红外双波段激光滤光膜的研制

为了满足红外军用仪器的特殊要求,根据薄膜理论进行了红外双波段滤光膜的膜系设计;采用电子束真空镀膜的方法,通过对工艺参数的调整,在多光谱ZnS基底上镀制了1 064nm高反、3～5μm高透的红外双波段滤光膜.利用低能离子轰击,使膜层与基底间的应力明显减小;使用BGS 6341薄膜应力测试仪,采用渐变梯度法,测得其压应力由...     

红外双波段激光滤光膜的研制

为了满足红外军用仪器的特殊要求,根据薄膜理论进行了红外双波段滤光膜的膜系设计;采用电子束真空镀膜的方法,通过对工艺参数的调整,在多光谱ZnS基底上镀制了1 064 nm高反、3～5μm高透的红外双波段滤光膜。利用低能离子轰击,使膜层与基底间的应力明显减小;使用BGS 6341薄膜应力测试仪,采用渐变梯度法,测得其压应力由122 MPa降到51 MPa。另外,通过低能离子轰击和真空退火处理,提高了膜层的抗损伤阈值。结果显示所镀膜层满足红外军用仪器的使用要求。     

激光敌我识别系统中滤光膜的研制

根据激光敌我识别系统的使用要求,选择H4和SiO2作为高低折射率材料,借助Macleod和TFCalc软件进行膜系优化设计和分析。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积技术,通过正交矩阵实验对材料的工艺参数进行调整和优化,利用基片的正反面分别对带通滤光片的长波反射带和短波反射带进行展宽,解决了单面膜层过厚难以控制的问题,制备了符合要求的激光滤光膜。镀膜后的基片在532,632,905,1064和1550nm波长处的透射率小于0.2%,808nm波长附近的平均透射率大于95%。并在532nm和1064nm波长处具有较高的激光损伤阈值,能承受恶劣的环境测试,满足激光敌我识别系统中光学仪器的使用要求。     

可见与红外双波段宽带增透膜的研制

根据军用光学仪器的使用要求,在多光谱ZnS基底上镀制增透膜,要求薄膜在可见与近红外波段400～1000 nm及远红外波段7～11 μm的平均透射率均大于90%.采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过选择ZnS和YbF3作为高低折射率材料,利用最新OptilLayer软件三大模块的功能辅助,调整镀膜工艺参数,改进监控方法,减少膜厚控制误差,在多光谱ZnS基底上成功镀制符合使用要求的增透膜.所镀膜层在可见与近红外波段400～1000 nm的平均透射率大于91%,远红外波段7～11μm的平均透射率大于90%,能够承受恶劣的环境测试,完全满足军用光学仪器的使用要求.     

中红外带通滤光片的设计与制备

中红外带通滤光片在航天、气象、遥感等领域有着重要的应用,峰值透过率和通带半宽度是带通滤光片的重要指标,主要取决于光学薄膜的膜系结构和具体设计。论述了一种在锗基底上采用锗和硫化锌两种材料设计并成功制备出中红外带通滤光片的方法。详细介绍了镀膜材料的选择以及这种方法的设计理论,给出了膜系结构,运用离子辅助沉积工艺在ZZSX-1100镀膜机上制备出了这种滤光片,测试结果表明:所制备的滤光片峰值透过率达到87%以上,通带半宽度为70 nm,光谱性能稳定,膜层致密,附着力好,膜系结构简单,易于实现。     

光子嫩肤标准谱段滤光片的研制

研制一种在光子嫩肤仪中用于产生标准谱段的滤光片.采用石英作为基底,选择TiO2和SiO2作为高低折射率材料,采用needle优化方法压缩通带波纹,通过真空镀膜和离子辅助的技术,研制出了200 nm～550 nm平均透过率低于0.3%,570 nm～1 200 nm平均透过率高于95%的光子嫩肤用滤光片.在制备过程中,解...     

红外线治疗仪中宽波段带通滤光片的研究

研究了一种用于红外线治疗仪的新型滤光片.该滤光片通过对红外线治疗仪光源所发出的光进行选择性滤波,能够降低部分波段光的承载能量,提高治疗仪的安全使用性能.针对红外线治疗仪对滤光片的使用要求,选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料,采用电子束加热蒸发方式,配合离子辅助淀积技术,利用石英晶控控制法对膜层厚度进行监控,通过反复优化各项工艺参量,制备出在600~1 200nm波段平均透过率高于92%,300~550nm、1 270~2 000nm波段平均透过率低于2%的宽波段带通滤光片.研究中运用"拆分技术要求"的设计思想,对颜色片进行双面镀制,解决了单面膜层过厚难以制备的问题,降低了制备难度,易于批量生产.测试结果表明,该滤光片满足使用要求.     

