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相似文献
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1.
在具有Ti缓冲层的Pt(111)底电极上,用射频溅射工艺在较低的衬底温度(370℃)和纯Ar气氛中沉积Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,沉积过程中基片架作15°摇摆以提高膜厚的均匀性。然后将样品在大气中进行5min快速热退火处理,退火温度550-680℃。用XRD、SEM分析薄膜的微结构,RT66A标准铁电测试系统测量样品的铁电和介电性能。结果表明,所沉积的Pt为(111)取向,仅当后退火温度高于580℃,沉积在Pt(111)上的PZT薄膜才能形成钙钛矿结构的铁电相,退火温度在580-600℃时结晶为(110)择优取向,退火温度高于600℃时结晶为(111)择优取向。PZT薄膜的极化强度随退火温度的升高而增加,但退火温度超过650℃时漏电流急剧上升,因此退火处理的温度对PZT薄膜的结构和性能有决定性的影响。  相似文献   

2.
电极对PZT铁电薄膜的铁电和光学性能的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用射频磁控溅射(RF Magnetron Sputtering)工艺在Si片上分别制备Pt/Ti和LaNiO3 (LNO)底电极,然后在不同的底电极上沉积PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)铁电薄膜,在大气环境中对沉积的PZT薄膜进行快速热退火处理(RTA).用X射线衍射(XRD)分析PZT薄膜的相结构和结晶取向,原子力显微镜(AFM)分析薄膜的表面形貌和微结构.再沉积LNO作为顶电极制成"三明治"结构的LNO/PZT/Pt和LNO/PZT/LNO样品,用 RT66A标准铁电测试系统分析样品的电学特性,傅立叶红外光谱仪分别测得样品的反射谱和透射谱.分析了不同电极对PZT铁电薄膜的铁电和光学性能的影响.  相似文献   

3.
采用金属与金属氧化物复合靶的射频溅射法,在S_1,Au,Pt和Ti基片上沉积制备Bi_4Ti_3O_(12)(BTO)铁电薄膜,对不同基片沉积的BTO薄膜,以及不同退火温度下的薄膜的相结构、成分及形貌进行了分析。结果表明,BTO薄膜的结构与退火温度和沉积基片有关,不同基片上钙钛矿结构形成的温度按T_t相似文献   

4.
在不同的基底温度下,采用直流磁控反应溅射法在硅基底上制备了氮化钛(TiNx)薄膜,研究了基底温度对薄膜结晶取向、表面形貌和导电性能的影响.实验结果表明:基底温度较低时,薄膜主要成分为四方相的Ti2N,具有(110)择优取向,当基底温度升高到360℃时薄膜中开始出现立方相的TiN.TiNx薄膜致密均匀,粗糙度小.随着基底温度的升高薄膜的电阻率显著减小.  相似文献   

5.
在较低的温度(分别在1 150℃,1 550℃下灼烧和烧结)下热处理碳酸盐共沉淀前驱体,制得了致密的BaCe0.8Zr0.10Nd0.10O3-α陶瓷样品。采用SEM及XRD方法对该陶瓷样品的结构进行了表征,采用交流阻抗谱、氢浓差电池及电导率的氢同位素效应等电化学方法研究了陶瓷样品在氢气气氛中的质子导电性能,成功地将该陶瓷样品应用于常压合成氨。结果显示:该陶瓷样品具有钙钛矿型结构;在湿润的氢气气氛(含水蒸气体积分数约为3%)中,(300~600)℃下几乎为纯的离子导体,高于600℃为离子与电子的混合导体,离子导电为主,电导率最大值为1.66×10-2 S.cm-1;在620℃、外加直流电1.2mA时的氨产率达到1.27×10-9 mol.s-1.cm-2。  相似文献   

6.
电子束蒸发制备ZnO薄膜及其晶体结构和电学性质   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用电子束蒸发法制备了ZnO薄膜。研究了退火温度及衬底对薄膜的结晶状况以及电学性质的影响.X射线衍射测试结果表明。相同蒸发条件下制备的ZnO薄膜,硅(100)衬底上薄膜晶粒尺寸为73nm。结晶情况明显好于陶瓷和玻璃衬底上的薄膜.退火之后,各种衬底上薄膜的结晶情况相对未退火时都有明显好转;400℃退火时。薄膜逐渐结晶;600℃退火时,ZnO薄膜体现良好的择优生长的趋势,晶粒长大,晶化程度提高,大部分晶粒发生了织构.在400℃退火后。掺入Al2O3的薄膜和未掺杂的ZnO薄膜的电阻率下降了一个多数量级,但掺入MgO的薄膜电阻率变大。这是由于MgO掺杂起到了补偿作用,掺入MgO有可能实现ZnO薄膜的P型掺杂.  相似文献   

7.
掺杂钴对锆钛酸铅铁电薄膜电性能的影响   总被引:3,自引:0,他引:3  
采用溶胶-凝胶法在LaNiO3/Si衬底上制备了Pb(Zrx,Ti1-x)O3(PZT)与PbCoy(Zr,Ti1-x)O3(PC—ZT)铁电薄膜,实验发现钴掺杂对PZT的铁电性能产生了很大的影响.不掺杂的PZT铁电薄膜剩余极化强度Pr=14.05uC/cm^2,矫顽场Ec=26.35kV/cm,而钴的掺杂有效地提高了PZT薄膜的剩余极化强度,当掺杂钴达到12%时,Pr=36.26uC/cm^2,矫顽场减小.同时,掺杂钴增强了PZT薄膜的介电性能并且减少了漏电流。  相似文献   

