玻璃光学元件精密模压成形技术

介绍了玻璃光学元件精密模压成形技术的原理、玻璃材料、模具制造、模具表面镀膜、结合有限元仿真的模压工艺优化和模压成形设备等核心技术的研究进展,并讨论了当前存在的问题。通过探讨玻璃模压成形技术在自由曲面、微结构、衍射结构表面和晶圆阵列等光学元件中的应用现状,对玻璃元件精密模压成形技术的发展趋势和挑战进行了展望。     

微透镜阵列光学相控阵扫描技术研究进展

光学相控阵光束扫描技术在激光雷达、空间光通信和光开关等领域拥有巨大的应用潜力。微透镜阵列光学相控阵可以通过微透镜阵列间μm量级的相对位移同时对多个出射光束的二维倾斜相位进行调制,从而实现大角度二维光束扫描,具有出射口径大、结构简单、体积小、微惯性、多功能等优点。首先介绍了微透镜阵列光学相控阵的扫描原理,之后对微透镜阵列光学相控阵国内外的发展现状、应用和现阶段存在的问题进行了阐述,最后对微透镜阵列光学相控阵的发展趋势进行了展望。     

微模塑法制备PMMA球面微透镜阵列

借助微透镜及其阵列的光学器件,采用软刻蚀技术中的微模型方法成功制备了聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的柱体及球面微透镜阵列,并对该微透镜阵列进行了光学显微和SEM分析．通过考察制备过程中的影响因素,探讨了减少阵列缺陷和提高光学性能的适宜参数．并对该透镜阵列的光学成像性能进行了初步研究．     

微透镜阵列的制备与应用研究进展

微透镜阵列是一种多功能的微光学元件,可以对入射光进行扩散、光束整形、光线均分、光学聚焦等调制,进而实现大视角、低像差、小畸变、高时间分辨率和无限景深等,在光电器件和光学系统的微型化、智能化和集成化方面具有重要的应用潜力.介绍了微透镜阵列的光学原理和发展历程,综述了喷墨打印、激光直写、丝网印刷、光刻技术、光聚合技术、热熔回流技术和化学气相沉积法等微透镜阵列制备技术,总结了微透镜阵列在成像传感、照明光源、显示和光伏等领域的应用进展,最后对微透镜阵列的发展方向进行了展望,讨论了曲面微透镜、叠加复眼系统以及微透镜与新型光电材料结合等新方向的发展趋势和未来挑战.     

光学微透镜阵列成像质量预测和测量

为了研究微透镜阵列成像质量的影响因素,针对慢刀伺服加工和紫外（UV）光固化工艺制备的微透镜阵列,引入微透镜阵列镜片的误差,建立基于Zemax光学软件的光学微透镜阵列成像仿真模型,分析透镜单元的高度、曲率半径、入瞳直径等误差对微透镜阵列成像质量的影响。搭建光学测试平台对评价微透镜阵列成像性能的光学参数进行检测,包括各透镜单元的焦斑大小、位置误差及其焦距值,并利用点扩散函数（PSF）曲线的半峰全宽值对光场成像结果进行成像质量评价,测量得到微透镜阵列的焦距标准误差为0.12 mm。将测量结果与仿真结果相比,可得PSF曲线的半峰全宽值误差在12%左右,证明了仿真模型的准确性。利用仿真和实验的方法建立了微透镜阵列镜片误差与其光学成像质量之间的关系,这可为基于功能实现的光学微透镜阵列的超精密加工工艺提供理论基础和指导。     

非球面透镜的高精度模压

<正> 一、前言高性能的光学透镜通常是通过磨削、抛光等工序制成。而最近,通过对塑料和玻璃两方面的研究,采用高精度金属模具直接模压成形,批量生产非球面透镜。目前,已研制了电视机投影仪塑料镜头,袖珍唱盘的塑料物镜等。而光     

凹折射微透镜阵列的离子束刻蚀制作

利用光刻热熔成形工艺及离子束刻蚀制作 12 8× 12 8元凹微透镜阵列。所制硅及石英凹微透镜的典型基本图形分别为凹球冠形、凹柱形和矩顶凹面形。分析了在光致抗蚀剂柱凹微透镜图形制作过程中的膜系匹配特性 ,与制作该种微透镜有关的光掩模版的主要结构参数 ,以及光致抗蚀剂掩模工艺参数的控制依据等。探讨了在凹微透镜器件制作基础上利用成膜工艺开展平面折射微透镜器件制作的问题。采用扫描电子显微镜 (SEM)和表面轮廓仪测试了所制石英凹微透镜阵列的表面微结构形貌。给出了所制石英凹微透镜阵列远场光学特性的测试结果。     

具有良好光学表面的玻璃透镜模压成形技术

介绍具有良好光学表面的玻璃透镜模压成形技术的发展现状和利用这项技术制造玻璃透镜的方法及其关键的技术问题。     

一种大F数微透镜阵列的制备方法

针对大F数(大于10)微透镜阵列难以制备的现状,提出了一种制备大F数微透镜阵列的方法.首先采用传统光刻胶热熔法及刻蚀技术制作出成形的微透镜阵列,再将一层具有较高粘滞系数的光刻胶均匀地涂覆在该微透镜阵列上,在光刻胶的粘滞作用以及烘烤过程中光刻胶自身表面张力的共同作用下,微透镜阵列的F数得到提高.采用该方法制备的二氧化硅微透镜阵列的F数达40,与传统大F数微透镜阵列的加工方法相比,该方法简便易行、制备的微透镜阵列面形良好,且只需调节光刻胶的粘滞系数,即可获得F数不同的微透镜阵列.     