中红外能量调节滤波器的研制

为解决信息采集中环境因素的干扰,提高目标判断精度,通过滤光技术,利用不同波段能量比的差异,对同时采集到的波段信息进行能量对比。根据系统要求,在Si基底设计并制备了中红外3.5～5μm波段能量调节滤光膜,选择Ge和SiO作为镀膜材料。依据光学薄膜基础理论,通过建立新的评价函数,结合Macloed膜系设计软件,实现0～30°入射3.5～5μm波段能量调节滤波器的设计与制备。研究能量调节滤光膜的微观组成,分析其在温湿试验前后的光学性能变化的原因,综合利用Ge和SiO吸潮前后光学参数,优化能量调节滤光膜膜系设计,解决其在潮湿环境中长期使用光学性能下降的问题。测试结果表明,制备的能量调节滤波器0°入射时,吸潮前能量调节比为1∶40.9,吸潮后能量调节比为1∶40.7;30°入射时,吸潮前能量调节比为1∶40.04,吸潮后能量调节比为1∶39.04,满足系统要求。     

近红外宽截止窄带滤光膜的研制

在空间光通信系统中,为满足光学系统对滤光膜的特殊要求,研制出了一种近红外宽截止窄带滤光膜,实现了降低深背景范围内杂散光干扰的要求.通过对薄膜材料特性的研究、膜系设计曲线的不断优化,得到了相对易于制备的窄带滤光膜结构;采用电子束加热蒸发及离子辅助沉积技术制备薄膜,采用光控加晶控同时监控的方法监控膜层厚度,通过不断优化工艺参量,提高中心波长处的透过率,最终成功得到了光谱性能较好的滤光膜.经光谱测试表明:所镀膜层在800~1 530nm、1 600~1 800nm波段平均透过率低于0.3%,1 565nm单点透过率高于92%,通带半带宽为18nm,满足光学系统的使用要求.     

A waveguide high-pass filter system for measuring the spectrum of pulsed terahertz sources

We propose a system for measuring spectra of terahertz (THz) pulses, including single pulses, which is based on high-pass filters (HPFs). The system consists of channels for measuring amplitudes of pulses (initial pulses and those transmitted via HPFs with different cutoff frequencies) and an algorithm for processing of the obtained data. The pulse spectrum is restored by using the iteration method or the amplitude–frequency method. The iteration method of spectrum restoration is applicable in the range of THz pulse durations from 10⁻⁹ s to 10⁻⁷ s. The amplitude–frequency method is applicable to THz pulses with durations exceeding 10⁻⁸ s. The system for measuring of THz pulse spectra was simulated by using the characteristics of specially developed waveguide HPFs. The relative simulation error of determining the central frequency by the amplitude–frequency method is equal to 2 · 10⁻⁶ for THz pulse durations of 10⁻⁵ s and longer.     

The validity of high-pass angular spectrum filter in solid immersion lens system

应用矢量方法计算了具有高通角谱滤波器的固体浸没透镜（SIL）系统的焦场分布。数值结果显示，对于径向（角向）偏振输入光，高通角谱滤波器可以减小SIL系统的光斑（暗斑）大小。然而，对于线性偏振输入光，简单的高通角谱滤波器不能够优化SIL系统的光场分布，也不能够改进系统的光存储密度。     

等离子体辅助制备窄带滤光片

研究了采用等离子辅助技术制备窄带滤光片的工艺。介绍了等离子辅助蒸镀系统的基本工作原理,描述了优化膜厚均匀性的过程。在有色玻璃上制备了由多层TiO2和SiO2薄膜组成的窄带滤光片,测试并分析了窄带滤光片的性能。试验结果表明,采用等离子体辅助蒸镀技术能够批量制备具有优良光学性能的窄带滤光片。     

