超大规模集成电路的一些材料物理问题（I）——Cu互连和金属化

21世纪初，超大规模集成电路（ULSI）的特征尺寸将由150nm逐代缩至50nm。文章以100nmULSI器件为主，简要介绍与互连相关的一些材料物理问题，其中包括Cu互连、金属化及低介电常数介质。     

超大规模集成电路波导光互连技术的现状与前景

介绍超大规模集成电路(VLSI)波导(?)互连技术的最新进展,并预测其发展方向,以及如阿解决存在的实际问题。     

超大规模集成电路的一些材料物理问题(Ⅱ)──尺寸缩小带来的巨大挑战

随着CMOS技术缩至 10 0nm或更小 ,在CMOS器件结构、接触电阻以及大直径硅晶片等方面均遇到一些材料物理的巨大挑战 .     

超大规模集成电路的一些材料物理问题（Ⅱ）—尺寸缩小带来的巨大挑战

随着CMOS技术缩至100nm或更小，在CMOS器件结构，接触电阻以及大直径硅晶片等方面均遇到一些材料物理的巨大挑战。     

表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

利用声表面波(SAW)的频散特性来表征超大规模集成电路(ULSI)互连系统中低介电常数(k)薄膜的物性具有准确、快速、对材料无损伤等突出优点.研究了Si(100)衬底上淀积低k薄膜的分层结构中，SAW沿任意方向传播的色散关系.引入坐标变换后，单层薄膜特征矩阵从9阶降到6阶，双层薄膜特征矩阵从15阶降到10阶，大幅度提高了计算速度，有利于生产ULSI过程中的在线监测. 关键词： 超大规模集成电路 声表面波 传输方向 频散特性     

金属化富勒烯的稳定性,聚集性和自旋泄漏(英文)

pacc:7855H Endohedralmetallofullerenes(M@C2n)are carbonclustersthatcontainatomstrappedwithin afullerenecage.This“atomicpark”ofthe21st centurycountsapproximately30elements,main lyofthe2ndgroup(Ca,Ba,Sr)andofthe3rd group(Sc,Y,Ln)[1].Someofthemareparam agn…     

集成电路(IC)可靠性物理问题

ＩＣ即集成电路是未来信息世界的主要物质基础之一．它自１９６０年前后在Ｓｉ平面技术基础上发明以来,先后经历了小、中、和大规模电路（即ＳＳＩ,ＭＳＩ和ＬＳＩ）以及当前的超大、超高速集成电路（即ＶＬＳＩ,ＶＨＳＩＣ）阶段．为了适应这种飞速的演变,其可靠性技术也相应由分立器件的统计失效发展成为以控制和预防、消除失效为主．后二者是以失效物理或可靠性物理学研究为基础．本文试图就ＩＣ可靠性物理学这一交叉学?...     

材料化学分析的物理方法(Ⅰ)

材料的化学信息是理解科学、工程与技术领域各种过程、机制和材料行为的最基本要素，材料研究的第一步是要确定材料的化学，包括构成材料的原子的种类、分布以及具体的化学态等内容，任何具有元素特征的物理信息，包括原子量、电子的能级、原子核自旋，甚至局域的电子态密度等都可以用来做材料的化学分析，化学信息由来自材料本身的或用作探针的电子、光子、离子或中性原子携带，相应的分析技术包括X射线光电子能谱、俄歇电子谱、核磁共振、特征X射线分析、二次离子质谱、能量损失谱、溅射中性粒子质谱，各类离子散射谱以及扫描隧道显微学方法等等，文章对上述各种分析方法的物理原理、仪器以及应用等逐一做扼要的介绍。     

近代物理讲座 第四讲 物理学中的一些基本电路问题(Ⅰ)

无线电电子学是从物理学中生长出来并逐渐发展成为独立的学科,它又反过来影响物理学,特别是其中的实验物理．近代实验物理离不开应用无线电电子学及其技术．归结起来,对各种电磁信号的处理,大都是研究电磁信号通过电路的过程及规律,其中一些最基本的电路问题可以看作物理学的一部分．物理工作者也应该掌握这些知识,这有利于进一步学习掌握专门的无线电电子学技术,并把它们应用于实验物理中．本讲不涉及那些专门的无线电?...     

In_(0.82)Ga_(0.18)As材料的低温电学性质研究

利用低压-金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)设备,采用两步生长及缓冲层热退火处理在InP衬底上制备了高质量的In0.82Ga0.18As外延材料.研究了缓冲层退火前后In0.82Ga0.18As外延材料的低温电学性质,通过变温霍尔效应测试得到了载流子的浓度和迁移率随温度变化的关系,并利用位错散射、极化光学声子散射等对实验数据进行了拟合.结果表明,实验值与理论值符合较好,在较低温度下(150K),位错散射起主要作用,而在较高的温度下(250K),极化光学声子散射占主要地位.     

