一种近方脊滤波器的设计与快速制造（英文）

滤波器是信号传输系统中的重要组件.提出一种快速、高精度复制工艺方法,用于设计和制备WR-10波段矩形波导滤波器.采用多层匀胶单次紫外曝光工艺(硅片上匀SU-8胶),制备出的滤波器高度误差小于0.03%(3μm),陡直度误差小于1.1o.实验结果表明,用该方法制备毫米波滤波器技术可行,并取得了卓越的电磁性能(关于:插入损耗,回波损耗和带宽).最终测试结构可知,通带内的插入损耗测得结果小于0.5 dB,几乎可以忽略不计,在整个通带内回拨损耗大于10 dB.结果表明,这种快速制造技术是制备太赫兹射频器件的一种有效办法,这种新技术将成为推动太赫兹射频器件未来发展的主要动力.     

一种宽带脊波导滤波器的设计和优化

本文设计了一种新型脊波导宽带滤波器。实现了中心频率5 GHz相对带宽60%通带内回波小于-20 dB的宽带脊波导滤波器,并通过CST仿真进行优化,达到了设计目的。此类滤波器加工方便,应用低温共熔陶瓷技术可实现集成化。     

应用于LMDS射频子系统中的一种矩形波导双工滤波器设计

LMDS(本地多点分配业务)是一种微波宽带技术，是解决“最后一公里”问题成本较低、功能较丰富的一种。本文设计了一种可用于LMDS中的采用加方形脊T形结的微波矩形波导双工器。介绍了矩形波导E面金属膜片滤波器的设计方法，这种滤波器的金属膜片可通过蚀刻等方法加工，加工精度高，成本低。对应用于双工器中的矩形波导H面T形结的特性进行了分析。     

一种微波光子滤波器的设计

在微波光子系统中,微波光子滤波器能有效降低系统噪声、提高系统动态,但传统的微波光子滤波器受环境影响很大,针对此,介绍了一种具有一定环境适应性的高性能微波光子滤波器.该微波光子滤波器采用硅基工艺和多个耦合微环级联的结构,能够实现低插损和高选择性的优点;同时采用TEC温控反馈的方式能得到较好的环境适应性.     

微波滤波器的回顾与展望

介绍了射频及微波段滤波器的发展及应用概况，莆点介绍了各种类哩滤波器的物理性能及应用前景。[编按]     

一种UHF带通滤波器的设计

为了掌握微波滤波器的制作原理及设计方法,实现一种UHF波段带通滤波器的设计和制作。该设计采用了既定指标确定滤波器的形式（椭圆函数LC带通滤波器）,以椭圆函数为理论基础,通过软件仿真、版图制作、加工,并通过矢量网络分析仪进行调试、测试,从而制作成功满足指标的UHF波段带通滤波器。要设计一个滤波器,首先要分析滤波器的技术指标,选择合适的滤波器形式,确定滤波器的级数,分析滤波器的带外特性以及通带特性,估算滤波器中心衰减和带外抑制的大小,对滤波器进行合理的设计与计算,最后要对滤波器进行仿真优化,直至达到满意的技术指标。     

一种微波带通滤波器的快速设计及仿真

介绍一种快速简便的微波带通滤波器的设计方法。通过计算几个典型的带通滤波器的归一化杆径和归一化间距，给制出分别以相对带宽为横坐标，归一化杆径和归一化间距为纵坐标的快速简便的微波带通滤波器的设计曲线，用ANSOFT-HFSS仿真软件对微波带通滤波器进行结构仿真和优化，得到满意的滤波器结构设计尺寸。     

一种两毫米波矩形波导带通滤波器的研究与设计

随着毫米波技术的快速发展,八毫米波以及三毫米波器件产品相继被研制出来,并已应用到实际工程项目中。在此基础上,对两毫米波技术的应用需求也愈加迫切,两毫米波器件的研究也愈加被重视。本文通过HFSS仿真与设计软件,采用了有限元算法（Finite Element Method）,完成了一种两毫米波矩形波导带通滤波器的仿真优化设计。该滤波器采用一种平行于矩形波导端口面的膜片分腔结构,形成了一种特殊的波导腔体谐振式选频网络。实现了中心频率为140GHz,带宽为8GHz,插入损耗小于0.1dB,回波损耗大于25dB,带外抑制为-20dB左右的技术指标。     

一种新型L波段带通滤波器的设计

本文给出了一种具有平行耦合线分裂环谐振器式Ｌ波段带通滤波器的近似设计方法及实验结果。这种滤波器结构简单，宜用于微波单片集成电路。     

一种可靠的波导滤波器分析设计方法

针对波导滤波器的可生产性和一致性的工程实际需求,提出一种可靠的波导滤波器分析设计方法。利用高频结构仿真软件(HFSS)建模仿真,分析了公差和温度对波导滤波器频率特性的影响,从而优化了设计规范,最终结合散射参数法设计了一款C波段H面的波导滤波器。仿真及实测结果表明,相比于常规的设计方法,该方法更准确、可靠,提高了波导滤波器的可生产性和一致性,满足了工程设计需求。     

一种窄带带通波导滤波器的设计

基于低通原型到带通的频率变换原理,采用小孔膜片耦合波导谐振腔设计窄带带通波导滤波器。给出了工程设计公式和图表,借助微波仿真软件HFSS进行优化设计。研制的滤波器主要技术指标为：在X波段f0±24 MHz内插损小于0.6 dB,f0±145 MHz外衰减大于32dB,满足各种雷达和微波通讯系统中实现频率分集的要求。     

Multi-layer microstructure fabrication by combining bulk silicon micromachining and UV-LIGA technology

A novel method for fabrication of multi-layer microstructures of microelectro-mechanical system (MEMS) devices is described. This technique, which combines bulk silicon micromachining technique and UV-LIGA technique can overcome some shape limitations of single technique on complex microstructures. To demonstrate this combination, the SU-8 microstructure fabricated in the etched silicon grooves is presented. In this fabrication process, a SU-8 removal method by fuming sulfuric acid was introduced and a novel type of plastics PETG was tried in microhot embossing process. The proposed fabrication process can be applied to fabricating a high-aspect-ratio microstructure for a large displacement actuator and precision sensors. Moreover, this combined process enables the fabrication of more complex structures, which cannot be fabricated by bulk micromachining or UV-LIGA alone.     

