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相似文献
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1.
激光驻波场中Cr原子运动轨迹与汇聚沉积的分析   总被引:3,自引:0,他引:3       下载免费PDF全文
利用半经典模型,从铬原子在激光驻波场中的运动方程出发,通过数值解方法模拟了铬原子在驻波场中的运动轨迹,并分析了原子的纵向速度分布和准直程度及球差对沉积条纹结构的影响,同时也讨论了基片摆放位置对沉积条纹结构的影响,并通过实验得到了纳米光栅条纹结构. 关键词: 激光驻波场 原子沉积 运动轨迹 沉积分布  相似文献   

2.
张文涛  朱保华  黄静  熊显名 《物理学报》2011,60(10):103203-103203
分析了椭圆激光驻波场的偏斜对中性原子运动过程和沉积过程的影响,对不同偏斜角度椭圆激光驻波场作用下中性铬原子沉积纳米光栅结构的特性进行了仿真研究,由仿真结果可以看出,随着偏斜椭圆形激光束偏斜角的增加,对应于不同y平面,激光驻波场汇聚中性原子所形成纳米光栅条纹的对比度不断减小、半高宽不断增大.当椭圆长短轴之比为2:1条件下,椭圆激光驻波场的偏斜角为0°时,纳米光栅的条纹半高宽为3.2 nm,条纹对比度为36:1,而当偏斜角为15°时,激光驻波场中心位置处的沉积条纹的半高宽为6.5 nm,条纹对比度为24:1,而当椭圆激光驻波场偏斜角度达到30°时,沉积条纹的单峰结构将会产生分裂,形成了双峰结构,且随着偏斜角的增加,沉积条纹的分裂越严重,纳米光栅的沉积质量越差.对于其他长短轴比例条件下的激光场亦可根据比例关系获得相应的纳米光栅沉积特性. 关键词: 原子光刻 偏斜椭圆激光驻波场 纳米光栅  相似文献   

3.
激光驻波场中钠原子沉积图样的理论研究   总被引:3,自引:0,他引:3       下载免费PDF全文
马彬  马艳  赵敏  马姗姗  王占山 《物理学报》2006,55(2):667-672
原子在近共振激光驻波场中受光的作用力汇聚沉积,形成以激光半波长为周期的光栅结构. 利用半经典模型对钠原子束在不饱和驻波场中的运动行为进行了理论研究,用数值方法模拟出在考虑横向温度、纵向速度和自由飞程后钠原子沉积的光栅结构,通过半高宽、对比度对最终沉积图样进行表征,分析了这些因素对沉积的影响,为正在开展的原子光刻实验提供了必要的理论依据. 关键词: 原子沉积 半经典模型 激光驻波场  相似文献   

4.
张文涛  朱保华  黄静  熊显名  蒋曲博 《中国物理 B》2012,21(3):33301-033301
The characteristics of neutral chromium atoms in the standing wave field are discussed.Based on a semi-classical model,the motion equation of neutral atoms in the laser standing wave field is analyzed,and the trajectories of the atoms are obtained by simulations with the different divergence angles of the atomic beam.The simulation results show that the full width at half maximum(FWHM) of the stripe is 2.75 nm and the contrast is 38.5:1 when the divergence angle equals 0 mrad,the FWHM is 24.1 nm and the contrast is 6.8:1 when the divergence angle equals 0.2 mrad and the FWHMs are 58.6 and 137.8 nm,and the contrasts are 3.3:1 and 1.6:1 when the divergence angles equal 0.5 and 1.0 mrad,respectively.  相似文献   

5.
陈献忠  姚汉民  陈旭南 《物理学报》2005,54(6):2645-2652
用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度. 用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响,结果表明靶的有效尺寸对纳米 图形线宽的影响远大于原子束的发散角和原子的纵向速度分布. 提出几种改进试验的方法. 关键词: 完全非共振激光驻波场 原子聚焦 纳米结构制作  相似文献   

6.
One-dimensional deposition of collimated Cr atomic beam focused by a near-resonant Gaussian standing-laser field with wavelength of 425.55 nm is examined from particle-optics approach by using an adaptive step size, fourth-order Runge-Kutta type algorithm. The influence of laser power on deposition of atoms in laser standing wave is discussed and the simulative result shows that the FWHM of nanometer stripe is 102 nm and contrast is 2:1 with laser power equal to 3 mW, the FWHM is 1.2 nm and contrast is 32:1 with laser power equal to 16 mW, but with laser power increase, equal to 50 mW, the nonmeter structure forms the multi-crests and exacerbates. Supported by the Science Foundation of Guangxi Education Department (Grant No. 200807MS006)  相似文献   

