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双波长拍波干涉测长中拍波干涉条纹尾数的测量方法 总被引:2,自引:0,他引:2
描述在拍波干涉测长中使用的几种拍波干涉条纹尾数测量方法,提出一种拍波锁相型对准原理,介绍和比较拍波干涉仪的三个原理方案,讨论测量方法和测量精度等问题. 相似文献
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本文介绍的调节白光干涉彩纹方法给出TM1/M2的判据及等光程差IO大致位置的估计方法,大大缩短了调节时间.一、MI//M。‘的调节白光相于长度仅数微米,故要获得白光干涉基本应做到M;//M。附图为观察激光点光源非定域干涉田的等效光路图,cd为丝杆的轴线,点光源S’在M。‘中的像为S。’;在MI的两个不同位置xl、x,的像为511’、s12’.显然,若MI川M。’,夹角为a.当MI远离M;’而移动时,干涉囵中心将由PI移向P:.且愈在靠近M。’的区域移动MI,引起的囵中心的位移愈大.若MIVM:’,则移动M;时,圈中心总不动.故… 相似文献
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《光学学报》2016,(3)
由于系统装调与器件定位精度的限制,空间调制傅里叶变换光谱仪中的两个多级微反射镜在对准过程中会产生相对位置的平移和旋转。为了明确对准误差对系统产生的影响,利用线性系统理论与标量衍射理论分别建立了平移误差与旋转误差对应的干涉图像与复原光谱的模型。通过对计算结果的分析,平移误差与旋转误差均会对边缘的干涉图元进行剪裁,从而在复原光谱中引入伴线,带来光谱噪声。根据平移误差与旋转误差对干涉图像的作用特点,提出一种对干涉图像进行区域补偿的方法,通过扩展多级微反射镜的阶梯级数扩大干涉区域,然后利用干涉图像内部有效的干涉图元进行光谱反演;计算表明该方法可以有效抑制对准误差给系统带来的影响,从而降低多级微反射镜的定位精度要求。 相似文献
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在等厚干涉实验中,我们可以利用两平面间空气隙所产生的干涉条纹数目来确定微小厚度(如金属箔纸的厚度),等厚干涉原理在光学加工、计量中的应用非常广泛.现介绍“三块互检法”在光学测量中的应用在光学测量中,常常需要检测平面光学零件的表面面形精度,通常的办法是用一块标准平面平晶(俗称标准样板)来检测.标准样板的工作面与光学零件待测面贴放一起,在白光或其他光源照射下;能够在两接触面上观察到干涉条纹.因为标准样板面形精度很高.可以认为观察到的干涉条纹数即为待测光学零件平面的面形精度,精度干涉条纹总数XA/2.平… 相似文献
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在一级近似条件下,导出薄膜干涉条纹的可见度公式,人条纹可见度的角度定量分析干涉定域问题,直观地给出定域中心、定域深度随扩展光源、薄膜的劈尖角和厚度变化的规律. 相似文献
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薄膜干涉条纹定域的确定,文献[1]~[4]等已有讨论.其中[4]较简单直观。本文在直角坐标系中推出定域中心曲面方程,作适当近似与文献[1]、[4]的结果相同,并在此基础上对条纹定域深度进行了讨论 相似文献
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干涉方法测菲涅尔双棱镜棱角及玻璃折射率 总被引:1,自引:0,他引:1
干涉方法测菲涅尔双棱镜棱角及玻璃折射率麻福厚,张建秋(乌鲁木齐八一农学院基础部乌鲁木齐830052)杨氏双缝,菲涅尔双棱镜等以分割波阵面获得干涉.牛顿环,劈形膜等以分割振幅获得干涉.教学中分波阵面的干涉与分振幅的干涉均以各自独立的实验进行,互不关联.... 相似文献
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针对光刻对准中产生的单幅封闭干涉条纹经相位解析后获得的包裹相位,提出在极坐标系对其进行相位展开进而获得对准偏移量的方法.该方法首先将对准过程中两圆光栅相对移动产生条纹的相位分布从直角坐标系转换到极坐标系;其次分析在极坐标系下对准偏移量与相位参量的关系;最后通过取不同径向半径获得初始相位振幅与相位延迟进而求取对准偏移量.数值模拟与实验验证该方法的可行性并与传统的最小二乘与路径跟踪相位展开方法进行了对比分析.结果表明该方法对包裹相位进行展开进而达到几十纳米量级的高准确度对准,具有很强的适应性. 相似文献
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采用简单的实验材料,改进偏振光的干涉演示实验,使实验简单易行,且偏振光的干涉原理以及干涉中相位和光强的关系在简单实验中得以具体体现. 相似文献
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劈尖干涉中斜干涉条纹的测量王雪冬,王红理,刘平(西安交通大学物理系710049)在等厚于涉实验中,所使用的劈尖干涉装置是由两块平面国玻璃板或长方形平面玻璃板中间夹一全属箔条,同时为了固定金属箔条及防止平面玻璃的脱落而损坏,用螺旬将其固紧在胶木圈内.根... 相似文献
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激光干涉测长未对准误差分析 总被引:1,自引:0,他引:1
分析了激光干涉测长原理,建立了测长光路中角锥棱镜的光线偏移模型及内部光程模型,推导了忽略直线度误差及角度误差的未对准误差对定位误差测量结果影响关系的简洁表达式,进行了定位误差的测定实验,给出了未对准误差的一种定量评估方法. 相似文献
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高温超导材料钇钡铜氧制作的射频超导量子干涉器件在液氮温度下的实验中,自装实验控制仪由探头等三部分组成.超导量子干涉器件是关键部件,可在实验室由学生自己制作,需耐心、细心、认真操作 相似文献
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法布里—珀罗干涉仪实验中几个问题的讨论 总被引:1,自引:0,他引:1
一、引言法布里一拍罗于涉仪实验(以下简称F-P实验)是一个典型的等倾干涉实验,其干涉花样比牛顿环实验更清晰、更细锐.因其调节有一定难度,某些实验者往往将精力主要集中于调节上,忽略了一些值得讨论的问题.本文现对以下三个问题进行讨论:1.干涉环的宽度;2.测量误差;3.从第几圈干涉花样开始测量比较合理,以及至何时第一圈干涉花样算形成完整.二、F-P实验中的光强分布因为光的干涉花样是光强分市的表现,所以,对上述三个问题的讨论应从光强分布公式”‘的讨论入手,式中I0为入射光强,R为F-P标准具镀银面的反射系数;… 相似文献