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叙述一种用发散光束来的制作变周期光栅的方法,简单的系统保证了两束形成全息干涉的光强相等这一点对获得高反衬结构的光栅图形是重要的。在显影过程中用He-Ne激光作为衍射效率的在位监控。 相似文献
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利用激光全息技术,通过马赫-曾德尔干涉光路制作了三种尺寸可控的一维光栅,选择了合适的实验参数制作了二维光栅。通过金相显微镜表征分析了一维光栅和二维光栅的显微组织,并精确测定了其光栅常数。 相似文献
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A Novel Fabrication Technique of Long Period Fiber Gratings Using a Holographic Optical Element 总被引:1,自引:0,他引:1
We develop a new flexible and precise ultraviolet exposure technique to fabricate a long period fiber grating using a computer-generated holographic optical element (HOE). The HOE can generate a striped beam pattern with about a 300 #x03BC;m period from a KrF excimer laser. This method offers (1) ease in varying the grating period and (2) grating period precision. We achieve a grating period within an accuracy of #x00B1;0.04 #x03BC;m. This means that the peak wavelength can be controlled within an accuracy of #x00B1;0.2nm with an operating wavelength of 1.55 #x03BC;m.This paper was originally presented at the 2nd International Conference on Optical Design and Fabrication, ODF2000 which was held on November 15-17, 2000 at the International Conference Center, Tokyo, Waseda University, Japan. 相似文献
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全息光栅制作中的实时潜像自监测技术 总被引:2,自引:4,他引:2
介绍了一种实时监测全息光栅曝光过程的新方法。在曝光过程中,光刻胶折射率的空间分布发生微小变化,由此形成的潜像光栅同时对记录光束产生衍射(自衍射),探测一个非零级次的衍射强度的变化就可对曝光过程实时监测。实验证明,这种技术能灵敏、客观地探测出样片之间由于个性差异所导致的最佳曝光量的漂移,制作者可以借此对曝光时间做实时补偿。发现自监测曲线之线性区的末端存在着一个明显的最佳曝光参考点,紧接其后是一个最佳曝光可选择区。采用了一个曝光模型,其模拟结果和实验中得到的自监测曲线能很好地吻合。理论分析证实,根据实时监测曲线的相对幅值来优化最佳曝光量的方法是很合理的,这种实时自监测是一种非常简单、能有效控制曝光量的技术。 相似文献
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局域体全息光栅的衍射特性 总被引:7,自引:5,他引:2
基于三维耦合波理论,研究了两束有限宽度的任意偏振平面波干涉产生的局域体全息光栅的衍射问题。以单位均匀振幅的任意偏振平面波为例,给出了透射波和衍射波振幅的主分量和交叉分量的解析表达式,讨论了记录过程和再现过程中入射的参考光波的偏振角对透射波和衍射波振幅的影响。计算结果表明,记录过程中的偏振角越小,形成的光栅内的耦合越强,衍射效率越高,但光束质量越差;再现过程中不同的偏振角,由于入射波和衍射波的电矢量的不同方向的耦合强弱不同,透射波和衍射波振幅的主分量和交叉分量的振幅变化行为不同。 相似文献
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本文针对层状多重体全息在红外通讯波段分光滤波的应用,分析了其布喇格匹配与衍射效率均匀性问题.给出了在LiNbO3∶Fe光折变晶体中制作层状多重体全息光栅的几种方法.利用双片光干涉在直接分层结构中写入了三层光栅,光栅层厚1 mm,层间距2 mm,每层复用了四个光栅.对这三层光栅的分析测试表明,12个光栅的衍射效率均匀,相邻通道间隔约3 nm.实验结果表明,这种层状结构的多重体全息光栅有希望用来组成具有大量通道数的WDM系统中的复用/解复用器件. 相似文献
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变间距全息光栅具有自聚焦和消像差功能,是高分辨率光谱仪与同步辐射单色器中的重要元件。研究了使用平面等间距光栅产生非球面波,记录平面变间距全息光栅的方法。根据几何光学的光线追迹理论,推导了光栅参量的四阶解析表达式。并基于费马原理,提出了记录光路的光线追迹数值算法。应用所推导的光栅参量四阶表达式,仿真设计了变间距全息光栅。通过合理选择记录参量,可以避免光栅基底受到零级及高阶衍射光场的影响。设计结果表明,理论光栅线密度与要求值相当符合;经光线追迹数值算法验证,解析表达式的展开误差在整个记录区域内小于1.5线;考虑到实际加工工艺允许误差,使用辅助光栅的记录光路对记录参量的误差并不敏感;设计实例证明了解析表达式的有效性,以及使用辅助光栅的记录光路的优越性。 相似文献
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全息光栅实时显影监测曲线的理论模拟 总被引:6,自引:2,他引:6
在特定的工艺条件下,光刻胶的非线性效应非常显著;合理地利用非线性效应,能够制作出近似矩形的全息光栅掩模。为了分析清楚非线性效应对光栅沟槽成形的作用机理,有必要建立一个显影理论模型。模拟得到的光栅轮廓和实验样片的扫描电子显微镜照片结果很吻合。根据这个模型,进而使用光栅严格理论,得到其主要特征与实时监测实验曲线一致的理论模拟监测曲线。理论分析和实验证实,该模型基本表征了工艺条件对光栅沟槽形状的影响,并揭示了光刻胶呈现显著非线性效应时,必然对应着明暗条纹中心位置之间的显影刻蚀速率相差很大。这个模型为全息光栅的工艺研究提供了一个有效的理论分析工具。 相似文献
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In this paper we discuss the aberration properties and design procedure of in-plane Ebert spectrograph using conventional
as well as holographic diffraction gratings. In both cases the gratings are situated at the well-known √3-position so that
the spectrum can be recorded on a flat surface. It has been found that the holographic grating system has better resolution
than the conventional grating system. The design parameters of a medium sized holographic grating spectrograph in which a
concave spherical mirror is mounted in the off-axis configuration have been specified. The performance of the spectrograph
has been evaluated by plotting spot diagram. 相似文献
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集成光学波导光栅研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
报道了20世纪80年代以来,研究组在集成光学波导光栅研究领域的主要工作及研究成果。其中包括集成光学波导光栅的制备研究;若干非线性波导光栅器件研究;高效体相位全息布拉格光栅-光导板的耦合互连;单片集成波导光栅波分复用等。这些研究工作为光通信、光计算、光传感和光学信息处理等应用领域提供小型化、低功耗、超快速全光型器件奠定了技术基础。 相似文献