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采用低压化学汽相沉积(LPCVD)方法,依靠纯SiH4气体分子的表面热分解反应, 在由Si—O—Si键和由Si—OH键终端的两种SiO2表面上,自组织生长了Si纳米量子点. 实 验研究了所形成的Si纳米量子点密度随SiO2表面的反应活性位置数、沉积温度以及反应气 压的变化关系. 依据LPCVD的表面热力学过程,定性地分析了Si纳米量子点的形成机理.研究结果对具有密度分布均匀和晶粒尺寸可控的Si纳米量子点的自组织生长,以及Si基新型量子电子器
关键词:
Si纳米量子点
LPCVD
自组织化形成
生长机理 相似文献
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自组织生长锗硅量子点及其特性 总被引:4,自引:0,他引:4
半导体量子点的研究是当今物理学研究的热点之一.文章阐述了锗硅量子点自组织生长方法的基本原理和技术,并介绍了所制备的量子点材料的形貌结构、光学特性、电学特性及今后的发展方向. 相似文献
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本文介绍量子点结构的自组织生长方法及量子点的光学性质。着重介绍量子点结构中的声子和拉曼散射的测量结果。此外,也介绍了自组织生长的量子点的形貌结构特性,电子结构和发光特性,电注入式量子点激光器的制备和性能 相似文献
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在Si衬底上自组装生长Ge量子点研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
在Si衬底上自组装生长纳米尺度的Ge量子点,由于三维量子限制效应的贡献,能够在能带结构上对Si、Ge天然材料的间接带特性实施准直接带结构的改性,使激子行为和带间复合跃迁得到大幅度增强,同时Ge量子点的可控有序相关排列还有助于发展新一代的Si基电子波量子器件.文章回顾了自20世纪80年代末至今Ge/Si量子点生长研究的重要进展,对其潜在的重要应用作出了评述.结合作者自己的研究结果,着重介绍了Ge量子点的生长动力学及其形态的演变过程,指出自组装生长的Ge/Si量子点属Ⅱ型能带结构,其发光效率比一维量子阱有很大增强.探讨了用模板衬底实现对Ge量子点尺寸和分布的有序可控生长方法与途径. 相似文献
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利用变温和变激发功率分别研究了不同厚度CdSe阱层的自组织CdSe量子点的发光。稳态变温光谱表明:低温下CdSe量子阱有很强的发光,高温猝灭,而其表面上的量子点发光可持续到室温,原因归结于量子点的三维量子尺寸限制效应;变激发功率光谱表明:量子点激子发光是典型的自由激子发光,且在功率增加时。宽阱层表面上的CdSe量子点有明显的带填充效应。通过比较不同CdSe阱层厚度的样品的发光,发现其表面上量子点的发光差异较大,这可以归结为阱层厚度不同导致应变弛豫的程度不同,直接决定了所形成量子点的大小与空间分布[1]。 相似文献
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包埋于氮化硅薄膜中的硅团簇的光致发光特性 总被引:3,自引:0,他引:3
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在低温下制备了富硅氢化氮化硅薄膜。利用红外吸收(IR)谱,光电子能谱(XPS)和光致发光(PL)谱,研究了在不同温度下退火的薄膜样品的结构和发光特性。在经过低温退火的薄膜中观测到一个强的可见发光峰。当退火温度较高时,随着与硅悬键有关的发光峰消失,可见发光峰位发生了蓝移。讨论了退火对薄膜中硅团簇的形成及其对发光的影响。根据Raman谱,计算了氮化硅薄膜中硅团簇的尺寸大小。通过实验结果和分析,我们认为PL谱中较强的室温可见发光峰来自于包埋于氮化硅中的硅团簇。 相似文献
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Jun Xu Guran Chen Chao Song Kunji Chen Xinfan Huang Zhongyuan Ma 《Applied Surface Science》2010,256(18):5691-1293
Laser induced crystallization of ultrathin hydrogenated amorphous Si films or amorphous Si-based multilayered structures were used to get high density Si nanodots. The present technique can get size controllable Si nanodots embedded in various dielectric materials with uniform distribution which was revealed by cross-section transmission electron microscopy. Room temperature photoluminescence and electroluminescence were achieved with the emission wavelength in a visible light region both from a-SiN/Si nanodots/a-SiN sandwiched and Si nanodots/SiO2 multilayered structures. The luminescence was associated with the radiative recombination of generated electron-hole pairs in Si nanodots or the luminescent surface states. The electroluminescence intensity is increased with increasing the injection current implying the bipolar carrier injection plays an important role in enhancing the luminescence efficiency. The formed Si nanodots by the present approach can be applied for many kinds of devices such as high efficient light emitting diodes and solar cells. 相似文献
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半导体量子点激光器研究进展 总被引:11,自引:0,他引:11
