椭偏测厚仪确定薄膜真实厚度的分析

用椭偏测厚仪可以测量薄膜一个周期内的厚度和折射率.本文从理论上分析了采用变入射角确定薄膜的真实厚度时,存在最大可测厚度周期数和最大可测薄膜真实厚度,同时用图形形象描述了周期数、厚度周期、一个周期内的厚度、真实厚度之间的关系及它们与入射角的关系.     

超声波测厚仪

这是一种利用超声波谐振原理来精密测量部件厚度变化的超声波电子仪器(图1).测量过程中,只需与部件的一个表面接触,就可在仪器萤光屏的刻度尺上直接读出厚度值.在一定范围内,操作简单,读数方便,准确度高. 仪器由压电换能器、调频振荡器、脉冲放大器及大屏幕显示器等部分组成(图2). 调频振荡器的工作频率作周期性变化.压电换能器将振荡器电能转换成频率变化的声能,从外表面向被测部件的内部辐射超声波.当超声波半波长等于部件厚度或其整数分之一时,会产生“厚度谐振”现象.此时,振荡器将在这些频率上输出与厚度对应的电脉冲信号.经过放大器放…     

透镜简易测厚仪

<正> 在一般光学零件加工过程中,需要用一种透镜测厚仪对大量光学零件的中心厚度进行测试,以控制光学零件厚度的尺寸精度。通常使用的测厚仪是由专业厂家生产的一种光学仪器,对于测量大量光学零件的厚度,在使用上还存在某些不足之处。这里介绍一种机械式的     

多功能椭偏测厚仪

研究成功一台变入射角反射式消光法多功能智能椭偏测厚仪。实验表明 :仪器的测厚准确度为± 0 1nm ;椭偏参数Ψ和Δ的测量重复性精度分别为± 0 1°和± 0 3° ,适用于纳米级薄膜厚度和折射率的测量     

紫外可见吸收光谱仪与椭偏测厚仪联用测量透明光电子薄膜的厚度

采用椭偏测厚仪测量薄膜的折射率,用来修正紫外可见吸收光谱仪极值法测量膜厚的数据.通过制备掺铝氧化锌(ZAO)薄膜及SEM断口观察进行实验验证,证实该修正方法有助于提高膜厚测量精度.联用这2种常规仪器,可以方便地获得0~20μm宽范围的透明光电子薄膜的厚度,数据采集与处理简单快捷,可满足大部分薄膜工艺研究和生产的需要.     

高精度测厚仪设计

针对现在超声测厚出现的精度不够高、测量误差比较大、噪声的干扰问题,除了在硬件方面的改进,还利用相关算法,来提高测试的精度和减少噪声干扰问题;利用10 M测厚探头对30 mm带细微螺纹铁标准试块和1 mm的不锈钢试标准试块测量,验证了测量的有效性和准确性;该系统运行稳定,能够可靠地进行检测厚度,在超声测厚领域将会具有极高的应用价值。     

γ测厚仪的物理设计

本文用蒙特卡罗方法研究了宽束γ射线通过介质的衰减情况,指出只要使用等效吸收系数(表观μ'值),仍可按指数规律处理,从而提出了γ测厚仪新的设计思想,以减小源强、增加计数率,提高测量精度。本工作用60keV的宽束γ射线在铝中的吸收实验,验证了蒙特卡罗理论计算结果。     

JC-A型激光带材测厚仪

本文着重叙述激光带材测厚议的测量原理,同时介绍JC-A型激光带材测厚议的整体结构和各个部分。     

同位素数字直读式测厚仪

同位素测厚仪是根据射线在物质中的衰减规律的原理制成的.它具有非接触测量、稳定可靠、反应迅速、坚固耐用的特点.国内外大、中型钢铁企业几乎全部都是采用这种类型的厚度计来检测和控制板村、带材生产的.透射式测厚仪原理框图如图1. 1.同位素射线源:发出γ射线或β射线. 2.探测器或传感器:接收射线并转换成电信号.本测厚仪采用高压充氙电离室作为探测器,电离室和前置放上器组成探头,输出模拟电压信号. 3.二次仪表:将探头输出的电信号转变成厚度　绝对值或厚度偏差信号,并通过显示器显示. 图1是本仪器的原理方框图.放射源发出的射线穿过被…     

CCH-32型高精度测厚仪

上海超声波仪器厂新近研制成功的CCH-32型是最新一代电池供电、微功耗便携式高精度测厚仪,它灵敏度高、测量范围宽,还具有一二间隔自动转换功能、欠压指示和测量值自动保留功能。使用该仪器可以单面无损地精确测定钢、铝、玻璃、石英等材料的厚度。用途广泛、使用方便,尤其适合于流动的场合下使用。     