基于SU-8材料的无源-有源集成式电光开关设计与制备

对基于SU-8紫外负性光刻胶的无源-有源集成 式电光开关进行了系统的研究。 首先用物理掺杂的方法制备出价格 低廉、性能良好的主客掺杂型电光材料DR1/SU-8,反射法测量其电光系数约为11. 5pm/V@1310nm。为减小器件的插入损耗, 设计了有源芯层为DR1/SU-8、无源芯层为SU-8的倒脊形混合集成式波导结构。制作完 CPW行波电极后,对器件进行接 触极化。实验测得开关的上升时间和下降时间分别为5.6μs和5.2μs,插入损耗为13.8dB,与只用DR1/SU-8作为波导芯层的 器件相比,插入损耗减小了约2.8dB。实验结果表明,这种无源-有 源集成式电光波导有效地减小了器件的插入损耗,为制备 低损耗的电光器件和单片多功能集成器件奠定了一定的基础。     

一种二阶LTCC微波带通滤波器的仿真设计

根据低温共烧陶瓷技术的特点,提出了一种二阶微波带通滤波器的三维结构设计方法,设计的滤波器结构简单、尺寸小、工作频率可调。按照该设计方法,通过电磁仿真软件AnsoftHFSS10设计了一款带通滤波器。结果表明,该滤波器的中心频率为5.2GHz,带宽为0.4GHz,通带内插损小于2.1dB,尺寸为2.5mm×2.2mm×0.4mm,能够满足微波无线通信系统的要求。     

带倒角的波导H面阶梯滤波器分析及设计

采用模式匹配法分析了H面阶梯的散射矩阵,通过等效电路法得到耦合系数以及等效电长度。为了将加工中倒角的影响考虑在内,使用阶梯近似,采用S矩阵级联的方法计算H面阶梯波导滤波器加工过程中倒角后阶梯的阻抗变换器值,并通过设计例子来验证该方法的有效性。     

Design,fabrication and characterization of miniature RF MEMS switched capacitor based phase shifter

This paper aims to present in detail the design, fabrication and the various characterization techniques adopted in realizing a novel miniature-size switched capacitor based phase shifter. The work strives to provide an all-round development of a DMTL (Distributed MEMS Transmission Line) based phase shifting unit yielding an overall phase shift of 15° at a frequency of 15 GHz. The RF MEMS (Radio Frequency Micro Electro Mechanical Systems) Switched Capacitor based phase shifter has highly miniaturized dimensions, and is capable of solving many limitations to which the conventional Switched Capacitors are mostly susceptible. This miniature RF MEMS switched capacitor actuates at a low actuation voltage of 12 V, exhibits a fundamental frequency of vibration as high as 1.468 MHz and a switching time of 1.4 µs which is an improvement over the other reported designs. Various characterization results seem to validate the simulations.     

微尺度下新型MEMS滤波器的研究

分析了MEMS共面波导结构,在MEMS共面波导的基础上设计了一种MEMS滤波器,研究了它的电磁学、热应力等微尺度效应.在这些微尺度条件下分析了器件的相关性能,这些参数为获取实际的MEMS滤波器提供了一些有意义的数据.若改变设计参数,可获取其它同类型的带阻、带通滤波器件,为无线通信中的MEMS器件研究在材料选择、器件设计等方面提供了一些理论依据及其实际经验.     

新型高抑制波导滤波器设计

提出了一种新颖的波导带通滤波器设计。该滤波器是一个四阶广义切比雪夫滤波器,中心频率为9.93GHz,带宽为200 MHz,插损小于0.5 dB,带内回波损耗大于20 dB。谐振器为CQ结构,通过一个矩形波导膜片(一个不完全高度的导电杆),实现了交叉耦合,相比传统方法,产生一个额外的传输零点。由于在高端产生了两个零点,使得滤波器在阻带高端10.1 GHz处的带外抑制达到了35 dB以上。仿真实验证明了该设计方法能显著提高滤波器的带外抑制,对滤波器的小型化、高性能化有一定的意义。     

基于微环谐振器的超紧凑微波光子滤波器的设计

设计了一个基于硅基微环的超紧凑的微波光子滤波器,用以提高硅基微波光子器件的集成密度及增大其自由光谱范围。根据波导光学的耦合模理论,推导出双环并联谐振器的光强传递函数,并通过仿真得到了微波光子滤波器的输出特性。结果表明:当微环半径为0.79 m时,谐振器中直波导宽度为0.3 m,环形波导宽度为0.25 m,滤波器的自由光谱范围为140 nm,插入损耗为0.5 dB,半峰全宽为7 nm,此滤波器的性能完全满足粗波分复用系统的要求。     

非对称单脊波导带通滤波器的设计

介绍了非对称单脊波导带通滤波器的基本原理,详细描述了准确设计该滤波器的方法,包括耦合尺寸的提取、谐振器尺寸的逼近及电纳斜率参数的获取。给出了X波段实例的详细设计过程及测试结果。