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为了提高三轴加速度计机械精度和加工过程中硅片的一致性,设计了基于SOI的单质量块四边八梁结构的三轴加速度计。通过连接扩散在梁上的压敏电阻构成得惠斯通电桥检测三个方向的加速度信号。电桥设计为开环形式,并给出三个方向的电桥输出。结合材料力学和振动力学中的相关理论,建立了结构的数学模型,并对其进行了系统的力学分析,从而得出结构参数对加速度计的一阶固有频率、灵敏度等性能的影响。利用有限元ANSYS仿真软件对结构模型进行了静态和模态分析,验证了力学分析的正确性。最后设计了八张版图及一套可行的工艺流程并加工出加速度计裸片。该微加速度计可同时检测三维加速度矢量,且电桥和结构的设计均较好的抑制了横向效应。 相似文献
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《中国惯性技术学报》2014,(6)
加速度计性能远距离测试及对测试数据同时进行自动保存和自动分析处理是经常遇到的工程问题。针对这一问题,提出了基于物联网的加速度计测试分析方法。应用物联网技术设计了加速度计数据远程自动采集系统,并实现了测试数据网络共享功能。应用线振动试验法实现了单轴MEMS加速度计的性能自动测试,应用多项式拟合方法建立了加速度计的二阶误差修正模型。应用虚拟仪器软件和工程数据库技术设计了网络环境下的测试系统软件,并实现了对实验数据的自动储存、显示、查询、删除、实验报表打印与自动分析处理功能。实验结果表明测试系统实现了远程加速度计性能测试及实验数据自动保存和自动分析功能。 相似文献
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在近区爆炸冲击波载荷测量中,压电式压力传感器因上升时间短且强度高的高频压力脉冲作用而可能产生疲劳和过载失效。本文根据应力波在细长圆柱弹性杆中的传播特性,设计了一种应变式压杆压力传感器,当圆柱杆的一端受到压力波作用时,产生的弹性应力波沿杆轴向传播,通过测量杆的轴向应变可计算出杆中传播的应力波,从而得到作用在杆端的压力波。为了检验压杆压力传感器的性能,采用一个厚壁圆柱形爆炸容器,并将传感器安装在容器壁面不同位置上,测量中心装药产生的爆炸冲击波载荷,经反复试验,结果表明这种传感器性能是稳定可靠的。 相似文献
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高g值加速度传感器的标定 总被引:3,自引:0,他引:3
利用Hopkinson压杆装置,采用石英晶体片压力传感器对高g值加速度传感器进行了标定,并给出了加速度传感器灵敏度系数的标定公式。实验结果表明,本文中研制的利用石英晶体片压力传感器对高g值加速度传感器进行标定的实验装置可满足标定的精度要求,而且整个校准系统结构简单,易于操作。 相似文献
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封装材料对压阻式加速度传感器性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
通过实验测试的方法研究分析封装材料对压阻式高量程加速度传感器性能的影响。对使用陶瓷
材料和不锈钢材料封装的加速度传感器,利用拉曼光谱仪测试研究封装前后传感器结构中残余应力和压敏
电阻阻值的变化,采用落锤、Hopkinson杆测试分析传感器的灵敏度、高过载能力,并在实弹环境中测试不同
封装传感器的测试精度的差别。实验结果显示,与陶瓷材料封装的压阻式加速度传感器相比,不锈钢材料封
装的压阻式加速度传感器在封装后结构的残余应力和压敏电阻阻值的变化更大,但不锈钢封装传感器的灵
敏度更大、高过载能力更强,同时实弹环境中可靠性和测试精度更高。 相似文献
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针对火炮射击条件下炮闩系统性能数据测量困难,提出将炮闩系统单独出来建立系统冲击试验台进行分析研究的思路。在确定了试验台设计原理的前提下,通过对自动开闩虚拟样机模型进行改进,建立了试验台原理模型。依据动能定理,确定了炮闩系统冲击试验台实现开闩所需的最小开闩力。在最小开闩力下,基于试验台原理模型分别对开闩板质量取初始值m、10m、50m、100m时进行模拟实验,结果表明:4种工况下皆未实现开闩,但随着开闩板质量的增加,外力做功损失的能量越小,曲柄转过角度越大,越容易实现开闩。研究结果可为试验台建立提供理论支撑。 相似文献
