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光学测量位移传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
友清 《激光与光电子学进展》1995,32(6):19-21
光学测量位移传感器全世界各种装置和机械生产的迅速演进及其爆炸性计算机化正导致测量技术和信号变换装置迅猛发展。例如,美国1986~87年用于测量的年总费用约为200亿美元,其中用于航天、国防技术、光电子、微电子和生物技术的测量费用约为普通机床业的3倍[... 相似文献
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介绍了一种基于AT切石英晶体谐振器力 频线性关系原理研制的土层压力传感器。该压力传感器由3个相互垂直的压力传感器和1个温度传感构成,采用等精度频率测量技术,实现高精度数据采集,用RS485串行接口进行数据传输。重点介绍了传感器的结构设计,并对弹性膜片材料和厚度与量程和灵敏度的关系进行试验和研究。研制的传感器量程为0~1.0 MPa,非线性度小于1.0%,重复性误差小于0.05%,滞后误差小于0.1%,温度的测量精度为0.01 ℃,可用于地震监测的试验。 相似文献
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双通道光纤位移传感器实时测量系统 总被引:12,自引:0,他引:12
对双通道光强反射式光纤位移传感器测量系统进行了优化设计。测量结果表明,新构成的装置重复性达到0.6%,最小分辨率小于1.0μm,测量范围2.0mm。测量系统采用8位单片机处理数据,用三次插值多项式校正传感器输出信号的非线性,获得良好效果,以数字方式显示位移的测量结果,系统充分利用传感器输出特性无“光峰”现象的特点,信号处理过程快捷,此系统对变化不太快的位移可进行实时测量。 相似文献
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采用一种可变腔长的全光纤结构Fabry-Perot(F-P)腔作为传感器件构建了纳米微位移传感系统,利用高精度的压电陶瓷驱动器模拟微位移输出.通过频域插值的方式对F-P腔输出光谱解调,计算出腔长值.实验结果表明,输出光谱解调后的腔长值与压电陶瓷实际的驱动量相吻合,静态位移分辨率小于4 nm,最大测量范围可达50 μm.采用对光强进行高频调制和相位解调的方式提高了系统的动态测量精度和稳定性.该系统体积小,灵敏度高,重复性好,并且不受电磁场干扰,便于用M()EMS技术制作成微型传感器. 相似文献
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激光频率分裂技术现状和展望 总被引:2,自引:0,他引:2
以新的角度概述了激光频率分裂的一般原理和各种应用的具体原理,评述了激光器问世后头25年的成果和近十年的成就,并展望了它的未来。本文还介绍了多种频率分裂激光器件的应用。 相似文献
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双通道抛物线型多模光纤位移传感器输出特性 总被引:2,自引:0,他引:2
本文根据稳态输入条件下光纤输出光强的远场分布导出了发射光纤折射率为抛物线型分布时,双通道非对称光强反射式位移传感器的输出特性参量ф与移位d的关系,理论计算和实际测量的表明,输出特性曲线不存在所谓的光峰结构,输出特性参量φ与位移d是一一对应的单值关系。这种光纤位移传感器的灵敏度仅决定于传感器的结构参数,与不纤中传输的光强无关。改变传感器的结构参数即可改变传感器的测量范围和灵敏度。 相似文献
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激光位移传感器在物体表面形状测量中的应用 总被引:6,自引:0,他引:6
激光位移传感器对位移的测量不仅是非接触式的测量方式,而且具有较高的精度,具有广泛的应用。本文研究了一种利用激光位移传感器测量工件上点的二维坐标,从而实现物体形状的高精度测量。通过一维电位移平台带动激光位移传感器扫描物体的表面,然后对测量的数据进行处理,进而得到物体的表面形貌。实验中采用的位移传感器分辨率为0.3μm,一维电位移平台重复定位精度高于2μm。 相似文献
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数字位移传感器位移测量系统中的数字位移传感器具有高精度、高分辨率和稳定性好的特点,并且系统中SPP转RS232接口电路,解决上位机与位置反馈环节之间的传输距离短的问题。云台的一米红外太阳望远镜终端为了得到清晰的太阳光谱,将采用该位移测量系统。介绍系统的结构和位移传感器工作原理,阐述了数据采集部分SPP转RS232接口电路的硬件设计和系统的软件设计,并且进行位移测量实验。实验结果表明,该位移测量结果达到了红外太阳望远镜主镜调焦的精度和实时性要求,系统将于2009年年底投入试用。 相似文献