原子光刻和虚狭缝型原子光刻进行了阐述,指出2者的不同之处,为不同条件下原子光刻提供了一定的借鉴。 相似文献
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为了实现纳米薄膜厚度的高精度计量,研制了可供台阶仪、扫描探针显微镜等接触测量的纳米薄膜样片,研究了X射线掠射法测量该纳米薄膜样片厚度的基本原理和计算方法,导出了基于Kiessig厚度干涉条纹计算膜层厚度的线性拟合公式,并提出了一种可溯源至单晶硅原子晶格间距和角度计量标准的纳米膜厚量值溯源方法,同时给出了相应的不确定度评定方法.实验证明:该纳米薄膜厚度H测量相对扩展不确定度达到U=0.3 nm+1.5%H,包含因子k=2.从而建立了一套纳米薄膜厚度计量方法和溯源体系. 相似文献
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中科院声学计量测试站办公室 《应用声学》1989,8(3):32-32
中国科学院声学计量测试站于1988年12月16日至17日按“中华人民共和国计量法”的要求通过了国家技术监督局的计量标准考核和计量认证。通过考核的计量标准有:电声检定标准装置(一级)、水声换能器校准测试装置(一级)和压电加速度计检定标准(二级),由此该站可以进行声学量值的传递,检定标准电容传声器、声级校准器、声级计、标准噪声源、标准水听器及压电加速度计等声学计量器具和带通滤波器、声频放大器等声学测量仪器。通过计量认证的有关产品质量检验的测试项目有:声学实验室(消声室、半消声室、混响室等)性能测试、噪声源(机电产品)声功率级测试、环境噪声和工业噪声测试、厅堂音质测试、水 相似文献
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太赫兹作为新的技术手段在物质成分识别、高速通信、生物医学、安检成像和军事国防等领域具有重要的作用。太赫兹技术的各种应用都建立在对太赫兹本身及其与物质相互作用测量的基础上,因此准确的太赫兹参数测量及相关量值溯源是太赫兹应用的技术支撑和保障。介绍中国计量科学研究院在太赫兹辐射参数计量标准研究中形成的测量技术和溯源方法、研制的测量仪器和测量装置、制定的计量校准法规和建立的计量标准装置,对太赫兹辐射时域、频域、空域和强度等参数给出了量值溯源传递图并进行了测量不确定度分析。提出的太赫兹计量方法和标准装置可保障太赫兹技术研究和应用中的量值可靠,也可为其他太赫兹参数的测量提供参考。 相似文献
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电学的计量标准,在建立量子电压基准之前,保存、复现和传递电压基本单位--伏特的方法是采用一组饱和式惠斯登标准电池的端电压的平均值来实现的. 相似文献
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双成象单元扫描隧道显微镜与原子尺纳米计量技术 总被引:3,自引:3,他引:0
研制了双成象单元扫描隧道显微镜(STM),可同时对参考样品的原子晶格和被测样品扫描成象.计数原子晶格的数目,即可精确测定被测样品图象的尺度,以原子尺方式实现严格的纳米计量.本文介绍双成象单元的STM的原理和仪器系统,讨论原子尺纳米计量的可行性,给出被测样品图象的纳米计量结果. 相似文献
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利用激光驻波场会聚原子沉积纳米结构的技术可以用来研制纳米结构长度传递标准.当激光驻波场的频率大于原子的共振频率时,原子由于受到偶极力的作用将被会聚到驻波的波节处.采用了一种新的技术方案减小了实验对大的激光功率的要求.利用激光驻波场会聚准直性较好的Cr原子,并使其沉积在硅基片上形成纳米光栅结构.经原子力显微镜测试表明纳米光栅的周期为215 nm.
关键词:
激光偶极力
纳米计量
原子沉积
蓝失谐 相似文献
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《光子学报》2010,(Z1)
提出了药物凝聚纳米晶体宏观光量子态体系的新概念和测量方法.根据光量子特性可被大于纳米药物晶体带隙能的光子表征的原理,采用200~400nm和350~850nm激光器,自行搭建的光路系统和测量平台,建立纳米药物晶体光电子耦合效应(光量子效应)的激光显微荧光谱精密测量方法.结果表明:激光显微荧光谱计量纳米药物晶体光量子特性的14次重复测量波长相对不确定度是0%,小于德国国家标准研究院推荐的波长相对不确定度参考值0.2%,测量误差是[1-0]%;激光显微荧光谱计量纳米药物晶体光量子特性的14次重复测量光强相对不确定度是5.1%,稍大于美国国家标准研究院光强相对不确定度校准参考值3%,测量误差是[1+2.1]%.波长和光强二维激光显微荧光谱精密测量方法解决了原始测量标准的相对不确定度和光学计量溯源的两大关键瓶颈问题,可满足纳米生物光晶体宏观量子态体系光电子耦合效应或电子结构带隙能检测的广泛需求,在量子生物物理学和晶体发光精密测量上有普适性. 相似文献
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王晓敏 《工程物理研究院科技年报》2004,(1):252-252
静电计是直接用于测量微小电流、电压和电荷(有的还具有测高阻的功能)的仪器,进V1或国产的不同类型、不同级别的静电计使用广泛。目前没有直接校准/检定静电计的计量标准,过去是靠现有的有关计量标准进行间接校准/检定,不确定度较大,只能开展不确定度为10^-2的静电计校准/检定工作,不能满足计量传递要求。静电计检定标准装置的建立,解决了静电计的量值传递问题。 相似文献