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适用于硅微谐振器件测量的光纤位移传感器研究 总被引:1,自引:1,他引:0
对一种适用于硅微机械谐振器件测量的光纤位移传感器进行了研究,该光纤位移传感器探头采用了单根光纤探测形式和光纤“X”耦合器结构,在微弱光电传感信号处理上采用了“锁相放大器”提取方案,可以实现对静态位移和振动位移两种场合进行测量.对该传感器的实测结果表明:该传感器测量范围为0~100 μm,测量灵敏度3.95 mV/μm,精度等级优于1%,重复性优于0.5%.为作为应用实例,运用该传感系统对一种微悬臂梁硅微谐振器件进行了测量,成功提取了硅微谐振器件的微弱谐振信号,证实了该传感器可以实现对硅微谐振器件的非接触和无损测量,并具有非接触、易调试、高灵敏度等优点. 相似文献
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基于F-P腔强度解调的微位移传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
基于一次谐波腔长锁定技术,设计了一种基于法布里-珀罗(F-P)腔干涉的强度解调型微位移传感器。系统对F-P腔的初始腔长进行动态锁定,通过将F-P腔腔长的微小变化转化为强度信号,实现直接快速地对待测目标的微位移进行测量。详细地阐述了位移传感器的理论模型及一次谐波锁定F-P腔腔长的技术方案,实验中采用商用的高精度压电陶瓷平移台(PZT)模拟了实际物体的运动状态,实验结果表明,该系统对峰峰值在λ/4(λ为光波波长)以内、频率不高于400Hz的微位移有很好的测量结果,频率误差小于0.5Hz,测量精度小于1nm。 相似文献
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自由活塞斯特林发动机活塞往复振动位移对研究发动机特性具有重要意义,然而该类发动机活塞位于高压封闭腔体内且结构较为紧凑,其活塞往复振动位移难于直接进行测量。加速度传感器具有尺寸小、安装方便和工作稳定等特点,提出了采用加速度传感器测量活塞位移的方法。根据加速度传感器测量位移的原理,建立了一套加速度传感器测量自由活塞斯特林发动机活塞位移的标定试验系统,以位移传感器为基准测试并分析了不同活塞振幅和不同振动频率下加速度传感器测量位移的误差大小。实验结果表明,在活塞振幅小于8 mm,振动频率大于20 Hz条件下,加速度传感器测量位移的误差小于5%。因此加速度传感器可以用于测量自由活塞斯特林发动机的活塞往复运动位移。最后成功把加速度传感器测量的自由活塞斯特林发动机活塞振动位移用于发动机循环指示功的实验研究。 相似文献
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本文给出了一种金属固体线膨胀系数的测量方法,即采用光纤位移传感器的方法(光纤微位移法)来测量固体的线膨胀系数。测量了黄铜的线胀系数,分别用逐差法和线性回归法处理了实验数据,并与标准值进行了比较。 相似文献
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《光子学报》2021,50(9)
为克服现有光纤布拉格光栅传感器设计结构复杂、温补误差大等缺陷,设计并制作了一种基于弹簧与滑块相结合的结构简单且高精度光纤布拉格光栅位移传感器,在一根光纤上获得温度补偿的同时,实现了高精度微位移测量,极大的减小了空间占用。实验结果表明:该传感器具有优良的微位移测量能力,灵敏度为145.08 pm/mm,精度为1.43%,量程为10 mm;静态综合相对误差为2.88%,整体的线性度、重复性和迟滞性误差较小。比较铝合金衬底、石英衬底和无衬底的温补效果,发现石英衬底的传感器温度补偿效果更佳,其延迟时间从6.8 min下降到4.3 min,最大温度补偿误差从44 pm减少至40pm。最终采用石英玻璃作为衬底制成的传感器温度灵敏度为6.34 pm/℃,温补误差为0.26%。本文研制的传感器有望用于机械装备和土木工程等高精度结构位移的在线监测。 相似文献
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非均匀平板波导的色散方程 总被引:6,自引:6,他引:0
利用转移矩阵理论分析了任意折射率分布平板波导的传输特性,导出了非均匀平板波导的近似解析色散方程,并指出了WKB近似的局限性,数值比较的结果表明,文中所得公式的精确度优于传统的WKB方法和其它近似方法。 相似文献
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Udiljak R. Anderson D. Ingvarson P. Jordan U. Jostell U. Lapierre L. Li G. Lisak M. Puech J. Sombrin J. 《IEEE transactions on plasma science. IEEE Nuclear and Plasma Sciences Society》2003,31(3):396-404
A new global method for unambiguous detection of multipaction in microwave communication systems is presented. Theory as well as experiments demonstrate the potential and usefulness of the method. A short review of existing methods for multipaction detection is given as a background, in order to illustrate the advantages of the new method. 相似文献
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M. W. Kalinowski 《Letters in Mathematical Physics》1982,6(1):17-30
A new method of exactly solving nonlinear differential partial equations is developed. This method is applied to an equation of a potential flow of compressible gas. A new solution is obtained in the supersonic region, which may be treated as an analogon of a nonlinear stationary wave.Partially supported by NSF contract INT 73-20002A01. 相似文献
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A new birefringent phase shift method applied in isodyne fringe pattern distinction is developed. The phase map obtained by the new method corresponds to the isodyne surface in whole fields. The theory and technique of the new method is described and a bimaterial beam under three-point bending is studied as an example. 相似文献