集成光学 光波导材料与制备

TN252 2004053612 SIMOX大截面单模脊型光波导的研制=Fabrication of SIMOX single-mode rib waveguides with large cross-section[刊,中]/林志浪(中科院上海微系统信息技术研究所离子束实验室,上海(200050)),程新利…∥光电子·激     

集成光学 光波导材料与制备

TN252 2006065160在高阻硅村底上制备低微波损耗的共面波导=Low-mi- crowave loss coplanar waveguides fabricated on high-resis- tivity silicon substrate[刊,英]/杨华(中科院半导体所光电子研究发展中心．北京(100083)),朱洪亮…//半导体学报．—2006．27(1)．—1-4分别在普通的低阻硅衬底、带有3/μm厚氧化硅介质层的低阻硅衬底和高阻硅衬底上设计并制备了微波传输     

集成光学 光波导材料与制备

TN2522006054304As2S8玻璃条形波导的光激励法制备技术研究=Study onAs2S8glass stripe waveguide fabrication using illumination[刊,中]/邹林儿(上海理工大学光电学院.上海(200093)),陈抱雪…//光学学报.—2006,26(7).—1043-1047为了在As2S8薄膜中制备条形波导,实验研究了As2S8薄膜光致折射率变化和密度变化的现象,采用棱镜耦合、X线衍射和远红外反射光谱等测试技术,确认了As2S8薄膜经紫外光辐照后薄膜密度增高、折射率增大的现象。采用可见光吸收谱测试技术,确认了经紫外光辐照的As2S8薄膜不发生黑化现象。在归纳了实验规律的基…     

集成光学 光波导材料与制备

TN252 2006043283低损耗有机无机混合溶胶凝胶波导的实验研究=Alowloss planar waveguide by using organic-inorganic sol-gel[刊,中]/庞拂飞(中科院上海光机所.上海(201800)) ,韩秀友…∥光子学报.—2006 ,35(4) .—509-512利用有机无机混合的溶胶凝胶方法在硅基底上制备波导薄膜。采用正硅酸四乙酯和苯基三乙氧基硅烷作为反应先驱物,利用旋涂的方法成膜,对其折射率,传输损耗以及条形波导的光刻、刻蚀特性进行了研究。测量了波导薄膜折射率随成分变化的关系。实验表明,该方法工艺简单,可以获得具有较低损耗的波导薄膜。测试得到632 .8nm…     

集成光学 光波导材料与制备

TN252 2006032263质子交换铌酸锂波导的退火工艺=Annealed technology ofproton exchange Li NbO3waveguide[刊,中]/罗辉(电子科技大学光电信息学院.四川,成都(610054)) ,戴基智…∥光电子技术与信息.—2006 ,19(2) .—17-214介绍了质子交换铌酸锂波导的制作工艺,比较分析了不同切向、不同退火温度、不同退火时间下铌酸锂波导的特性。图5参14(严寒)集成光学 光波导材料与制备     

集成光学 光波导材料与制备

TN252 2005053604 制作聚台物光波导的铝掩模工艺=Aluminum mask for tabrication of polymeric optical waveguide[刊,中]／赵禹 (中兴通讯股份有限公司．广东,深圳(518057)),张大明… ∥半导体光电．-2005,26(3)．-208-211 针对聚合物波导制备中的关键技术-刻蚀掩模,进行 了系统的研究。以铝为例,利用原子力显微镜和光电子能 谱,详细地分析并讨论了在聚合物表面溅射镀铝对芯层波 导的影响。明确指出,溅射会在聚合物表面形成一层金属 包层,从而在器件中引入额外的吸收损耗并对此进行了计 算,同时给出解决的办法。最后,总结出最佳的工艺流程。 图5参21(于晓光)     

光波导材料与制备

通过数值计算模拟了K 一Na 二次扩散玻璃波导的折射率轮廓,阐述了利用K 一Na十二次离子交换的方法在BK7玻璃上制作波导的过程,分析了极化率不同的扩散离子对的选择对波导有效折射率变化的影响,以及扩散平衡时体积变化对表面折射率的影响,描述了扩散引起的波导内部诱导应力变化。设计了测试波导损耗以及波导     