基于背景最佳滤波尺度的红外图像复杂度评价准则

提出一种基于背景最佳滤波尺度的红外图像复杂度评价准则来解决传统方法评价背景效果较差的问题. 同时, 这种方法还可以为红外图像滤波提供最佳高通滤波尺度信息, 从而对红外图像进行性能最佳滤波. 首先, 生成高斯仿真目标并与红外图像进行融合, 获得包含仿真目标及真实红外背景的图像. 然后, 在不同高斯滤波尺度下对图像滤波, 并计算滤波后仿真目标的信噪比. 最后, 取滤波后目标信噪比最大时的滤波尺度作为背景最佳滤波尺度, 使用该尺度可评价红外图像的复杂度. 另外, 本文还使用数学模型推导了红外图像最佳滤波尺度, 得出最佳滤波尺度的数学表达式. 大量实验表明: 1) 本文推导的最佳滤波尺度数学表达式与实验曲线吻合. 2) 这种方法在评价红外图像复杂度方面比传统的基于信息熵的方法效果要好很多. 并且这种方法获取的红外背景复杂度为滤波最佳尺度, 可以直接利用这项指标对图像进行最佳滤波从而更好地检测弱小目标. 3) 仿真目标尺度越大, 最佳滤波尺度也会相应增大. 因此, 在评价图像复杂度时, 应使用相同尺度的仿真目标, 不同图像之间才具备可比性. 同时, 最佳滤波尺度与仿真目标的强度无关. 4) 本文算法使用的滤波器宜用高斯及Butterworth高通滤波器实现. 5) 本文提出的方法不仅可以有效分析红外视频的复杂度, 并且可以通过复杂度的变化分析图像内容的突变.     

红外探测器光谱响应度测试技术研究

光谱响应度是探测器的重要技术参数之一，随着红外探测技术的发展，精确测量红外探测器的光谱响应度变得越来越重要。首先对红外探测器光谱响应度的测试技术进行分析，然后建立红外探测器相对光谱响应度测量装置，并用腔体热释电探测器在该装置上进行红外探测器光谱响应度校准实验。通过对红外探测器相对光谱响应度进行重复测量，给出测量结果的平均值，最后对影响测量结果的不确定度进行分析。由于该装置的测量范围是1～20μm，因此还可以实现InSb探测器和HgCdTe探测器相对光谱响应度的测量。不确定度分析结果表明，InGaAs探测器光谱响应度的测量精度较高。     

Infrared high-pass filter with high contrast

A high-pass transmission filter is described which has very small transmission (e.g. 10^–10) on the low-frequency side. It consists of a perforated metal foil. The perforations act as cutoff waveguides for the low-frequency radiation.A very steep filter slope (e.g. 1000 db/octave) paired with good transmission at high frequencies suggests use of this filter e.g. for purifying infrared laser beams from (even closely spaced) low-frequency components.     

A novel infrared absorbing structure for uncooled infrared detector

In this paper, we proposed a novel infrared absorbing structure for uncooled infrared detectors. The infrared absorber makes use of a quarter-wavelength structure composed of a dielectric layer, a protecting layer, an active layer, a supporting layer and a reflecting layer. Sputtered amorphous silicon is used as a dielectric layer because of its high refractive index. We fabricated the uncooled microbolometer with the proposed infrared absorbing structure by surface micromachining method. Then we characterized various bolometric properties such as thermal conductance, thermal time constant, responsivity and infrared absorptance. The fabricated bolometer showed the thermal conductance of 6.72 × 10⁻⁷ W/K, the thermal mass of 4.43 × 10⁻⁹ J/K, the thermal time constant of 6.6 ms and the responsivity of 7.76 × 10³ V/W at 10 Hz chopper frequency and 9.22 μA bias current. From the results, the estimated absorptance is about 80%. We expect that the proposed absorbing structure shows high infrared absorption and high performance of uncooled microbolometer.     

一种近红外探测器的光谱响应率测量

对近红外辐射功率光谱绝对响应率的定标技术进行了研究。设计了一种制冷扩展波长型的InGaAs探测器，为了使其能够作为功率传递的标准探测器工作在（1.2～2.5）μm波长范围，对探测器的光谱响应率进行了测量。首先在1260nm波长下进行绝对功率传递的标定试验，然后用基于红外单色仪的光谱比较系统（SCF）测量了探测器的相对光谱响应率。结合2个步骤的数据，最终可以得到探测器的绝对光谱响应率。