表面波等离子体防护高功率微波

高功率微波武器的快速发展,对军用电子设备构成了极大威胁。文章在分析用传统防护手段防护高功率微波方面所具有的缺陷的基础上,提出用表面坡等离子体技术防护高功率微波,并对表面波等离子体防护装置进行了描述,详细阐述了该装置的防护原理,总结了该防护技术在现实防护中的优点。     

表面波等离子体天线的柱状等离子体源参数研究

等离子体天线因其具有许多独特的性质而受到各国军方的广泛关注。本文首先介绍了表面波等离子体天线的基本原理及组成,并根据同轴对称表面波沿等离子体柱轴向传播的色散关系,研究了等离子体碰撞频率以及等离子体频率对表面波波矢的影响。文章最后对影响等离子体碰撞频率以及等离子体频率的因素进行了分析。     

常压微波感耦氖等离子体的光谱诊断

常压微波感耦氖等离子体的光谱诊断普小云，杨灿珠，傅宏郎，林理忠（云南大学物理系，昆明６５００９１）我们用光学多道分折仪（ＯＭＡ３）对表面波型常压微波感耦氖等离子体（Ｎｅ—ＭＩＰ）进行了光谱诊断。此工作研究了激发温度和Ｎｅ原子谱线强度随微波功率、氖气流...     

元素分析用的微波感应等离子体源质谱测定法

本文对等离子体当作质谱测定法用的大气压等离子源进行了简要的评论,讨论了微波感应等离子体(MIP)的特性和分析能力,给出了近期研制的带有钽注入器探针的微波感应等离子体源(MIP—TIP)的结构。现在的结构对离子信号的灵敏度和稳定度作了改进并提高了发生器到谐振腔的功率转换效率,讨论了使用这种改进等离子体源获得的初步信息。     

微波等离子体光源研究

微波等离子光源（LEP）是利用微波激发等离子体发光的无极放电光源。由于其热光源的发光特性,决定了其光谱分布连续,并且接近太阳光光谱,是国际公认的高效、节能、高品质光源。LEP采用无电极发光模式,消除了传统的照明技术中的失效模式和光通量退化,即使长时间使用,也不会因为电极失效或内壁变暗而影响系统性能。本文首先分析微波等离子体光源的基本构成和工作原理,然后简要描述该光源的发光特性和优势,以及典型的应用领域,最后介绍作者在微波等离子体光源研究方面的进展。     

表面波等离子体激励源设计

本文设计了频率及输出功率可调的表面波等离子体激励源,ADF4360-7产生850MHz￣950MHz频率的振荡信号,ADL5330、两级功率放大器、AD8318和C8051F020控制输出功率。实现了表面波等离子体的激发。     

微波等离子体刻蚀应用研究

近年来,随着大规模集成电路的发展,微波强磁场产生等离子体的方法已开始应用于微细加工技术领域。本文介绍微波等离子体刻蚀应用的实验结果。     

微波等离子体刻蚀技术研究

以Corial 200M型干法刻蚀机的三种刻蚀模式为基础,分析了微波等离子体刻蚀技术的优缺点．并讨论了下电极结构对干法刻蚀形貌、一致性和重复性的影响。利用微波等离子体刻蚀技术与反应离子刻蚀技术相结合,实现了SiO2各向同性刻蚀,成功应用于质量控制和失效分析等环节。     

微波感耦稀有气体等离子体光谱激发的空间分布特性

微波感耦等离子体(MIP)独具一些其它低温等离子体所不及的优点,它装置简单,阻抗稳定,匹配容易,炬焰稳定无噪声,无电极污染,活性粒子多,效率高,因而有广泛的应用前景。然而,有关这类等离子体的各种参量的空间分布和光谱激发过程的研究,迄今仍缺乏比较详尽和满意的结果。     

微波放电等离子体源的研究

利用电子迴旋共振(ECR)的原理,在10-310-1Pa的低压强下,已成功地产生了高活性,高密度的微波等离子体。运用静电探针装置,研究了N2、Ar放电中微波功率、气体压强对等离子体参量的影响,并对放电等离子体进行了质谱分析。     