首先简要地回顾了半导体激光器发展的历史和量子点激光器所特有的优异性能,进而介绍半导体量子点及其三维量子点阵列的制备技术,然后分别讨论了量子点激光器(能带)结构设计思想,实现基态激射时所必须具备的条件和近年来国内外半导体量子点器的研究进展。最后分析讨论了量子点激光器研制中存在的问题和发展趋势。 相似文献
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All‐optical modulation based on silicon quantum dot doped SiOx:Si‐QD waveguide is demonstrated. By shrinking the Si‐QD size from 4.3 nm to 1.7 nm in SiOx matrix (SiOx:Si‐QD) waveguide, the free‐carrier absorption (FCA) cross section of the Si‐QD is decreased to 8 × 10−18 cm2 by enlarging the electron/hole effective masses, which shortens the PL and Auger lifetime to 83 ns and 16.5 ps, respectively. The FCA loss is conversely increased from 0.03 cm−1 to 1.5 cm−1 with the Si‐QD size enlarged from 1.7 nm to 4.3 nm due to the enhanced FCA cross section and the increased free‐carrier density in large Si‐QDs. Both the FCA and free‐carrier relaxation processes of Si‐QDs are shortened as the radiative recombination rate is enlarged by electron–hole momentum overlapping under strong quantum confinement effect. The all‐optical return‐to‐zero on‐off keying (RZ‐OOK) modulation is performed by using the SiOx:Si‐QD waveguides, providing the transmission bit rate of the inversed RZ‐OOK data stream conversion from 0.2 to 2 Mbit/s by shrinking the Si‐QD size from 4.3 to 1.7 nm. 相似文献
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利用半导体工艺和器件仿真软件silvaco TCAD(Technology Computer Aided Design),模拟研究了采用硅/硅锗合金(silicon/silicon germanium alloy,Si/Si_(1-x)Ge_x)量子阱结构作为吸收层的薄膜晶体硅异质结太阳电池各项性能.模拟结果显示,长波波段光学吸收随锗含量的增加而增加,而开路电压则因Si_(1-x)Ge_x)层带隙的降低而下降.锗含量为0.25时,短路电流密度的增加补偿了开路电压的衰减,效率提升0.2%.氢化非晶硅/晶体硅(a-Si:H/c-Si)界面空穴密度以及Si_(1-x)Ge_x)量子阱的体空穴载流子浓度制约着空穴费米能级的位置,进而影响到开路电压的大小.随着锗含量增加,a-Si:H/c-Si界面缺陷对开压的影响降低,Si_(1-x)Ge_x)量子阱的体缺陷对开压的影响则相应增加.高效率含Si_(1-x)Ge_x)量子阱结构的硅异质结太阳电池的制备需要a-Si:H/c-Si界面缺陷的良好钝化以及高质量Si_(1-x)Ge_x)量子阱的生长. 相似文献
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Rao Huang Li-bo Ma Jian-ping Ye Yong-qian Wang Ze-xian Cao 《Frontiers of Physics in China》2008,3(2):173-180
High-density silicon nanoparticles with well-controlled sizes were grown onto cold substrates in amorphous SiN
x
and SiC matrices by plasma-enhanced chemical vapor deposition. Strong, tunable photoluminescence across the whole visible
light range has been measured at room temperature from such samples without invoking any post-treatment, and the spectral
features can find a qualitative explanation in the framework of quantum confinement effect. Moreover, the decay time was for
the first time brought down to within one nanosecond. These excellent features make the silicon nanostructures discussed here
very promising candidates for light-emitting units in photonic and optoelectronic applications.
相似文献
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采用两种简单的一维模型,通过直接严格求解该模型下薛定鄂方程给出晶场中的限域情况下电子能级结构以及纳米体系中电子的限域能,从而研究体系的发光蓝移现象.基于限域能的计算,讨论了纳米体系的限域能和发光蓝移随尺寸以及势场的变化关系.结果表明:导带底的电子能级随体系的尺寸增大而降低;而价带顶则随粒径的增大而升高,因此,限域能随纳米尺寸的减小迅速增大.同时将计算结果与通常文献中所采用的有效质量计算的结果进行比较,可以看出二者有明显差别,且尺寸越小,其差异越大.因此,限域能随尺寸的变化并不严格满足通过有效质量方法计算出
关键词:
蓝移
能隙
量子限域效应
量子尺寸 相似文献