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相似文献
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1.
全息离子束刻蚀衍射光栅   总被引:16,自引:0,他引:16  
徐向东  洪义麟  傅绍军  王占山 《物理》2004,33(5):340-344
全息离子束刻蚀衍射光栅集中了机械刻划光栅的高效率和全息光栅的无鬼线、低杂散光、高信噪比的优点.全息离子束刻蚀已作为常规工艺手段应用于真空紫外及软x射线衍射光栅的制作.文章对全息离子束刻蚀衍射光栅的制作方法、主要类型、研究现状和应用进行了综述.  相似文献   

2.
吴琼  杨静  林斌  袁波  钱劲松 《光子学报》2011,(z1):99-102
针对光学绝对式编码器的分辨率和尺寸之间的矛盾,自行设计了一种锥形光栅进行高位细分.以夫琅和费衍射理论为基础,分析了锥形光栅的光学衍射特性,初步推导了利用锥形光栅实现光学细分的基本原理,并通过实验验证了上述的理论分析结果.  相似文献   

3.
多级衍射全息光栅   总被引:2,自引:0,他引:2  
提出用Mach-Zehnder 干涉仪两步记录制作具有多级衍射的全息光栅方法。详细描述这种方法的原理,并提供了光栅样品的傅里叶谱及用这种多级衍射光栅实现图像多重的实验结果。  相似文献   

4.
制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
高精度的光电式刻划控制系统是制作高密度母光栅的关键技术,以光栅干涉仪为控制核心,设计了光电式的光栅刻划控制系统,并对可能产生的加工误差进行了初步的分析;采用该控制系统的光栅刻划实践表明,所设计的光电式刻划控制系统已完全达到了高密度衍射光栅的亚微米栅距分度要求。  相似文献   

5.
衍射光栅它在当今信息时代是一种不可或缺光学元件,特别是在光谱学、激光工艺、光学信息处理、光通信等许多领域中都有着十分重要的应用。本文以康托集分形光栅为研究对象,自行设计并观察了康托集分形光栅三个阶段的夫琅和费衍射现象,根据惠更斯.菲涅耳原理,讨论了一维康托集分形光栅的夫琅和费衍射光强分布特性。  相似文献   

6.
浮雕型全息相位光栅的衍射   总被引:4,自引:2,他引:4  
杨齐民  张文碧 《光子学报》1996,25(11):997-1002
本文从理论上推导出了浮雕型相位全息光栅所满足的衍射方程式,并数值计算了光刻胶四种情况下的+1级衍射光的衍射效率与相位光栅刻蚀深度的关系.还和大量实际拍摄的全息光栅作了比较,发现它基本上都能与实验相符;文中还指出了如何选择拍摄参数来控制光栅的刻蚀深度,以确保制作高衍射效率和高信噪比的PET(聚酯薄膜)模压全息片所需要的光刻胶母版拍摄.  相似文献   

7.
田磊  戴冬云  刘生华 《应用光学》2005,26(5):17-020
利用菲涅耳 基尔霍夫光栅衍射原理和傅里叶分析方法,对具有分形结构互补Sierpinski地毯光栅的夫琅和费衍射现象进行了探讨。导出了观察平面上的频谱函数、振幅函数以及光强函数。运用MATLAB软件对该光栅的衍射现象进行了仿真,并绘制出其幅 频特性曲线。结果表明,在各阶光栅的衍射图样中,幅度较大的部分主要集中在接收屏的中心区域,而在偏离中心的区域内,幅度值较小,在较远区域幅度值趋近于零,这说明获得的衍射图样不仅具有衍射光的基本特性,而且都呈现出明显的分形特征。  相似文献   

8.
9.
局域体全息光栅的衍射特性   总被引:2,自引:5,他引:2  
闫爱民  刘立人  刘德安  栾竹 《光学学报》2004,24(9):203-1208
基于三维耦合波理论,研究了两束有限宽度的任意偏振平面波干涉产生的局域体全息光栅的衍射问题。以单位均匀振幅的任意偏振平面波为例,给出了透射波和衍射波振幅的主分量和交叉分量的解析表达式,讨论了记录过程和再现过程中入射的参考光波的偏振角对透射波和衍射波振幅的影响。计算结果表明,记录过程中的偏振角越小,形成的光栅内的耦合越强,衍射效率越高,但光束质量越差;再现过程中不同的偏振角,由于入射波和衍射波的电矢量的不同方向的耦合强弱不同,透射波和衍射波振幅的主分量和交叉分量的振幅变化行为不同。  相似文献   