8.
用磁控溅射法在Si(111)基片上以不同溅射功率沉积LaNiO3(LNO)薄膜,基片温度370℃,对沉积的薄膜样品进行快速热退火处理(500℃,10min)。使用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)精确测量不同溅射功率沉积的LNO薄膜退火前后的组分情况。分析发现:LNO薄膜经退火处理后,其中的Ni/La的比值随着溅射功率增大而越接近理想比1:1,其导电性能也越好。另外,我们以相同工艺制备了不同厚度的LNO薄膜顶电极,四探针电阻测试仪和红外椭圆偏振光谱仪测试其电学与红外吸收性能,实验发现:(1)LNO薄膜的电阻率随膜厚的增加而降低,在大约300nm厚时略又有增加趋势;(2)LNO薄膜的红外吸收系数随其厚度的增加而增加,且随红外波长的增大而减小。  相似文献   

9.
用磁控溅射法沉积了Fe/Si多层膜和Fe单层膜,在真空和Ar气中热退火2h后制备了β-FeSi2半导体光电薄膜。发现Fe/Si多层膜在880℃温度下热退火后,制备的β-FeSi2薄膜的XRD结果均呈现p(220)/(202)择优取向,而Fe单层膜制备的β-FeSi2样品则呈无规则取向。原子力显微镜分析表明,Ar气退火的样品表面粗糙度大于真空退火的样品。根据光吸收谱测量,Fe/Si多层膜制备的β-FeSi2薄膜的禁带宽度室温下为0.88eV。由Fe/Si多层膜制备的β-FeSi2薄膜具有明显的光电导效应,这种效应在真空退火样品中更为显著,在40W光源照射下,光电导效应大于30%。  相似文献   

10.
不同衬底上纳米晶CdTe薄膜的低温制备及光性能研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
在液氮温度下采用射频(R.F)磁控溅射在普通玻璃(glass)、单晶硅(Si)和陶瓷(Al2O3)衬底上制备出了纳米晶CdTe薄膜.采用X射线衍射(XRD)和场发射扫描电镜(FESEM)对薄膜的晶体结构与外貌形态进行了表征.XRD测试表明在glass和Si衬底上的CdTe薄膜比在Al2O3衬底有较好的结晶性.且在(111)晶面有较高的择优取向.在glass和Si衬底上的CdTe薄膜晶粒尺度约为25nm,而在Al2O3衬底上得到的薄膜晶粒尺度约为15nm左右.FESEM测试显示薄膜在glass和Si衬底上的结晶形态比Al2O3衬底较平整,致密.同时对玻璃衬底上不同沉积时间得到的纳米薄膜进行了光学性能研究.  相似文献   

11.
单晶X-射线衍射结构分析表明[Cu4(H2O)2(OH)4(C4H4O4)2]·3H2O属三斜晶系,空间群为P1(no.2).晶胞参数a=9.730(2)  相似文献   

12.
13.
掺C60二氧化钛微晶特性和光催化活性研究   总被引:5,自引:0,他引:5       下载免费PDF全文
通过热分析、X射线衍射以及光活性测试,分析了不同掺杂量、不同燃烧温度下掺杂C60二氧化钛微晶样品,研究了掺杂对二氧化钛光活性的改善情况,C60掺杂二氧化钛体系中C60的热解温度明显提前,二氧化钛的晶化温度延迟、相变受到抑制且光活性得到一定程度的提高,其微晶参数也有一定规律变化。  相似文献   

14.
15.
采用溶胶-凝胶法和化学共沉淀法制备了BaTiO3-CoFe2O4两相复合纳米粉体,利用固态烧结法制备出BaTiO3-CoFe2O4多铁性复合陶瓷.XRD测试和实验结果表明,两相复合陶瓷中同时含有四方相的BaTiO3陶瓷和立方相的CoFe2O4陶瓷.复合纳米陶瓷具有较好的铁电性和铁磁性,为进一步研究其磁电耦合效应及应用奠定了良好的基础.  相似文献   

16.
17.
18.
在用LMTO方法计算A1B  相似文献   

19.
以双氧水为包核,以卵磷脂(PC),二肉豆蔻酰磷脂酰胆碱(DPPC),司盘60(Span60),吐温60(Tween60)等为膜材,用逆相蒸发法或超声法制备了12种囊泡,其平均直径在0.1~3μm范围内.研究了囊泡的包封率、形状以及尺寸大小随时间变化的情况.实验结果表明采用逆相蒸发法制得的囊泡稳定性较好;而膜材不同,囊泡的稳定性也有明显的差别.选取包封率较高的一种囊泡,在37℃,过氧化氢酶存在下测定了H2O2的释放速率.将部分囊泡通过静脉注射到家兔体内,观察到其肝部位的超声波信号有明显增强.  相似文献   

20.
研发高效、易回收的催化剂具有很高的实际应用价值.采用多模板法制备了一种新型的大尺寸多级孔钛硅酸盐(MHPTS),并以其为载体,采用简单的浸渍-热聚合法制备了g-C3N4/MHPTS复合催化剂.MHPTS具有连续贯通的大孔结构,传质速度快;几十纳米的超薄壁厚意味着大孔孔壁上的介孔孔道非常短,缩短了反应物和产物分子进出孔道的时间;微孔提供了大量的活性位点.在热反应条件下,MHPTS对环己烯的催化环氧化转化效率远高于常规的TS-1分子筛.此外,由于g-C3N4的负载使g-C3N4/MHPTS对光的吸收范围延伸至可见光,提高了催化剂的光吸收能力.结果表明,在光热协同作用下,g-C3N4/MHPTS对环己烯的催化环氧化转化效率进一步提高.  相似文献   

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