薄透明体厚度及折射率的测量

本文介绍了测量薄透明体厚度及折射率的一种方法。     

精确测量双层复合膜厚度的物理原理——用PCSA型光学系统处理四相体系

本文给出了一种直接测量双层复合膜厚度的方法,并讨论了这种测量方法的物理原理,所得公式在一级近似条件下,可以将公式推广以适用于更多层的透明介质膜,为了进一步提高测量的精确度,我们推出了更为精确的公式,并用电子计算机取得了一套数据,现将数据编制成册,绘制成图表。这种直接测量双层薄膜厚度的方法,不需要高级复杂的设备,仍然只使用椭偏仪,其物理原理就是用PCSA光学系统处理一个四相样品体系的问题。     

Monte Carlo模拟计算应用于微区薄膜厚度测定

本文用Monte Carlo模拟计算了孤立薄膜和同一材料厚样中同样厚度表层的X射线强度分布函数,然后提出一简单关系式确定有衬底薄膜的X射线出射强度,以校正膜厚测定中Z.A.P.影响,使膜厚测定的准确度比前人有所提高。对GaAS,Si衬底上的Ta₂O₅膜、ZrO₂膜的测厚结果与椭圆术测定结果一致。 关键词：     

用X射线能谱同时测定薄膜成分及厚度

本文提出一个直接利用薄膜和衬底的X射线能谱来同时测定薄膜的成分和厚度的新方法,利用薄膜发出的各元素的标识X射线强度比确定其成分,利用NaCl衬底的Nak_α和Clk_α标识X射线的强度随膜厚增大而衰减的定量关系确定膜厚,本方法不需要纯元素的块状标样,对在NaCl衬底上沉积的Cu-Si合金薄膜的成分和厚度,在各种实验条件下进行了测定,得到了较为满意的结果。 关键词：     

关于热生长SiO2薄膜厚度的测量

在半导体硅器件的研究工作中,需要准确地测量和控制SiO₂薄膜的厚度。由于干涉原理,SiO₂薄膜在白光照射下呈现颜色。但薄膜厚度与颜色相应的单色光的波长并不成简单的函数关系。本文叙述了用干涉显微镜测量热生长SiO₂薄膜厚度的方法。由测量结果得到SiO₂薄膜的折射率以及SiO₂和硅界面及空气和硅界面反射相移之差。并且测量了一组标准样品的薄膜厚度,列出了薄膜厚度与干涉颜色的对应关系。所得结果与从Rollet数据所推算的结果大致符合。样品厚度还包括了Rollet数据中所未包括的范围(3300—4200?)。     

多层非晶薄膜爆炸焊接原理

 从冲击动力学原理出发，建立了多层薄膜爆炸焊接的动力学模型。多层薄膜组合从某种意义上讲可以看成是一种特殊的多孔材料，其在冲击波作用下的行为完全可用多孔材料状态方程来描述。文中还针对非晶态材料的特点，建立了多层焊接的传热模型。计算结果表明，多层爆炸焊接完全可以保证非晶态材料不发生相变。     

大面积高温超导薄膜临界温度无损伤测试

我们设计并制作了高温超导薄膜无损伤超导转变温度Tc测试系统, 可以在直径2英寸范围内同时测量13个位置上的Tc.测试过程中可以用图形或数字监视薄膜的超导转变,方便可靠.系统采用液氮制冷,测试速度快,测量误差约±0.2K.对于直径2英寸或小于2英寸薄膜的Tc,本系统是一套实用可靠的测量设备.     

测量高温超导YBCO薄膜厚度的一种新方法

生长在倾斜SrTiO₃衬底上的YBCO薄膜具有激光感生电压效应,响应信号的衰减时间常量与薄膜的厚度有确定的关系.作出了衰减时间常量与薄膜厚度的关系曲线,根据该曲线,由衰减时间常量就可确定薄膜的厚度     

有限长压电陶瓷薄圆管材料常数的测量方法

本文报告了一个测量压电陶瓷材料常数的新方法。可应用它对径向极化有限长薄压电陶瓷圆管的材料常数测量,测量所用的数学公式都是简单的代数运算,所用设备都是普通的电子仪器。使用这个方法能较准确地测出有限长薄压电圆管的泊松比σ,常电场下的顺性常数$S_{11}^E$,平面机电耦合系数k_p,横向机电耦合系数k₃₁,压电常数d₃₁和g₃₁,以及密度ρ和自由介电常数ε本文报告了一个测量压电陶瓷材料常数的新方法。可应用它对径向极化有限长薄压电陶瓷圆管的材料常数测量,测量所用的数学公式都是简单的代数运算,所用设备都是普通的电子仪器。使用这个方法能较准确地测出有限长薄压电圆管的泊松比σ,常电场下的顺性常数,平面机电耦合系数,横向机电耦合系数k_31,压电常数d_31和g_31,以及密度ρ和自由介电常数。对换能器设计和产品质量检查有一定意义。     

测量高温超导YBCO薄膜厚度的一种新方法

生长在倾斜SrTiO