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利用YAG准分子激光器进行微孔加工的现状 总被引：1，自引：0，他引：1
需要微孔加工的应用领域很多,诸如材料方面有金属、高分子材料、硅片、陶瓷等;加工上分机械加工、电火花加工、蚀刻加工、激光加工、喷射加工等,根据材料或加工尺寸、形状而使用不同的加工方法。 相似文献