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针对声表面波传感器在生物检测中的性能评价与优化,提出一种快捷验证适用于生物传感器的声表面波器件质量负载灵敏度的实时检测方法。首先基于二维近似假设和周期性边界条件,建立了以石英为压电基底材料、SiO2为波导层的Love波传感器的三维有限元分析模型,从理论上验证了波导层对Love波传感器灵敏度的影响。在实验上,通过MEMS工艺制备以ST-90°X石英为基底的声表面波传感器,通过磁控溅射镀膜技术在其表面生长不同厚度的SiO2波导层。利用热蒸镀技术在器件延迟线区域生长铝薄膜作为质量负载效应,利用Tetramethylammonium Hydroxide (TMAH)溶液对铝的缓慢腐蚀效果,模拟质量负载从有到无的逆过程,从而实现对声表面波传感器的灵敏度验证与评价,并从实验上探究不同厚度波导层对Love波传感器灵敏度的影响及其最佳波导层厚度。 相似文献
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经过近半年的筹备,检测声学分科学会成立大会暨学术讨论会于1986年10月6日到9日在扬州市召开.来自全国从事检测声学研究及检测声学技术应用,有关生产厂家的教授、专家及工程技术人员近60人参加了会议. 会议收到七十年代以来迅速发展的光声效应及其应用;压电换能器特性分析及性能测试方面的论文共35篇,分别在大会及分组会上进行了交流.同时相 相似文献
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本文首先以刚度矩阵法为基础, 给出了ZnO薄膜/金刚石在四种不同激励条件下的有效介电常数计算公式. 然后以此为工具, 分别计算了多晶ZnO(002) 薄膜/多晶金刚石和单晶ZnO(002) 薄膜/多晶金刚石的声表面波特性, 并根据计算结果及设计制作声表面波器件的要求, 对ZnO膜厚的选择进行了详细地分析. 最后讨论了ZnO/金刚石/Si复合晶片可以忽略Si衬底对声表面特性影响时对金刚石膜厚的要求.
关键词:
声表面波
压电多层结构
有效介电常数
刚度矩阵法 相似文献
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根据激光激发声表面波的热弹运动方程及热传导方程, 采取有限元技术对方程进行求解, 得到声表面波传播波形图. 当声表面波经过近表面缺陷时, 声表面波与近表面缺陷之间产生一种振荡效应, 通过近表面缺陷的振荡波形幅值存在一个逐渐增加后又逐渐减小的过程. 当声表面波经过不同深度的近表面缺陷时, 振荡信号中心频率存在一定的变化规律. 数值仿真结果表明: 当近表面缺陷深度从0.1 mm到0.5 mm变化时, 振荡效应产生的振荡信号中心频率从0.4 MHz到0.76 MHz变化, 振荡信号中心频率与近表面缺陷深度呈近似线性关系, 这为近表面缺陷的定量检测提供了一种理论基础. 相似文献
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中国电子学会应用声学学会,生物医学超声工程专业组,于1983年4月22日到24日,在西安召开了全国生物组织超声性质及测量技术学术交流讨论会.有来自全国各地17个单位的24名代表出席了会议.应崇福教授在会上讲了话,赵恒元教授致了开幕词.会上报告了13篇论文.此外安排了较多的时间进行深入讨论. 南京大学声学所和中国科学院声学所东海研究 相似文献
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由中国声学学会检测声学分科学会,中国岩石力学与工程学会岩石力学测试专业委员会联合组织召开的以研讨“岩土混凝土声测技术新进展”为主题的学术与信息交流会,于1990年3月26至3月28日在湘潭市召开。来自全国13个省市的铁道、交通、水电、能源、地矿、冶金、建筑、中科院、高校以及仪器生产厂家等37个单位65位代表参加了会议。 相似文献