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针对目前隧道掘进爆破设计多以人工设计并辅以CAD绘图而存在设计质量差、速度慢的不足,进行了爆破设计智能系统的组成和结构研究。按照爆破设计与施工所涉及的参数特点,应用软件工程、人工智能等方法,确定以知识库、数据库、推理机、人机交互系统和解释机构为隧道爆破设计智能系统的组成部分。创建了系统管理、参数智能计算、爆破数据、布孔设计、施工设计和施工信息管理等系统功能模块,并给出了爆破设计数据流程图。实现了掘进掌子面上炮孔的自适应布置。由此研制的智能系统能够完成传统、人工智能和完全智能3种方法的隧道爆破设计。隧道爆破实例的设计结果表明,采用本设计系统能够自动、准确、快速、高质量地获得炮孔布置、布孔说明、爆破命令等设计图表。 相似文献
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混凝土结构内冲击波应力传感器设计及其行为 总被引:1,自引:0,他引:1
为测量混凝土结构内的冲击波应力,研制了PVDF压力传感器;介绍了传感器的原理和设计思想,通过传感器的标定试验,得出传感器与混凝土介质匹配性能稳定,通过修正传感器灵敏度或采用将传感器打入包体标定的方法可减小应力测量误差;最后介绍了传感器在混凝土结构内药包爆炸应力波测试中的应用。 相似文献
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通过精确测量Hopkinson杆子弹速度,实现了对PVDF压力传感器的动态标定,测试数据线性度良好,误差不超过1.9%,得到动态灵敏度系数K=32.83 pC/N,采用500 g TNT对“钢板-泡沫铝-钢板”复合结构进行爆炸冲击加载,测量结构间应力波的传播情况。研究结果表明:电压测试信号可以较为准确地反映弹性波与塑性波的加载时间和传播速度,PVDF对弹性应力波段高频信号的动态响应灵敏准确,与理论数据的相对误差为3.5%。测得泡沫铝材料中塑性波的传播速度为590 m/s,A1-B1界面塑性波透射系数达到了0.53,远高于弹性波透射系数。从机理上对应力时程曲线中出现的特殊现象进行了阐述,为相关爆炸测试提供参考。 相似文献
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爆炸试验室基础隔振系统设计与应用 总被引:1,自引:0,他引:1
针对某爆炸试验室的基础隔振系统的改造,首先提出了一种由钢丝绳和碟形弹簧组合而成的新型隔振器,给出了相应的基础隔振方案,并对组合隔振器进行了试验研究。然后,采用两自由度、有阻尼计算模型对隔振系统的动力反应进行非线性分析,研究了隔振层刚度和阻尼对隔振系统动力反应的影响,优化选择了隔振系统的有关参数。研究结果表明,当隔振层刚度约为110 kN/mm,阻尼比为0.20~0.35时,隔振层动荷载接近最小,且其他动力反应满足设计要求。改造后的爆炸实验室的抗冲击能力比改造前提高了50%。 相似文献
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针对混凝土两点爆炸起爆参数选择问题, 提出了一种基于灰色理论的参数优化方法。通过正交试验方法设计试验方案, 运用AUTODYN软件进行了不同起爆参数组合条件下的静爆试验, 计算了起爆参数与爆坑直径、爆坑深度的关联系数和关联度, 进行了单目标因素优化和多目标因素优化, 确定了一组各因素的优选组合, 并进行了试验验证。验证结果表明:采用优化的起爆参数时, 爆坑直径增大(4~42)%, 左爆坑深度增大(0~29)%, 右爆坑深度增大(0~32)%, 两点爆炸混凝土靶体的毁伤效果得到明显改善。 相似文献
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