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使用球谐展开的方法求解玻尔兹曼方程,得到了弱电离大气等离子体(79%氮气和21%的氧气)的电子能量分布函数(EEDF).发现当约化电场较小时(E/N<100 Td),EEDF在2-3 eV急剧下降,在此情况下,高能尾部比麦氏分布要小;当约化电场增加,E/N> 400 Td,分布函数趋近于麦氏分布;当约化电场进一步增加,E/N> 2000 Td,EEDF的高能尾部(超过200 eV)相对于麦氏分布增加,在高频场作用下,EEDF更倾向于麦氏分布.当ω》vm时,有效电子温度只依赖于E/ω,而与碰撞频率无关;当ω《vm时,有效电子温度只依赖于E/N,与微波频率无关.与一些单原子分子等离子体中电子-电子碰撞在电离度大于10-6时就会影响EEDF不同,空气等离子体中,只有当电离度大于0.1%时,电子-电子碰撞才会对EEDF有明显影响. 相似文献
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用流体模型研究高功率微波气体击穿时, 电子能量分布函数常被假设为麦克斯韦分布形式, 此假设可能将给模拟结果带来较大的误差. 通过求解玻尔兹曼方程, 得到非平衡状态下的电子能量分布函数. 分别将上述两类分布函数引入到流体模型中, 对氩气击穿进行了数值模拟. 结果表明, 基于非平衡分布函数得到的击穿时间与粒子模拟结果符合得很好, 而当平均电子能量较低时, 麦克斯韦分布函数的高能尾部导致了较短的击穿时间. 最后, 采用非平衡分布函数计算了不同压强下的氩气击穿阈值, 发现其与实验结果基本符合.
关键词:
微波气体击穿
电子能量分布函数
流体模型
玻尔兹曼方程 相似文献
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在准静态隧道电离理论模型和准经典阈上电离理论模型的基础上,建立了一个描述基于光场感生电离的椭圆偏振光场电离电子能量分布的简单模型,推导出了既易于理解又相对简单适用的描述椭圆偏振光场的电子能量分布函数解析表达式.利用此式数值计算了不同偏振参量下的椭圆偏振光场中类钯氙系统的电子能量分布曲线,计算结果表明在相同的激光功率密度下,偏振参量对基于OFI电子碰撞机制的X射线辐射强度是有影响的,并与报道的实验结果一致
关键词:
椭圆偏振光场
电子能量分布
类钯氙系统
电子碰撞机制 相似文献
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I. A. Anoshko V. S. Ermachenko L. E. Sandrigailo 《Journal of Applied Spectroscopy》2007,74(1):102-106
We present the results of a spectroscopic study of a nonequilibrium plasma in a Hall accelerator, in particular for such an
important parameter as the electron temperature. For the studied conditions, we used the semicoronal equilibrium model, which
relates the intensity ratios for two successive ionization steps for the same element.
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Translated from Zhurnal Prikladnoi Spektroskopii, Vol. 74, No. 1, pp. 93–96, January–February, 2007. 相似文献
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Analysis of electron energy distribution function in a magnetically filtered complex plasma 下载免费PDF全文
The electron energy distribution function (EEDF) for a magnetically filtered dusty plasma is studied in a dusty double plasma device where the electron energy can be varied from 0.15 eV to ~ 2.8 eV and plasma density from 10 6 cm-3 to 10 9cm-3 . The characteristics of EEDF for these ranges of plasma parameters are investigated in a pristine plasma as well as in a dusty plasma. The results show that in the presence of dust, there is a drastic modification in EEDF patterns in a plasma with higher electron temperature and density than those in a low temperature and low density plasma produced by the magnetic filter. 相似文献
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甚高频激发的容性耦合等离子体由于离子通量和能量的相对独立可控而受到人们的关注. 本文采用朗缪尔探针诊断技术测量了40.68 MHz激发的容性耦合Ar等离子体的特性(如电子能量概率分布、电子温度和密度等)随宏观参量的演变情况. 实验结果表明, 电子能量概率分布随着气压的增加从双麦克斯韦分布逐步转变为单麦克斯韦分布并最终演变为Druyvesteyn分布, 而射频激发功率的增加促进了低能电子布居数的增强; 在从等离子体放电中心移向边界的过程中, 低能电子的布居数显著下降, 而高能电子的布居则有所上升; 放电极板间距的变化直接导致了等离子体中电子加热模式的转变. 另外, 我们也对等离子体中的高低能电子密度和温度的分配情况进行了讨论. 相似文献
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建立一个描述低能电子在多元多层介质中散射的物理模型,运用MonteCarlo方法模拟低能电子在靶体胶衬底中的复杂散射过程,在此基础上通过大量计算研究入射束能、胶层厚度、衬底材料等不同曝光条件对抗蚀剂沉积能密度分布的影响,获得沉积能分布规律:适量的低束能、薄胶层、低原子序数衬底可以使前散射电子对胶中沉积能密度分布的贡献增大、背散射电子的贡献减小,从而提高曝光分辨率.
