准分子激光系统中的电磁干扰及抑制方法

准分子激光系统中的电磁干扰问题在许多应用中,特别在医疗设备中是不可忽视的一个问题。文中描述了准分子激光器中的电磁干扰的来源和干扰途径,并详细从激光放电回路、激光腔和软硬件设计角度讨论了抑制电磁干扰和提高系统可靠性的方法。     

准分子激光放电回路的研究

对高压放电泵浦的准分子激光放电回路进行了探讨。运用等效电路方法，给出了准分子激光工作气体在击穿放电前后的电路变化规律，同时分析了能量转移效率与回路参数之间的关系，这为设计高效率和稳定可靠的准分子放电回路提供了理论上的参考依据。     

准分子激光掺杂

本文介绍了准分子激光掺杂的基本原理及特点,概括总结了近年来所取得的典型研究结果,最后指出这项技术在集成电路中的应用。     

准分子激光20年

本文简要地评述了准分子激光问世２０年来的研究、发展与应用概况，并指出准分子激光的发展前景。     

准分子激光器中的X光预电离研究

对于准分子激光器这样的高气压脉冲放电器件，为保证放电的均匀性，预电离是必不可少的。本文详细介绍了Ｘ光预电离的产生机理及实验装置，并进行了深入的实验研究及理论分析，对实际工作有较大的参考意义。     

小型准分子激光泵浦染料激光

本文报道一种染料激光，它的泵浦阈值比用氮激光泵浦的染科激光低几十倍，调谐范围大于300A，且光束质量好。该染料激光是采用Rh6G和Coumarine120，并用我们新研制成的轴向放电激励小型XeCl准分子激光泵浦的。文中还对该纵向XeCl准分子激光的某些性能作了介绍。     

准分子激光刻蚀技术

本文介绍了准分子激光刻蚀的基本原理及特点,综述了近年来有重要意义的实验结果。     

基于电光开关的高功率准分子激光MOPA系统ASE抑制

高功率准分子激光系统中的放大自发辐射(ASE)会引起主脉冲信号对比度下降,从而导致放大过程中激光脉冲信号对比度下降以及波形展宽和畸变,影响精密物理实验的开展。基于电光开关产生短脉冲的原理,对紫外波段电光开关进行了研究,建立了一种抑制准分子激光放大链ASE的方法。在对主振荡功率放大(MOPA)系统第一级预放大器的削波实验中,单电光开关和双电光开关消光比分别达到了103和104量级,削波后的激光脉冲信号对比度由原来的几十倍分别提高到105和106量级。在单路MOPA系统放大实验中,采用级联双电光开关进行了系统的ASE控制,并最终在靶面获得了良好的窄脉宽放大激光脉冲,为高功率准分子激光系统中波形放大问题提供了一个有效的解决方案。     

继电器电磁干扰的诊断和抑制实例

继电器是电子设备中的一个非常重要的干扰源,文章通过一例继电器电磁干扰的检测试验分析说明了继电器电磁干扰的机理,提出了诊断这种干扰的试验方法和有效的干扰抑制措施.     

飞点扫描式准分子激光角膜屈光矫正系统

近年来新型的小光斑高速飞点扫描准分子激光系统以其具有的治疗时间短、矫正精度高、角膜切削表面极其光滑、易于集成波前像差技术实现"个体化切削"方案等优点,成为眼科激光手术的研究热点.本文从理论基础、光学系统等方面综述了国内第一台具有自主知识产权的飞点扫描式激光系统,此系统在临床动物实验和盲眼实验中取得了非常好的效果.     

新颖的光束整形光学系统扩大了准分子激光器的应用范围

准分子激光器在紫外波段发出的高脉冲能量和高平均功率的光束具有极好的稳定性，因此在诸多工业和科学研究领域的应用范围不断扩大。然而，大多数准分子激光器产生的矩形光束必须通过光学系统再整形方能满足激光加工的需要。由于准分子激光器输出光束的形状和强度分布不能用简单的光学系统进行变换，为此德国Lambda Physik公司开发了一种准分子激光束再整形用光学系统以满足各种应用的要求，如平板显示器制造中的硅退火和用光掩模写入的微细加工等。     

TEA／CO2脉冲激光测距机的EMI对策

介绍了新研制的ＴＥＡ／ＣＯ２脉冲激光测距机的电系统结构,重点分析了其中存在的各种ＥＭＩ源,提出了相应的对抗措施,取得了满意的效果。     

高级紫外准分子激光器加工

高能准分子激光器对于激光微加工来说具有极佳的灵活性,因为实际上每种加工的材料都应该具有准确高分辨率的材料烧蚀特性,并且不需要后续处理。紫外激光器直接输出需要的上转换能级的紫外（UV）光子很容易达到几百瓦的功率输出,这对于制造加工的高生产力和大规模生产是很关键的。特别是大平项准分子激光的外形非常适合于两维和三维微加工的高效并行加工。还将介绍特别适合于材料烧蚀和表面活化的紧凑微加工概念。     

MOPA准分子激光同步系统信号发生器的设计

针对MO-PA(振荡-放大)准分子激光器双腔放电同步系统,设计了基于PIC16F873A单片机和直接数字式频率合成器 (direct digital synthesizer, DDS)芯片AD9833的方波信号发生器。对比传统简易信号发生器的优缺点,结合应用在激光器工作的实际环境,讨论了系统的硬件结构以及实现的软件流程,经过实验及分析,结果表明在1～4 kHz范围内,信号发生电路输出方波信号频率误差<0.05 Hz。     

电动工具的电磁干扰抑制

文章分析了电动工具类产品产生电磁干扰的机理,介绍了电动工具电磁干扰抑制的方法,并给出了典型的电磁干扰抑制实例.     

磁助器在准分子激光器中的应用

介绍磁助器的设计原则和方法，并成功地应用于准分子激光放电电路中，实验结果表明，设计的磁助器能在不显著影响激光输出能量情况下，减少高压快放电中开关器件─—闸流管的能量损耗，减小反向电流。