10.
本文推出了各种类型光栅衍射效率的普遍公式, 研究了取得最佳衍射效应的条件.  相似文献   

11.
紫外刻划光栅母版及二代版衍射特性的模拟与分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
运用微分理论对刻线密度为1200 lp/mm的紫外刻划光栅母版及其二代复制版的衍射特性做了模拟,指出了二者之间存在的差异,并与测试结果做了对照。数值模拟表明,紫外刻划光栅二代复制版的衍射特性与其母版略有不同,原因是光栅槽形发生了改变,分别给出了采用多项式拟合槽形函数和傅里叶级数拟合槽形函数的方法。此理论分析方法为澄清光栅复制工艺中的争议完善翻版技术以及寻找提高紫外光栅衍射效率的途径提供了很好的理论参考依据。  相似文献   

12.
基于傅里叶-贝塞尔变换计算高斯光束垂直入射环形光栅时的衍射远场分布,分析了其衍射远场光强分布的一般规律,并与平面波入射时的情况进行了比较.计算结果表明:当光栅半径为1.5倍高斯光束束腰半径时,随着光栅环数的增加,中央亮斑半值全宽先减小后增大、中央亮斑所包含的功率占总功率的比值减小、中央主极大光强值减小,三者的变化趋势与平面波入射时的趋势一致;中央亮斑半径、次极大光强值变化趋势与平面波入射时的变化趋势不同.当环数小于5时,高斯光束经过环形光栅的衍射场光强变化无规律;当环数大于10后两种情况下衍射场光强变化都不明显;当环数趋于无穷时中央亮斑半径、中央亮斑半值全宽、次极大光强值趋于圆孔衍射(环数等于1)时的值,中央亮斑所包含的功率占总功率的比值约等于圆孔衍射时的1/2,中央主极大光强值约等于圆孔衍射时的1/4.  相似文献   

13.
基于傅里叶-贝塞尔变换计算高斯光束垂直入射环形光栅时的衍射远场分布,分析了其衍射远场光强分布的一般规律,并与平面波入射时的情况进行了比较.计算结果表明:当光栅半径为1.5倍高斯光束束腰半径时, 随着光栅环数的增加,中央亮斑半值全宽先减小后增大、中央亮斑所包含的功率占总功率的比值减小、中央主极大光强值减小,三者的变化趋势与平面波入射时的趋势一致;中央亮斑半径、次极大光强值变化趋势与平面波入射时的变化趋势不同.当环数小于5时,高斯光束经过环形光栅的衍射场光强变化无规律;当环数大于10后两种情况下衍射场光强变化都不明显;当环数趋于无穷时中央亮斑半径、中央亮斑半值全宽、次极大光强值趋于圆孔衍射(环数等于1)时的值,中央亮斑所包含的功率占总功率的比值约等于圆孔衍射时的1/2,中央主极大光强值约等于圆孔衍射时的1/4.  相似文献   

14.
15.
用光栅式位移传感器测量衍射光强分布   总被引:3,自引:1,他引:3  
张萍  郑长波 《物理实验》2004,24(5):9-12
利用光栅式位移传感器测量了不同缝宽的单缝衍射的相对光强.本文介绍了光栅式位移传感器的测量原理、光栅测量系统、实验装置和调试要求.实验结果表明,利用光栅式测量系统产生的叠栅条纹测量位移的精度较高.  相似文献   

16.
基于光栅衍射的实验分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
对当前高校本科生中开设的关于光栅衍射实验对学生的培养点、教学点进行了分析,介绍了新开设的光栅衍射实验,对照光栅衍射特性下的各种效应进行了比较分析。  相似文献   

17.
在光栅实验中通过对衍射效应与几何效应的了解,可组成一个综合性实验.这类实验在物理实验教学中的作用是非常重要的.  相似文献   

18.
概述了量子点阵衍射光栅的原理及制作方法,并设计标定实验,研究了不同角度及不同波长入射情况下量子点阵光栅的衍射特性。研究结果表明:量子点阵光栅不存在高级衍射,只保留了±1级和0级衍射,具有理想的单级衍射模式。光学波段量子点阵衍射光栅的成功研制为研制紫外、X光波段具有单级衍射特征的光栅提供了契机。  相似文献   

19.
 概述了量子点阵衍射光栅的原理及制作方法,并设计标定实验,研究了不同角度及不同波长入射情况下量子点阵光栅的衍射特性。研究结果表明:量子点阵光栅不存在高级衍射,只保留了±1级和0级衍射,具有理想的单级衍射模式。光学波段量子点阵衍射光栅的成功研制为研制紫外、X光波段具有单级衍射特征的光栅提供了契机。  相似文献   

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