关键词:
电子束曝光
MonteCarlo方法
低能电子散射
能量沉积 相似文献
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分别利用电子的漂移速度和等离子体的传播速度计算了大气压下氦等离子体射流的电子密度。 相似文献
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A hybrid model consisting of a one-dimensional radio frequency sheath model and an equivalent circuit model is used to investigate the effect of the non-Maxwellian plasma with enhanced electron tails on ion energy distribution (IED) at the plasma–wall interface. With the assumption that electrons obey the Kappa distribution in which the parameter κ characterizes the deviation from Maxwellian distribution, the bimodal shape of the IED can always be found with the decrease of κ under the condition of current experimental advanced superconducting tokamak (EAST) discharges during the ion cyclotron range of frequency wave heating. However, the height of the low-energy peak of the IED decreases, while the high-energy peak does not change significantly. In addition, the IED shifts towards the higher-energy regime, and the width of the IED expands with the decrease of κ . It is also shown that frequency and amplitude of the disturbance current, bulk plasma density, and ion temperature are the crucial parameters for determining the shape of IED even in the presence of super-thermal electrons. 相似文献
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理论分析了收集极中运动电子的失能机制和电子能量对电子束能量沉积的影响, 用蒙特卡罗方法计算了不同能量下入射电子的能量沉积分布, 分析了电子能量对电子束在收集极中能量沉积的影响, 并据此提出了提高收集极耐电子束轰击能力的两种途径。结果表明:激发和电离是收集极中入射电子的主要失能机制;电子的能量越高, 在材料中的穿透能力越强, 收集极中被收集电子束的最大能量沉积密度越低。综合考虑束流密度分布对能量沉积的影响, 可通过两种途径来提高收集极耐电子束轰击的能力:一是通过结构设计增大电子束的收集面积, 减小收集极上被收集电子束的束流密度;二是设计高阻抗器件, 增大被收集电子束的电子能量, 减小收集极上被收集电子束的束流密度。 相似文献
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Floating double probe in non‐Maxwellian plasmas: Determination of the electron density and mean electron energy 下载免费PDF全文
A theoretical study of the floating double probe based on the Druyvesteyn theory is developed in the case of non‐Maxwellian electron energy distribution functions (EEDFs). It is used to calculate the EEDF in the electron energy range larger than –e(Vf ? Vp) from the I–V double probe characteristics. Vf and Vp are the floating and plasma potential, respectively. The analytical distribution function corresponding to the best fit of EEDF in the energy range larger than e(Vf ? Vp) allows the determination of the total electron density (ne) and the mean electron energy (<?e>). The method is detailed and tested in the case of a theoretical Maxwell–Boltzmann distribution function. It is applied for experiments that are performed in expanding microwave plasmas sustained in argon. Analytical EEDFs determined by this method are compared with those measured by means of single probes under the same experimental conditions. A good agreement is observed between single and double probe measurements. Results obtained under different experimental conditions are used to define the best conditions to obtain reliable results by means of the double probe technique. 相似文献
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测量了大气压环境下氩气空心针-板放电等离子体中原子与分子谱线强度的空间分布,分析了等离子体中电子能量的空间分布.实验利用空心针-板放电装置,得到了约3 cm长的放电等离子体弧.在300~800 nm范围内采集发射光谱,发现了强度较高的Ar I谱线、N2第二正带系谱线C 3Ⅱu(v=o)→B 3皿(v=0)以及强度较弱的... 相似文献
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以强流脉冲电子束为研究对象,提出了一种基于离散时间、限定靶面位置,通过测量靶面不同时刻入射角分布,利用蒙卡程序计算得到电子束的能量(r, z)二维分布沉积值的方法。给出了典型弱箍缩平板二极管(电压峰值700 kV、阻抗7 Ω)阳极靶面不同位置时域的能量沉积值,分析了(0, 0°),(25 mm, 135°),(36 mm, 270°)三个位置纵切剖面的能量沉积特性,结果表明:在各个时间段内电子束入射能量确定的情况下,能量沉积特性与入射角呈现相关性,仿真结果与实验结果符合较好,偏差均小于10%;距阳极靶心25 mm以外的靶面位置,受束流箍缩影响,入射角分布变化较大;当入射角较小时(小于40°),强流电子束能量沉积峰值深度约0.2 mm;当入射角超过40°时,能量沉积峰值深度减小到0.1 mm左右;而阳极靶心位置附近,受束流箍缩影响较小,这些位置的能量沉积特性更接近于小角度入射角情形。 相似文献