7.
原子光刻中驻波场与基片距离的判定方法研究   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
王建波  钱进  殷聪  石春英  雷鸣 《物理学报》2012,61(19):190601-190601
原子光刻实验中, 激光驻波场能起到原子透镜的效果, 实现原子汇聚. 激光驻波场与沉积基片间的距离对形成纳米条纹结构的质量具有重要影响. 利用高斯光束传播规律, 提出了一种能够定量判断激光驻波场与沉积基片相对位置的实验方法. 该方法通过调节装载有凸透镜和反射镜的精密位移台改变驻波场距基片的距离, 利用光电探测器接收反射光强的变化, 将位移改变量转变为接收器的电压信号. 利用驻波场激光束光斑直径值, 实现准确定位驻波场与基片的距离. 对上述实验过程进行数值模拟, 数值计算的结果和实验结果高度符合. 该方法实现了准确定位驻波场距基片的距离, 为后续深入研究驻波场和基片间距离对沉积纳米条纹结构质量的影响提供实验基础.  相似文献   

8.
中性钠原子在激光驻波场中的运动特性研究   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
张文涛  朱保华  熊显名 《物理学报》2011,60(3):33201-033201
基于半经典理论,分析了中性钠原子在激光驻波场中的受力特征,以此为基础分别对不同纵向运动速度和横向运动速度条件下中性钠原子的运动轨迹进行了仿真运算,得到了不同速度条件下中性钠原子的运动轨迹特征,基于累计算法进一步对不同速度条件下中性钠原子的沉积特性进行了仿真,当钠原子的纵向运动速度符合最可及速度(740 m/s)时,纳米沉积条纹的半高宽为2.78 nm,条纹对比度为38.5 ∶1,当纵向运动速度偏离最可及速度(350 m/s)时,纳米沉积条纹的半高宽为29.1 nm,其对比度下降为15 ∶1.而当中性钠原子 关键词: 原子光刻 激光驻波场 条纹半高宽 条纹对比度  相似文献   

9.
张文涛  朱保华  熊显名  黄静 《物理学报》2011,60(6):63202-063202
利用近共振激光驻波场操纵中性原子实现纳米光栅的沉积是一种新型的研制纳米结构方法,处于激光驻波场中的原子运动速度特性对最终纳米光栅的沉积特性有着重要的影响.利用半经典理论,基于4阶Runge-Kutta算法进行了不同铬原子纵向和横向运动速度条件下纳米光栅结构沉积的仿真研究.研究表明,铬原子纵向速度为最大概率速度960 m/s时,所形成的纳米光栅的半高宽为1.49 nm,对比度为62.1 ∶1,当铬原子的纵向速度为半最大概率速度480 m/s时,纳米光栅的半高宽为5.35 nm,对比度下降为25.6 ∶1.同 关键词: 原子光刻 纳米计量 激光驻波场 纳米光栅结构  相似文献   

10.
左手材料平板对傍轴高斯光束聚焦特性分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
在傍轴近似下,推导出了左手材料平板聚焦系统的传输矩阵,并利用ABCD定律得到了高斯光束在左手材料中和经过平板透镜聚焦后的传输公式。高斯光束在左手材料内部和像空间的传输公式的研究表明:像高斯光束和物高斯光束束腰大小一致,即左手材料平板透镜实际上对高斯光束没有聚焦作用。研究同时表明左手材料平板对高斯光束的聚焦与几何光学成像规律完全一致,而不存在一般透镜聚焦时的焦移效应。  相似文献   

11.
 采用口径场法对聚焦条件下具有高斯波束的矩形口径天线近场进行了分析,得到了聚焦条件下的近场场强分布与近场增益解析式,并对不同的聚焦位置进行了仿真。结果表明:在近场区,聚焦位置离轴向越近,其场强越强,且增益越大,聚焦位置沿轴向时其场强与增益皆为最大;反之,聚焦位置离轴向越远,其近场场强与近场增益越小。因此,通过聚焦可以显著提高天线口径面场的近场场强与增益指标,从而提高天线系统的有效作用距离。  相似文献   

12.
张文涛  朱保华  汪杰君  熊显名  黄雅琴 《物理学报》2013,62(24):243201-243201
基于半经典理论,建立了中性原子与激光驻波场相互作用的模型,分析了中性原子在激光驻波场沟道效应作用下运动轨迹及沉积特性,探讨了球差、色差和原子束发散角对沉积条纹的影响. 得到了上述三种影响因素下纳米光栅的半高宽分别为0.532,12.16,96.70 nm. 仿真结果表明,随着原子束发散角度的增加,沉积条纹的对比度将会下降,当原子束发散角分别为0.1 mard时,其对比度为85.2:1,发散角为0.3 mrad时,条纹对比度为5.33:1,而当发散角增加至0.5 mrad以上时,沉积条纹将会出现分裂现象,导致条纹的恶化. 关键词: 激光驻波场 纳米光栅 沟道效应  相似文献   