光波导材料与制备

TN252 2004064287 在硅片上沉积厚二氧化硅的火焰水解法研究=Research on the deposition of thick silica on silicon substrate by flame hydrolysis deposition[刊,中]/郜定山(中科院半导体所光电子研究发展中心.北京(100083)),李建光…∥光学学报.—2004,24(9).—1279-1282 用火焰水解和高温烧结的方法在单晶硅基片上制备了厚SiO_2和B_2O_3-P_2O_5-SiO_2光波导包层材料。并用扫描电镜(SEM)和X射线粉末衍射(XRD)方法对其微观形貌和物相结构进行了观察和检测。重点对硅基片上沉积厚SiO_2时的龟裂和析晶问题进行了深入研究。从扫描电镜照片可以看出,火焰水解法形成的SiO_2粉末呈多孔的蜂窝状结构。这种粉末具有很高的比表面积,因而很容易烧结成玻璃。X射线衍射图谱表明,这种粉末是完全非     

集成光学和薄膜光波导

一、引言随着近代科学技术的发展,在光学、激光和电子学技术的基础上,人们正在开拓光电子学的一个新领域——集成光学．与六十年代初期电子技术的集成化相似,于六十年代末有人提出光路集成的设想［１,２］.几年来,已进行了不少的实验和理论的研究,发展很快,并且也取得了一些初步的成果．所谓集成光学,简单说来,就是在光波段把相干光波的振荡、放大、传输、耦合、变频、调制等功能集成一起,实现光学器件和回路的集成化....     

集成光学 集成光学、波导理论

TN25 2005010333 集成光学国际研究进展=Development of international integrated optics[刊,中]／张彤(东南大学电子工程系.江苏, 南京(210096)),崔一平∥电子器件．-2004,27(1).- 196-201 介绍了集成光学基本概念及其主要应用领域,分析了集成光学国际研究现状。在理论研究方面,对新型器件的设计、计算和模拟以及基于固体物理学和波动光学的基础理论研究是目前研究热点;而在器件研究方面,通信及传     

集成光学 集成光学、波导理论

TN252 2006043277亚毫米尺度双面金属波导的超高阶模及其滤波特性研究=Research of ultrahigh-order modes in double metal-clad-ding optical waveguide with submilli meter scale[刊,中]/曹庄琪(上海交通大学物理系,导波光电子器件实验室.上海(200240)) ,陆海峰…∥光学学报.—2006 ,26(4) .—497-500利用真空溅射法在一片亚毫米尺度的光学玻璃平板两面分别镀上不同厚度的金属薄膜,构成一种超厚的双面金属包覆波导,采用自由空间耦合技术实现了这种波导中超高阶导模的激发。由于超高阶导模具有对波长特别灵敏而对偏振不灵敏的特殊性质,…     

集成光学 集成光学、波导理论

TN252 2005053598 两种不同Y分支光波导的弯曲损耗研究=Bending loss of two kinds of Y-branch optical waveguides[刊,中]／郑宏林 (电子科技大学宽带光纤传输与通信网技术教育部重点实 验室.四川,成都(610054)),陈福深∥半导体光电．- 2005,26(1)．-30-33 针对低损耗S型弯曲Y分支的分析与设计,分别用弯 曲损耗理论和有限差分光束传输法分析了两种不同的S 型弯曲Y分支的损耗特性,比较了不同的波导宽度、分支 间距和分支张角对波导输出损耗特性的影响,得出了一组 最优化的Y分支波导设计参数。图5参5(严寒)     

集成光学 集成光学、波导理论

TN252 2004053610 MRTD算法的APML实现及其在光波导仿真中的应用=Implementation and application of the APML absorbing boundary condition for MRTD method in simulation of planar waveguide[刊,中]/郭毅峰(山东大学信息科学与     

集成光学 集成光学、波导理论

TN252 2005064254 3个非平行波导间的耦合=Coupling among threc nonpar allel waveguides[刊,中]/贾玉斌(北京大学微电子研究院． 北京(100871))∥光学学报．-2005,25(9)．-1161-1165 提出一种分析非平行波导的简明方法-耦合系数推 广法,把非平行波导几何图形的变化直接转化成波导耦合 系数中波导间距的变化,即对耦合系数进行了巧妙的推