云纹干涉法面内位移测量的光栅补偿方法研究

运用光的干涉与衍射理论，导出了对称入射光路云纹干涉法面内位移计量的基本公式。针对云纹干涉法在实际应用中易引入刚体位移对真实面内位移干扰这一棘手问题，设计了定量补偿面内位移和变形的非对称光栅补偿光路系统。由于采用高灵敏度基准光栅调节的方法，比螺旋测微器等纯机械方法具有众多优越性。本文分析了该补偿方法对面内正应变条纹梯度和面内剪应变条纹梯度的补偿原理和具体实施过程。本方法大大提高了云纹干涉法面内位移计量和补偿的可靠性。     

云纹干涉法在线复制变形光栅技术研究

介绍了一种云纹干涉法现场转移高密度光栅的新工艺，将现场转移光栅与实验室测量有机结合起来，同时得到物体变形的面内U、V位移场。从理论上分析讨论该方法的可行性及误差。通过实验验证该方法与传统云纹干涉法具有相同的灵敏度和量程，使云纹干涉法应用范围更加广泛。     

用激光加工硅钢片降低铁损残余变形的云纹干涉法测量研究

应用双镀层高温高频光栅和云纹干涉法对激光加工硅钢片降低铁损的残余变形进行了测量研究。分别对采用ＣＯ２连续激光和ＹＡＧ脉冲激光不同参数处理后硅钢片表面的残余变形进行了测量，对双镀层Ｃｒ－Ｃｒ光栅的制作方法、云纹干涉法测量残余变形的原理进行了讨论。实验结果表明，硅钢片在激光加工后，试件表面产生负性残余应变是细化磁畴，降低铁损的直接原因     

光栅干涉位移传感器信息解算方法研究

面向光栅干涉式位移传感器信号高精度解算的需求,提出了一种基于椭圆拟合补偿及反正切算法的位移解算改进方法。采用傅里叶变换及标准化椭圆参数拟合法对信号误差估计,通过构建线性误差补偿模型对带误差信号进行正交补偿,结合反正切算法对信号进行线性化处理,实现高精度位移解算读出。Matlab仿真结果表明,该方法对信号正交补偿效果显著,线性化处理算法解算位移最大相对误差小于0.2%。为提高光栅干涉式传感器位移解算精度提供了有效途径和方法。     

耐高温光刻胶光栅模板的制作与转移技术及其应用

作为试件变形传感元件的云纹光栅的制作是云纹干涉法的关键技术。本文提出了在１２０～２００℃高温下使用的光刻胶光栅模板的制作及在此温度下试件栅的复制工艺，并利用此技术研究了新型微电子封装组件在１２５～２０℃温度载荷下的热变形。实验结果表明：采用该方法可以获得高质量的试件栅，云纹条纹质量好，可用于试件微小区域内热变形的精确测量     

表面封装技术组件焊点热变形的云纹干涉法研究

表面封装技术组件的焊点作为唯一联接芯片载体与电路板基板之间的机械物，它在温度循环下的可靠性问题是人们普遍关注的焦点。本文通过在组件的不同部位复制１２００线／ｍｍ高频正交全息光栅，采用高灵敏度云纹干涉法测得了翼型引脚首尾两端的面内剪切位移，为阐述表面封装组件的疲劳损伤机理提供了可靠的实验数据。     

电子束刻蚀法制作微米/亚微米云纹光栅技术

本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。所制得的光栅可在两频率下应用电子束云纹法测量物体的变形。同一般光栅相比 ,这种双频光栅变形量程范围更大。在本研究中 ,运用电子束刻蚀法并结合真空镀膜技术制作出 0 .1μm间距 ( 10 0 0 0线 /mm光栅 )的电子束云纹光栅。应用所制作的 10 μm/1μm双频光栅与相对应的电子束参考栅干涉 ,分别得到对应的电子束云纹场。文中对制栅工艺及方法进行了详细的讨论。     

折射率介质在制栅和云纹干涉法中的应用

利用光在折射率介质中传播可以减小光波波长的性质，提出用折射率介质法制作高频全息光栅技术，使光栅频率突破理论极限２／λ；并将折射率介质应用于云纹干涉法中，当试件栅频率为６００１／ｍｍ时，虚栅频率可达到６０００１／ｍｍ，利用其±５级衍射光进行干涉，测量灵敏度由０．８３μｍ提高到０．１６μｍ。     

用于位移传感器的全息平面变间距光栅设计与制作研究

简述了全息变间距光栅的几何理论.利用遗传算法对记录光路进行了优化计算，提出在目标函数中考虑记录参数误差的影响，推导了目标函数的积分形式，提高了计算效率.针对用于位移传感器的平面变间距光栅，分别计算了球面波干涉及球面波与非球面波干涉情况下的全息记录参数，给出了线密度误差曲线.制作出全息平面变间距光栅，并成功应用于位移传感器中. 关键词： 全息光栅 变间距光栅 遗传算法     

刚体运动对云纹干涉法的影响

本文详细讨论了试件在空间六个自由度中产生刚体运动时所形成的云纹图特性，定量地分析了各种刚体运动形式对云纹干涉法的影响。经分析表明：在用云纹干涉法测量变形位移场时，只有当试件绕坐标轴刚体转动时才会影响所测变形位移场。     

应用菲涅耳三面镜形成云纹干涉空间高频栅进行离面位移及振动的测量技术

本文提出应用菲涅耳三面镜在空间形成云纹干涉高频栅及贴片云纹干涉技术进行离面位移与振动的测量技术,文中就测量原理、定量公式推导、条纹解释、测量精度及灵敏度等方面都作了详细论述,为工程中的位移与振动模态分析提供了一种现场测试新途径。     

移相器微位移旋转误差的分析及测试

以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象, 引入一种处理静态干涉图的新方法--虚光栅移相叠栅条纹法,设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究,对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析,并给出测试结果.用虚光栅移相叠栅条纹法处理实验中加有载频的干涉图时,不需要使用任何移相器件,可以进行动态位相的检测,整个移相过程用计算机进行控制,避免了引入额外的移相误差.     

高频位相型曲面变形光栅的转移工艺研究

本文研究了在室温和８５℃温度环境下高频位相型曲面变形光栅的转移工艺。实验结果表明：通过这种方法可以复制出高质量的曲表面试件变形栅，并具有灵敏度高、条纹质量好、方法简便、可用于工业现场等优点。为云纹干涉法对曲面变形问题的研究提供了重要的手段。     

激光辐照靶材的温升模拟及变形的云纹干涉测试

 采用0.15-2.5kA的大电流输出装置,对LY12铝板试件加热,可获得约27～7430℃/s的理论温升率;用高速相机连续实时记录高温动态云纹干涉条纹,获得了1000幅/s的拍摄频率,将这两种技术结合,模拟连续波激光辐照金属靶材产生的温升效应,并对变形过程进行测试,为激光结构破坏机理基础性研究提供了新方法,表明云纹干涉法用于高温动态变形测试完全可行。