硅压力传感器研究现状

论述了硅压力传感器国内外研究现状及应用前景     

硅压力传感器研究现状

论述了硅压力传感器国内外研究现状及应用前景。     

集成硅微机械光压力传感器

介绍了一种新颖的集成硅微机械光压力传感器的结构、工作原理、制造工艺和实验结果。该传感器是利用半导体集成电路微细加工技术和各向异性腐蚀相结合的方法，将传输、获取信息的光波导，敏感弹性硅膜和光电探测器集成在一块三维硅基片上得到的。它具有灵敏度高、抗干扰能力强、自身无需电源、防爆、成本低和可靠性高等优点。     

频率式硅电容压力传感器的研究

本文对频率输出的硅微机械结构电容压力传感器进行了研究。利用有限元程序和解析方式对岛－膜硅电容膜片进行了分析。采用硅体型微机械加工技术和集成电路兼容工艺完成了压力元件的制作。对易于ＣＭＯＳ集成的两种新颖的接口电路进行了分析和设计，提高了传感器的性能。     

具有频率输出的硅压力传感器

本工作提出的具有频率输出的硅压力传感器是建立在CMOS环形振荡器基础上的,该环形振荡器是放置在传感器芯片的薄膜上的.由于压力压阻效应,施加的压力在薄膜上产生的机械应力改变了环形振荡器中MOSFET载流子的迁移率,从而MOSFET的漏电流及相应的环振频率成为压力的函数.     

电化学腐蚀技术在制作硅谐振式微力传感器中的应用

一、引言 微力传感器在微量称重、液体表面张力分析以及生物体微组织力测量等领域具有广阔的应用前景。我国以前自主研制的微力传感器基本上都是采用半导体应变片和扩散硅制成的压阻式传感器,其主要缺点是漂移较大,要实现高精度测量与长期监测较为困难。而谐振式传感器由于具有频率输出、高稳定性和高分辨率等优点,被看作是力敏传感器的发展趋势之一。国外已研制出力、压力、加速度等多种谐振式固态传感器,其中荷兰Twente理工大学研制出一种硅谐振式微力传感     

扩散硅压力传感器在水文中的应用

本文仅以L18系列为例,简介固态压阻传感器及其在测量水文一些要素中的应用。 各种进口扩散硅系列固态压阻传感器均以单晶硅为基体,按特定晶体面,根据不同的受力形式分别加工成杯、梁、柱、膜等形状作为弹性应变元件,在弹性应变元件的适当位置,用集成     

MEMS压力传感器及其应用

简述MEMs压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链。     

硅压力传感器的可靠性测试

硅压力传感器的可靠性测试技术研究受到了国内外的重视，对它的测试项目及其加速寿命测试方法进行了综述。     

硅—兰宝石压力传感器及应用

介绍了一种具有灵敏度高，频响高、精度高、使用范围宽等性能十分优良的新型硅－兰宝石压力传感器，目前，该传感器已在许多领域，环境，特别是恶劣环境下得到了广泛应用，深受用户欢迎。     

采用高阻抗扩散硅压力传感器设计的4—20mA压力变送器

美国BB公司生产的XTR101是一种4～20mA二线变送器微型电路、内部含有一个高精度检测放大器,一个电压控制输出电流源,及两组数值完全相等的基准电流。这种二线变送器采用同一对线完成对信号和电源的传送。由于采用电流的形式传送信号,所以可以避免长距离传送引起的电压下降及来自发动机、马达、继电器、开关、变压器和工业设备     

硅电容压力传感器敏感器件的研究

研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术,加工精度高,易于批量化生产。结构上采用对称的差动电容形式,并将其封装在专用基座中,适用于中、微压力的高精度测量,可用于目前通用压力传感器的升级产品。     

硅压力传感器可靠性强化试验研究

为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述。     

硅压力传感器可靠性强化试验研究

为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标，综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术，并应用失效物理学原理，对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述。