含氮配体构筑的单核锌Zn(Ⅱ)/双核Cu(Ⅰ)配合物蓝光材料的结构和荧光性能研究

采用溶剂热法合成出单核Zn(Ⅱ)配合物[Zn(2,6-PDA)(phen)H₂O]·H₂O (1)和双核Cu(Ⅰ)配合物{[Cu(μ-Ⅰ)(phen)H₂O]·H₂O}₂ (2) (2,6-H₂PDA=2,6吡啶二甲酸,phen=1,10-邻菲罗啉),通过单晶结构测试、元素分析和红外吸收光谱对结构进行表征,并研究了两种配合物在二甲基亚砜(DMSO)中及固态时的荧光光谱及DMSO溶液中紫外可见吸收光谱。配合物1和2的最大吸收峰分别出现在253和242 nm附近,相比于配体吸收峰均发生红移,在1和2中,主要呈现出中心金属离子微扰的phen的π→π*的跃迁,且吸收强度强于phen,说明中心金属离子与phen配位后,增加了有机配体在紫外区的吸收,利于配体对能量的吸收。1在DMSO溶液中的荧光发射峰位于361,379和392 nm,在固态时的荧光发射峰为407,434和467 nm,2在DMSO溶液中的荧光发射峰出现在422,443和461 nm,固态时荧光发射峰在442,469,501 nm,均呈现蓝光发射。配合物1和2的固态荧光发射光谱与相应的DMSO溶液中的发射峰相比分别红移55和23 nm,这是由于在固态时配合物1和2的分子中的π—π堆积相互作用和分子间的相互作用,特别是配合物2中存在强烈的Cu(Ⅰ)…Cu(Ⅰ)相互作用,降低了体系前线轨道之间的能量差。     

低维凝聚态物理的进展(Ⅰ)

本文总结了近年来在一、二维体系中取得的进展,本文的第一部分包括:凝聚态物质的维度性,各种低维体系的特性,派尔斯相变。     

材料化学分析的物理方法(Ⅱ)

原子核由一定数量的白旋为1／2的质子和中子组成．其总自旋视原子核的构成而各异自旋的原子核象个小磁体．无外加磁场时．原子核的自旋取向是随机分布的．加上一外磁场，则原子核的自旋取向受磁场的约束出现有规则的分布．以1H^1原子核为例．自旋，：1／2，在磁场下分为自旋为1／2和-1／2的两个分量．能量相差     

低维凝聚态物理的进展(Ⅰ)

本文总结了近年来在一、二维体系中取得的进展,本文的第一部分包括:凝聚态物质的维度性,各种低维体系的特性,派尔斯相变。     

TiC和AlN材料制备中的重力行为研究(Ⅰ)

为了研究失重环境对液相烧结AlN复合材料的影响,在抛物线飞行飞机上,以碳钛燃烧反应 形成的高温作为实验热源,进行了失重实验和AlN复合材料、TiC材料制备中重力行为研究. 利用抛物线飞行时产生的不同重力环境,研究了不同重力水平对碳钛燃烧反应的影响.研究 结果显示,重力水平的差异导致燃烧温度不同,样品的不同取向下重力对燃烧反应的影响不同. 关键词： 微重力 化学炉 TiC     

中能核物理和粒子物理的一些有兴趣的问题

约在三十年前,粒子物理脱离核物理作为独立的领域兴起了。当时核物理的研究对象被认为是通过二核子相互作用而组成的多核子系统。那时,核物理学家正在阐明壳层结构,发现了集体运动模式,并基于有效的核子-核子相互作用力而发展一种微观的核理论,粒子物理学家也发现并把粒子分为重子、介子、轻子三大类,建立了强、电磁和弱的三种基本相互作用的理论。目前关于思考基本相互作用的主要倾向也分成三个范畴。首先是关于弱、电磁相互作用的统一理论,它把轻子和夸克家族密切联系起来,并把它们划分为不同的“代”,每一“代”内的成员之间的联系媒介是规范粒子也或许还有Higgs 粒子。     

辐照材料的肿胀理论(Ⅰ) 中性尾闾

本文从反应扩散方程出发,研究在辐照条件下,微洞和位错(无应力场)周围点缺陷的分布情况。对含有点缺陷复合项的定态的反应扩散方程,给出了一种近似求解的方法并分别得到了微洞和位错吸收点缺陷的汇强度。从所得结果与前人略去复合项的结果比较可知,微洞较大时,复合项对汇强度的影响变得重要;对于位错,当点缺陷产生率较大时,考虑了复合项后所得的汇强度可达前人结果的1.5倍以上。     

近代物理讲座第四讲 物理学中的一些基本电路问题(Ⅱ)

二、传输线上的波动１．传轴线方程与波动若有长为ｌ的传输线,１－１＇端接有电源,２－２＇端接负载ＺＬ,在坐标ｘ处的电压为Ｖｘ,电流为Ｉｘ,横坐标方向如图１６所示．ｘ点至原点０的一段传输线是由无限多个无限短的传输线链联而成,这段传输线的[Ａ］参数为其中ｓ为复频率,ｓ＝σ＋ｊω,ｚｃ为传输线的特性阴抗,ｖ为单位长度均匀传输线的传输常数,（Ｌ和Ｃ为单位长度均匀传输线的电感和电容）,则ｖｓ△ｘ为无限短一....     

薄膜物理及其应用讲座 第十讲 低维材料的X射线衍射(Ⅰ)

综合介绍了高分辨Ｘ射线双晶衍射技术、三轴晶衍射技术及掠入射衍射和全反射技术．着重介绍了这些技术应用于低维材料微结构探测所取得的新进展．     

弱力和电磁力的统一(Ⅰ)

弱力,又称弱相互作用(简称弱作用),因其强度, 在微观世界起作用的三种基本相互作用中,比强相互作用和电磁相互作用都要弱,故而得名。