厚层抗蚀剂显影轮廓分析

DILL上曝光模型和MACK显影模型，编制了接触式曝光系统的厚层抗蚀剂光刻模拟软件，用其分析在理想曝光剂量条件下，抗蚀剂显影后的线宽和侧壁陡度随显影时间的变化规律，分析得出了给定厚度的抗蚀剂的显影时间，为实验工艺上严格控制显影时间提供依据。     

优化抗蚀剂的预烘工艺减小衍射对X射线光刻的影响

讨论了衍射效应在微米 /纳米X射线光刻中对分辨率的影响和抗蚀剂的预烘温度与其衬度的关系。分析发现增加抗蚀剂的衬度能有效地提高工艺的容裕度 ,减小衍射作用。实验表明 ,在预烘温度为 170℃时 ,正性抗蚀剂PMMA有最高的衬度为 4 46 ,负性抗蚀剂PN 114在预烘温度为 115℃时有最高的衬度为 8 40。给出了最佳预烘温度下使用两种抗蚀剂的X射线光刻的实验结果     

基于主动轮廓模型的EAST等离子体边界重建

通过分析等离子体边界的等磁通特性,利用主动轮廓模型进行边界重建,给出了主动轮廓的能量计算方法、重建算法、边界磁通和初始轮廓的确定方法。利用EAST实验数据对边界的重建测试表明,该算法具有良好的准确性和实时性。     

共振吸收的自洽场结构和密度轮廓分布

用二维多时标全电磁相对论粒子模拟程序,对斜入射P极化强激光与具有线性密度分布的非均匀等离子体平板相互作用中的共振吸收进行了模拟计算,给出了冕区自洽场的结构和等离子体密度轮廓分布,粒子模拟结果观察到了临界面附近等离子体波的激发、等离子体密度轮廓的变陡和空穴的产生。     

共振吸收的自洽场结构和密度轮廓分布

 用二维多时标全电磁相对论粒子模拟程序，对斜入射P极化强激光与具有线性密度分布的非均匀等离子体平板相互作用中的共振吸收进行了模拟计算，给出了冕区自洽场的结构和等离子体密度轮廓分布，粒子模拟结果观察到了临界面附近等离子体波的激发、等离子体密度轮廓的变陡和空穴的产生。     

紫外分光光度法测定抗湿剂中FC-722的含量

在稀释剂PF5060介质中,FC-722在波长205nm处有最大吸收峰,据此建立了一种紫外分光光度法测定FC-722含量的新方法,用于抗湿剂AWA(Anti-Wetting Agent)试液中FC-722含量的测定,达到了令人满意的结果.     

抗混叠轮廓波域采用压缩感知的云图融合方法

提出一种采用压缩感知的云图融合方法.该方法针对传统轮廓波存在频谱混叠的缺点,结合抗混叠塔式滤波器组和方向滤波器组,构造出一种抗混叠的轮廓波变换,并将其引入压缩感知中的稀疏表示环节,将云图分解成稠密和稀疏两部分;对稠密成份采用传统方法进行融合,而对稀疏成份,则在压缩感知框架下,通过少数线性测量的融合,并采用二步迭代收缩的...     

抗混叠轮廓波域采用压缩感知的云图融合方法

提出一种采用压缩感知的云图融合方法.该方法针对传统轮廓波存在频谱混叠的缺点,结合抗混叠塔式滤波器组和方向滤波器组,构造出一种抗混叠的轮廓波变换,并将其引入压缩感知中的稀疏表示环节,将云图分解成稠密和稀疏两部分|对稠密成份采用传统方法进行融合,而对稀疏成份,则在压缩感知框架下,通过少数线性测量的融合,并采用二步迭代收缩的图像重构算法,在迭代时利用前面两个估计值更新当前值,得到融合结果.实验表明,该方法的融合结果无论在视觉质量及定量指标上都明显优于传统方法,有利于揭示全面的天气信息.     

用激光衍射测量群体微粒尺寸分布的计算机模拟和拟合

介绍了群体微粒激光衍射现象的原理,建立了相应的数学模型;报导了相应的计算机模拟和最小二乘法拟合结果,以确定群体微粒的尺寸分布。     

用数码相机和计算机绘制简谐运动的位移-时间图像

人教版《高中物理选修3-4》第十一章"机械振动"的第一节"简谐运动"中[做一做]用数码相机和计算机制作小球运动的x-t图像.书本上介绍的方法较简略,具体操作时还是遇到很多问题.下面是笔者制作这一图像的具体过程,供参考.(1)首先为气垫导轨上运动的弹簧振子拍摄一段录像.如图1,注意应使弹簧振子位于照片的上端.     

