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脉冲激光淀积高温超导薄膜 总被引:5,自引:0,他引:5
1987年贝耳实验室首次用脉冲准分子激光制备出高温超导薄膜以后,脉冲激光淀积技术获得了长足的发展,现在已成为最好的薄膜制备技术之一.文章简要介绍了用脉冲激光淀积技术制备高温超导薄膜的原理、特点及发展情况. 相似文献
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利用脉冲激光淀积法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了28mol%La掺杂钛酸铅薄膜.采用不同的淀积氧气压,并分析了其对薄膜微观结构和介电性能的影响.结果表明,在2Pa左右的气压下淀积的薄膜具有好的结晶度和介电系数.在频率为10kHz时28mol%La掺杂钛酸铅薄膜的介电系数达852,并且保持了较低的损耗.同时制备了其他La掺杂浓度的PbTiO3薄膜,发现它们也有类似的特点.对此作了定性解释.
关键词:
脉冲激光淀积
PLT薄膜
气压
介电增强 相似文献
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本文用第一原理的LDF-LMTO-ASA方法,以超元胞Ba4Bi4O(12),(Ba3K)Bi4O(12),(BaK)Bi2O6,(BaK3)Bi4O(12),K2Bi2O6五种“样本”计算由于Bi(+3)和Bi(+5)二种价态以及K掺杂引起各芯态能级化学位移的变化.“样本”的电子结构与实验相符,即Ba4Bi4O(12)是Eg=2.0eV的半导体,(Ba3K)Bi4O12是Eg=1.6eV其价带顶有少量空穴的半导体.其余“样本”是金属.芯态的LDF本征值经原子模型△SCF修正更接近实验值.用正态分布表达各芯态能级除化学位移外各种“环境因子”的影响,结合任意组份五种“样本”的伯努利分布,计算芯态电子能谱随x的变化.结果表明,所有芯态的自旋一轨道分裂与实验完全相符,Bi(+3)和Bi(+5)二种价态引起各芯态化学位移的变化均小于0.2eV,K掺杂使各芯态结合能略有增加,其中Bi(4f),Ba(5d)约1.3~1.5eV,其他芯态约0.4eV,以上计算结果与实验基本一致. 相似文献
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用第一原理的LDFLMTOASA超元胞法,模拟由X射线吸收谱精细结构测定的BaBiO3中,Bi有两种价态Bi3+和Bi5+及与之相应的两种不同键长的Bi—O八面体,以及K掺杂对晶体结构的影响.计算了Ba4Bi4O12,(Ba3K)Bi4O12,(BaK)Bi2O6,(BaK3)Bi4O12,K2Bi2O6(简记为(404),(314),(112),(134),(022))五种“样本”的电子结构.结果表明,(404)和(314)分别为Eg=16eV及Eg=15eV的半导体,其它“样本”为金属.总能的分析表明(134)是不稳定的,故溶解极限为x=05.以“取样”方式按伯努利分布确定任意组分各“样本”的概率,进而计算了(Ba1-xKx)BiO3电子结构随组分的变化.最后用逾渗模型说明了超导转变温度Tc在x=0.25附近的突变 相似文献
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激光淀积YBa2Cu3O7外延超导薄膜 总被引:2,自引:2,他引:2
利用准分子脉冲激光成功地在(100)SrTiO_3与(100)Y-ZrO_2衬底上淀积了 YBa_2Cu_3O_7超导薄膜,T_c(R=0)>90K,J_c(T<82K)>1×10~6A/cm~2.研究了衬底温度对外延YBa_2Cu_3O_7薄膜超导性能及结构的影响. 相似文献
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应用一光学变换传输系统,使得激光束通过该系统后可绕一定的半径旋转,旋转的激光束消融淀积大面积YBa2Cu3O7超导薄膜。以其片中心处的超导薄膜厚度的90%为均匀区域界限,激光旋转半径为0,3mm和9mm时,淀积的超导薄膜厚度均匀区域面积分别为0.14cm^2、0.82cm^2、6.79cm^2。 相似文献
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本文简要介绍激光蒸发淀积高Tc超导薄膜技术的基本原理.主要工艺特点,各种激光器在制备高Tc超导薄膜中的应用及所取得的重要成果. 相似文献
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