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研制了一套可应用于MEMS器件的微尺度测量系统,可以在受载状态下实时检测MEMS器件的面内位移、离面位移和三维形貌。该系统中,面内位移测量是一个基于白光数字散斑相关方法的显微光学测量系统,与相应的力学加载系统结合,可以得到MEMS器件在受载状态下的实时面内位移;离面位移和三维形貌测量则是一个基于相移显微投影光栅方法的光学测量系统,与相应的力学加载系统结合,可以得到MEMS器件在受载状态下的实时三维形貌和离面位移。最后给出了几个典型的MEMS器件面内位移、离面位移和三维形貌的实测结果。 相似文献
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后验概率算法用于位移场的确定 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种基于贝叶斯最大后验估计算法确定固体表面位移场的方法。在图像处理过程中,把位移看作随机变量,首先建立贝叶斯模型,对变形前数字图像中的一个像素点,选定变形前后两幅数字图像中对应的圆形子区,将两子区所对应的所有可能位移逐一代入贝叶斯后验概率公式进行计算,使后验概率最大的位移值就是所求该点的位移。在得到整像素位移之后,引入亚像素重建技术,确定图像的精确位移场。本文通过计算机数字模拟实验和实物标准位移实验,验证了该方法的可行性,并得到了0.02pixel的位移测量精度。 相似文献
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提出了用超声散斑干涉法来测量物体的位移,并且基于数字干涉和相移-频移技术对超
声散斑数字干涉测量法进行了初步的理论推导. 为了验证理论分析的结果,对一铝试件进行
了离面位移和面内位移的试验测量. 试验结果显示理论分析是正确的,在测量位移和变形时
此方法是有效可行的. 相似文献
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本文分别用散斑和全息干涉法测量了汽车前桥模型的面内和离面位移.实验表明,所用方法简便可行、且精度较高. 相似文献
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《中国惯性技术学报》2019,(2)
为了解决舰船升沉信息测量过程中传统升沉数字滤波器存在输出信号相对于实际信号相位超前的问题,提出了一种基于相位估计与补偿的自适应滤波算法。分析了传统升沉数字滤波器输出相位超前的原因,采用加权傅里叶线性组合频率估计算法实时估计输入信号的频率,并设计自适应FIR滤波器对传统升沉数字滤波器的输出进行相位补偿。将自适应FIR滤波器与传统升沉数字滤波器的估算结果进行模拟实验对比。实验结果表明自适应FIR滤波器输出的升沉位移精度达到厘米级,有效提高了舰船升沉信息测量的准确性和实时性。 相似文献
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1.引言 Solid、Gilbert、Sciammarella、Satour Toyooka以及Jerome等人提出的各种测量三维位移场的全息干涉方法.在试验技术和定量分析方面都比较复杂.(?)的工作虽是一种很好的测定三维位移场的简单方法,但失去非接触式测量的优点.本文利用象平面全息干涉与散斑干涉同轴结合的方法,在一张底板上同时记录了面 相似文献
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本文通过激光波数扫描干涉测量系统和方法,透视测量商用玻璃纤维增强复合材料板前、后表面的离面应变场分布。实验中分别对有缺陷和无缺陷的商用玻璃纤维增强复合材料样品进行了离面位移场测量和平均轴向正应变场分布计算。无缺陷样品的离面位移场及压缩应变场分布均匀连续,随加载呈现递增压缩变化;有缺陷样品的缺陷周围的离面位移场分布变化无规则,其压缩正应变分布以缺陷孔洞为中心,加载量越大,孔洞周围其压缩正应变值较小的区域越大,压缩正应变集中在远离孔洞的边缘区域,随加载量变化压缩应变场分布无线性规律。实验结果证明,激光波数扫描干涉测量系统和方法准确可靠,它为玻璃纤维增强复合材料板的力学性能测量提供了一个新技术平台。 相似文献
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本文把梯度折射率介质的面内位移与其折射率梯度联系起来,对面内位移导致的折射率变化进行研究,介绍了GRIN介质用于面内位移测量的基本原理,给出了双光束干涉法测量悬壁梁挠度的实验方法和实验结果。 相似文献
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本文重点讨论了应用电子散斑干涉法测量弹性元件的挠曲线的方法.将电子散斑测量离面位移的光路引入到高弹性连轴器挠性杆的横向弯曲变形测量中.新的离面位移测量光路并结合相移技术是其特点.首先采用类似于麦克尔逊式光路的方式将物光和参考光垂直分布,使得离面位移的结果是直接并且是纯粹的获得;其次,固体泵浦激光的相干长度很长,从而在设计光路时带来了便利,光路可以很紧凑而不考虑物光与参考光的光程差;最后,在参考光路中引入精密的PZT相移器,从而实现了位相技术,使得测量的结果能数字化输出.电子散斑干涉方法在光学非破坏性检测领域得到了广泛的应用,采用电子散斑干涉技术可以测量物体的变形、位移、振型等.该方法具有实时显示、全场非接触测量、精度和灵敏度高、采用位相技术可以方便的实现测量结果的数字化等优点.本文采用电子散斑干涉结合相移技术,得到了的数字化结果,再和有限元模拟计算进行了比较,证明了方法的正确性. 相似文献