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相似文献
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1.
杨国伟 《半导体光电》1993,14(2):115-120
本文叙述了多孔硅的制备、多孔形态层的形成机理,以及多孔硅的光致发光现象和理论解释,并且讨论了目前存在的一些问题。  相似文献   

2.
本文提出了一种形成多孔硅发光图形的方法。以淀积的Al作掩膜,通过硅自注入使样品选区非晶化。阳极处理使单晶区生成发光区,非晶区成为不发光区,形成多孔硅发光图形,分辨率达2μm。讨论了离子注入对多孔硅形成与发光的影响。  相似文献   

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Labview软件控制腐蚀条件,用脉冲电化学腐蚀法制备多孔硅薄膜,其表面形貌用原子力显微镜观察并分析。用可见-紫外分光光度仪测量其反射谱,通过计算得出各种制备条件下,多孔硅薄膜的其它光学参数,即有效折射率neff,吸收系数α,有效介电常数的实部εer,和虚部εei,消光系数K,研究了入射光波长和孔隙率对这些光学常数的影响。  相似文献   

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Labview软件控制腐蚀条件,用脉冲电化学腐蚀法制备多孔硅薄膜,其表面形貌用原子力显微镜观察并分析。用可见-紫外分光光度仪测量其反射谱,通过计算得出各种制备条件下,多孔硅薄膜的其它光学参数,即有效折射率neff,吸收系数α,有效介电常数的实部εer和虚部εei,消光系数K。研究了入射光波长和孔隙率对这些光学常数的影响。  相似文献   

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用氯氟酸硝酸水溶液对硅单晶抛光片进行染色腐蚀,制备了多孔硅.本文研究染色腐蚀多孔硅的光致可见光发光特性,特别是激发光强度和波长与发射光强度与波长的关系,多孔硅的稳定性和响应特性.  相似文献   

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9.
多孔硅的发光机理及应用   总被引:2,自引:0,他引:2  
对多孔硅的发光机理和应用前景作了详细介绍。  相似文献   

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详细讨论了两种新的多孔硅发光机制理论(无序Si网络结构和聚硅烷/氢化物发光)以及相应的实验支持。通过分析多孔硅的各种发光机制和多孔硅微结构研究,作者认为多孔硅不是仅有一种发光机制,不同的微结构和成分构成会产生不同的发光机制,其中量子限制效应和聚硅烷/氢化物发光是受到较多实验支持的,分别有微结构和成分决定的发光理论。  相似文献   

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多孔硅研究的新进展   总被引:1,自引:0,他引:1  
多孔硅研究的新进展陈乾旺李新建朱警生周贵恩李晓光张裕恒(中国科学院中国科学技术大学结构分析开放研究实验室,合肥230026)自1990年Canham发现多孔硅发射可见光的现象以来,人们对多孔硅的形成机理、发光机制和可能的技术上应用作了大量的工作。然而...  相似文献   

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评述了多孔硅发光机制的量子限制效应理论,讨论了与此相关的一些实验和两种新的QCE理论,最后分析了QCE理论存在的一些问题。  相似文献   

14.
本文系统地综述了多孔硅的微结构、发光特性和发光机制等方面的最新研究成果,介绍了当前多孔硅研究中的一些热点问题与学术争论情况,对多孔硅在光电器件中的应用前景作了讨论。  相似文献   

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对多孔硅的发光机理和应用前景作了详细介绍。  相似文献   

16.
多孔硅发光材料   总被引:2,自引:0,他引:2  
陈祖平 《光电子技术》1995,15(3):176-182
扼要叙述多孔硅发光的原理、工艺与应用,并指出应用存在的问题。  相似文献   

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多孔硅研究的发展   总被引:2,自引:2,他引:2  
多年来.人们对多孔硅的制备方法、微结构特征及其化学成分、发光特性以及发光机制等方面做了深入的研究和探讨.文章对这几个方面的研究工作做了介绍.并对目前的研究状况和应用研究中存在的问题进行了分析。制备出均匀性好、发光效率高、性质稳定、机械强度较高的多孔硅是促进其实用化进程的基本途径。人们对多孔硅进行大量研究的目的主要在于获得硅发光集成装置.另外多孔硅的应用研究也体现在光电子器件、光学器件和传感器件3个方面。多孔硅在微电子学、晶片机械加工、生物工艺学等领域也具有潜在的应用价值.  相似文献   

20.
多孔硅制备工艺的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
多孔硅的发光性能与其制备工艺密切相关,本文着重讨论了阳极氧化技术、表面再处理、硅衬底的电学性质等因素对多孔硅质量的影响,给出了合适的工艺条件。  相似文献   

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