感应耦合等离子体干法刻蚀锑化铟薄膜研究

应用感应耦合等离子体技术首次实现了对锑化铟薄膜的干法刻蚀。朗缪尔探针诊断结果表明 :射频电源功率为 2 0 0 W时 ,在刻蚀样品附近的等离子体离子密度最大达 6.71 70× 1 0 1 0 cm- 3。以 CCl F2 为刻蚀气体 ,进气流量 2 m L/min,RF功率 2 0 0 W,等离子体反应刻蚀运行气压 7.98Pa时 ,对 In Sb-In薄膜进行了感应耦合等离子体干法刻蚀 ,获得刻蚀图形 ,宽深比为 5     

微波频率与功率对微波等离子体参数的影响

本文研究了微波功率和微波频率对等离子体参数,如电子密度、电子温度、气体温度以及火焰长度的影响。对等离子体的多物理场数值仿真是在基于有限元法的COMSOL Multiphysics中进行的。计算结果显示,等离子体电子密度、电子温度、气体温度都会随着输入微波功率的增大而增大;2450 MHz的微波等离子体相比于915 MHz的微波等离子体,具有更好的性能。同时,本文对不同输入功率下等离子体火焰长度进行了实验测量,结果显示输入功率对火焰长度仅有很微弱的影响。     

光敏型聚酰亚胺对声表面波传输损耗的研究

采用扰动理论推导了聚酰亚胺薄膜作为声表面波的吸声材料时,声表面波的传输损耗模型。利用网络分析仪对表面涂覆厚5μm光敏型聚酰亚胺薄膜的双声路SAW传感器(中心频率165 MH z)的插入损耗进行测试,对理论模型进行了实验验证。理论结果表明,聚酰亚胺薄膜造成SAW的传输损耗和传感器的中心频率的高低、聚酰亚胺薄膜的厚度以及聚酰亚胺薄膜的宽度成正比。实验测试也证明,聚酰亚胺薄膜对声表面波造成的传输损耗和宽度成正比关系,测得传输损耗为9.5 dB/mm。     

表面波激励等离子体天线的原理与实现

等离子体天线，因其具有许多独特的性质而受到各国军方的广泛关注。从表面波激发产生等离子体的基本原理出发，分析了表面波在等离子体中的传播特性，并在此基础上给出了等离子体天线的系统构成。最后分析了等离子体天线的独特性质以及可能的应用场合。分析表明，利用表面波激励和维持柱状等离子体天线是可行的，而该天线所能应用的频率范围受等离子体电子密度的制约。等离子体天线具有雷达隐身特性、无余音和快速动态重构等一系列显著优点，在军事和民用的许多场合具有广泛的应用前景。     

表面波等离子体鞭状天线方向特性的理论分析

等离子体天线因其具有许多独特的性质而受到广泛关注。利用金属天线的传输线等效理论,研究了等离子体电子密度和碰撞频率对等离子体鞭状天线辐射方向特性的影响,并利用高频仿真软件HFSS对计算方法进行了验证。结果表明,当等离子体电子密度较小、碰撞频率较高时,等离子体鞭状天线与相同物理尺寸的金属天线辐射方向图相差较大;而在较高电子密度和较低碰撞频率条件下,两种天线具有相似的辐射方向图,并且电子密度越大、碰撞频率越低,其与金属天线的辐射方向图越接近。     

含氮量与微波频率对微波等离子体活性粒子的影响

利用前期自主设计的基于同轴结构的微波大气压等离子体源研究了含氮量和微波频率对等离子体性质,特别是对活性粒子种类及其浓度的影响.实验系统所用的工作气体(氩气)总流量为15 L/min,其含氮量分别设为0、0.3、0.4、0.6、0.8 L/min,微波驱动频率为2450和5800 MHz.光谱测量发现,这些条件下激发所得...     

纳秒微波等离子体光源

目前的研究显示,纳秒短脉冲光诱导化学反应可使燃烧尾气中的氮氢化物减少,因此研制实用化的短脉冲光源引起了人们新的兴趣．已有的短脉冲激光光源,因体积大或价格昂贵不适合应用要求．微波是一个高效清洁能源,商用磁控管的最短脉冲宽度为微秒量级,用其产生的放电等离子体光源一般也在微秒量级,仍不能满足要求．为此我们采用了微波共振腔压缩技术,脉冲宽度压缩比近５００,得到了一个稳定的纳秒级微波等离子体光源．本实验采用ＥＥＶ公司Ｍ５１６５脉冲磁控管和Ｆａ．ＰＰＴ的电源,其输出功率为２．５ｍｗ,脉宽为３Ｕｓ,最大重复频…