红外干扰模拟器的微光学扩束技术

基于双干扰光路红外干扰模拟器的光束扩束技术,设计了微透镜阵列扩束系统,利用光刻胶热熔技术对微透镜阵列进行加工并对干扰模拟系统的能量收集效率进行测试.实验结果表明两干扰光路的能量收集效率分别为27.3%和26.9%,与设计结果30.8%基本符合;验证了微透镜阵列作为扩束元件在红外干扰模拟器中的应用价值,为红外成像仿真技术及多干扰光路红外成像目标模拟器的工程化研究提供了参考.     

飞秒激光和酸刻蚀方法制作凹面微透镜阵列

基于飞秒激光光刻技术和氢氟酸对光学玻璃的刻蚀,在K9光学玻璃表面制作了凹面微透镜阵列,并且可以以此为模板实现凸微透镜阵列的大量复制.用相位对比显微镜和扫描电子显微镜分析了微透镜阵列的表面轮廓,测试了微透镜阵列的光学衍射特征.该方法简单、透镜参量可控,制作的微透镜阵列能够用于分光、光束匀化、并行光刻等强激光领域.     

Research on micro-optical lenses fabrication technology

We present a detail investigation on the development of a series of gradient index (GRIN) optical glass microlens and polymer microlens and microlens arrays in our laboratory in recent years. The special glass material GRIN lenses have been fabricated mainly by using ion-exchange technology, which are applied to construct micro-optic devices and other applications. On one hand, we demonstrated the light propagation and imaging properties of GRIN lenses and the results analyzed. On the other hand, we have explored a drop-on-demand ink-jet printing method to produce microlens array using nano-scale polymer droplets involved with a uniform ultraviolet light and heat solidifying process. The experimental setup for manufacturing polymer microlens array and the performance of refractive microlens elements are also given in this paper.     

Development of a double-sided micro lens array for micro laser projector application

This paper introduces the development of a double-sided micro lens array (DSMLA) for application in micro laser projectors. For commercial mass production, it is necessary to investigate the concurrent engineering of optical design, mold fabrication, and plastic injection molding at once. This experiment based the design of the micro lens array on the scalar diffraction theory. The proposed DSMLA can simultaneously shape red, green, and blue laser beams into a uniform projection pattern. An ultra precision diamond turning machine using a slow tool servo method fabricated the mold. The study considered optical design constraints from the feedback of mold fabrication and plastic injection molding, measuring and comparing fabricated samples with calculated results. Experimental results show that the fabricated DSMLAs achieve the desired function and application feasibility for micro laser projectors.     

The Effect of Wettability of Nickel Mold Insert on the Surface Quality of Molded Microlenses

In micromolding of microlens array, it is important to prepare a mold insert of superb quality, which contains the micro-cavity of lens shape, because the geometrical quality of the mold insert defines the final quality of the molded micro-optics. In the present study, the electroforming process was used to make the metallic micro-mold insert for micro-molding of microlens array. The wettability property of the fabricated mold isnert was examined by measuring the contact angle of the polymer in the pliable state on the mold insert. Microlenses were compression-molded with the fabricated mold insert. The effects of the molding temperature and wettability property on the replication quality of the molded lenses were analyzed experimentally.     

Fabrication of PDMS microlens array by digital maskless grayscale lithography and replica molding technique

This paper presents a facile and effective method to fabricate microlens array in polydimethylsiloxane (PDMS). The microlens array model is fabricated in photoresist via digital maskless grayscale lithography technique and the replica molding technique is used to fabricate PDMS microlens array. A convex PDMS microlens array with rectangular aperture and concave PDMS microlens array with hexagonal aperture are fabricated. The morphological characteristics of the microlens arrays are measured by microscope and 3D profiler. The results indicate that the profiles of the PDMS microlens arrays are clear and distinct. This method provides a simple and low-cost approach to prepare large area, concave or convex with arbitrary shape microlens array, which has potential application in many optoelectronic devices.     

六角形孔径平面微透镜阵列的制作及基本特性研究

采用光刻离子交换工艺制作了六角形孔径平面微透镜阵列.离子交换后的变折射率区域有微小重叠,填充系数可达95%以上.对制作的六角形孔径平面微透镜进行了折射率分布、数值孔径和像差等光学特性测试,得到的六角形孔径平面微透镜阵列光学性能均匀,成像质量较好的结果.该透镜阵列的研制成功为制作高质量高填充系数透镜阵列及模拟生物复眼光学系统奠定了基础.     

基于微透镜阵列的LED光学性能

功率型发光二极管(LED)的发展迫切需要提高取光效率,基于微透镜阵列的二次光学设计是改善其取光效率的有效途径。建立了一种大功率LED的封装结构,二次光学设计采用了微透镜阵列技术,运用光线追踪法研究了这种封装结构的光学性能。分析结果表明:利用微透镜阵列技术能显著改善LED的光学性能,提高取光效率,能将LED的亮度衰减降低12%以上,得到了较好的效果。