13.
周国泉  倪涌舟  储修祥 《中国物理》2007,16(11):3377-3381
Based on the vector angular spectrum representation of optical beam and the method of stationary phase, the analytical TE and TM terms of vector Gaussian beam have been presented in the far field. By using the local polarization matrix, the polarization properties of the TE and TM terms in the far field are investigated, and it is found that the degree of their polarization is only determined by the spatial location. When the source is completely polarized, the TE and TM terms are both completely polarized in the far field. When the source is completely unpolarized, the TE and TM terms in the far field are partially polarized. The whole beam is also partially polarized except on the propagating axis. Moreover, the degrees of polarization of TE and TM terms are both larger than that of the whole beam.[第一段]  相似文献   

14.
A method for the measurement of the spatial distribution of birefringence, caused by intense femtosecond laser pulses in condensed plasma, is presented for the case of a Gaussian laser beam. For that only two light intensities are to be measured on the probe beam in a polariscope.  相似文献   

15.
考虑到实际入射光强的空间分布不均匀,基于Kretschmann模型并采用角谱方法分析模拟了两束高斯光干涉诱导表面等离子激元(SPP)驻波场。与理想平面波不同,高斯光诱导的SPP干涉条纹幅值大小不等,分布复杂,这表明光强空间非均匀程度会严重地影响到曝光深度的分布。还分析了金属薄膜的厚度、损耗以及光刻胶的介电常数对SPP驻波场的影响,并得出不恰当的金属板厚和细微损耗都会极大削弱SPP驻波场,而如果光刻胶的介电常数过大则有可能产生不了表面等离子体共振的结论。  相似文献   

16.
周国泉  陈亮  储修祥 《中国物理》2007,16(9):2709-2715
Based on the vectorial structure of electromagnetic beam and the method of stationary phase, the analytical structure of Hermite Gaussian beam in far field is presented. The structural energy flux distributions are also investigated in the far field. The structural pictures of some Hermite Gaussian beams are depicted in the far field. As the structure of Hermite Gaussian beam is dominated by the transverse mode numbers and the initial transverse Gaussian half width, it is more complex than that of Gaussian beam. The ratios of the structural energy fluxes to the whole energy flux are independent of the transverse mode numbers and the initial transverse Gaussian half width. The present research reveals the internal vectorial structure of Hermite Gaussian beam from other viewpoint.\  相似文献   

17.
18.
Based on the vector angular-spectrum and the complex Gaussian expansion of the aperture function, the structure of an apertured hollow Gaussian beam in the far field is given in a integral form. In virtue of the method of stationary phase approximation, the analytical vectorial structures are derived. Starting from the analytical expressions, the propagation properties of apertured hollow Gaussian beams with different order in the far field are illustrated graphically. In addition, the influence of the truncation parameter on far field distribution is studied detailedly. This research can shed light on the further understanding of the vectorial property of an apertured hollow Gaussian beam.  相似文献   

19.
A new effect of chaotic motion of the center of mass of a cold atom in the coherent field of a standing light wave in a high-finesse Fabry-Pérot cavity is theoretically predicted and numerically implemented in the absence of any random fluctuations due to spontaneous emission. Numerical experiments demonstrate that the Hamiltonian chaos arises near resonance in the range of parameters characteristic of the strong coupling regime that was implemented in recent experiments. The effect is of interest in studying the quantum-classical correspondence and quantum chaos in atomic optics.  相似文献   

20.
徐勋卫  刘念华 《物理学报》2010,59(5):3236-3243
研究了双带型光子晶体中双V型四能级原子自发辐射的辐射谱.双V型四能级原子同时与真空热库和双带型光子晶体热库耦合.研究发现双V型四能级原子自发辐射谱中有三种不同原因可能引起的黑线:第一种是由于量子干涉效应;第二种是由于各向同性光子晶体带边处态密度具有奇异性;第三种是真空场中的量子干涉和光子晶体禁带内态密度为零共同作用的结果.通过移动光子晶体的带边位置,在各向同性光子晶体带边引入光滑因子,以及在光子晶体中引入缺陷等对这三种黑线的影响,对上述结果进行了分析和讨论. 关键词: 双带型光子晶体 双V型四能级原子 黑线  相似文献   

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