线性剖面克尔材料分层板波导中光波的传播

对三层板波导中光波传播问题进行了讨论.芯材料是克尔型介质,其折射率平方(n²)剖面分布随x作线性变化.此时芯区的亥姆霍兹方程约化为Painleve方程,利用Laurant级数可得到其近似解.     

基于粗糙度曲线统计特征的接触热阻模型

本文在对粗糙度曲线统计特征分析的基础上,提出了一种接触热阻的计算模型。分别采用四种接触峰的评定标准,对实际机械加工表面的接触热阻进行了计算。研究结果表明,评定标准的选取直接影响接触热阻的计算结果;在同一接触峰评定标准下,两块平均粗糙度值相差较大的表面,其接触热阻计算值的离散区域也有可能重叠。所以,在计算接触热阻时,仅仅使用一两个平均化的粗糙度统计参数来表征整个表面的形貌特征是不够的。     

定常吸气改善叶型气动性能的数值研究

提高叶型升力,扩大其稳定工作范围一直是叶轮机械领域关心的问题。本文针对采用定常吸气方法减缓低马赫数流动分离,改善叶型气动特性的问题,在NACA0015叶型上进行了多种工况的数值模拟。结果表明:在叶型头部吸力面分离点附近施加定常吸气,可以提高叶型升力,降低阻力,推迟失速2°左右。存在着最佳的定常吸气动量范围和吸气位置,使得其改善叶型性能的效果最大。文中还给出了定常吸气动量和施加位置等参数对叶型气动性能的一些影响规律。     

F离子弹性反冲法分析固体中H的深度分布

本文报道7—8MeVl⁴⁺离子弹性反冲法(ERD)分析固体中H的深度分布。实验和理论分析表明,近表面处的深度分辨率为200—300?。探讨了散射几何条件和入射能量等的最佳化问题。比较了同一样品用F离子ERD法与6.4MeV¹H(¹⁹F,αγ)¹⁶O核反应法(NRA)的测试结果。表明F离子ERD法是快速(5—10min)、低辐照(5—10μC)、深度分辨和灵敏度较好的分析固体中H的深度分布的一种方法。 关键词：     

油气藏三维三相组分模型软件研制与应用

提出了一种对压力和饱和度隐式、组分摩尔分数显式的部分隐式组分模型求解方法。该方法所需联立求解的方程组数量少,且兼有全隐式收敛性好的特点。通过与引进软件用相同地质模型、PVT资料对柯克亚X₅¹(3)凝析气藏循环注气进行模拟对比研究,验证了自编的部分隐式组分模型软件计算结果的可靠性,标志着自主版权的组分模型软件已经开始走向成功。     

X射线线形的解卷分析与Bragg角的精确计算

采用解析函数模拟X射线线形, 在排除实验测试误差影响的条件下, 研究仪器宽化修正过程中各种因素如Kα双线、线形宽度和原点选取等对傅里叶系数和真实线形的影响;分析了从傅里叶系数或真实线形分离晶粒尺寸和微观应变的可靠性; 提出了无任何假设的前提下, 由实测线形的解卷计算求得精确Bragg角的方法. 关键词： X射线线形 傅里叶变换 真实线形 Bragg角     

含有杂质的托卡马克等离子体输运的数值研究

应用一维输运模型数值研究杂质及中性粒子对托卡马克放电的影响,对含氧杂质的ST和HT-6B放电进行计算模拟,结果与实验符合很好。     

SGJ-1型悬链浮子式超声功率计研制

本文说明所研制的悬链式超声功率计的基本原理、结构设计、校准、误差及其优点。     

电视跟踪在光电火控系统中的应用及发展趋势

电视跟踪在各种武器系统中得到越来越广泛应用。根据电视跟踪的工作原理和特点,论述电视跟踪在光电火控系统中的应用。分析国内外技术水平,并对其发展趋势进行了展望。     

大气折射率结构常数垂直分布特征

 通过对我国安徽合肥、河北香河、云南昆明三个站址整层(0-30km)的大气折射率结构常数的观测资料的分析,得到了的垂直分布特征和统计特征;利用现有的高度分布模式进行了计算和分析,并在此基础上给出了自己的拟合公式。