双光束直线度干涉测量装置

本文介绍在直线度测量研究中采用的一种双光束干涉装置，该装置较好地解决了激光束漂移对测量的影响，在实验室内，若忽略大气扰动的影响，精度可达0.2μm。     

用劳埃德镜干涉原理进行圆度误差测量

提出一种应用线阵CCD自动测量圆度误差的新方法。论述了系统利用劳埃德镜干涉装置，通过线阵CCD图像处理系统自动测量圆度误差的工作原理及过程设计。测量结果表明，新的测量方法实现了圆度误差的实时精确在线测量。该测量系统具有一定的实用价值及较广阔的应用前景。     

基于电子散斑干涉技术的直线度误差测量方法

将散斑干涉与CCD图像处理技术相结合,提出了一种测量空间直线度误差的新方法,该方法利用待测工件的直线度误差使毛玻璃移动微小位移,通过散斑条纹的变化求出位移变动量。由导出的直线度误差与位移的关系,对工件的直线度误差进行了测量,测量结果为7．420μm。实验结果表明,此种方法测量精确度高,具有一定的使用价值。     

大型构件尺寸微小变化的高精度激光干涉测量

本文研究了大型构件尺寸微小变化的高精度激光干涉测量方法。指出在长干涉光路中 ,空程误差是一个主要误差因素 ,同时分析了空程误差与环境状况的关系。本文研究中设计了一种真空管 ,有效地克服了空程误差的影响 ,在通常的环境条件下 ,对于大型构件的尺寸微小变化的测量 ,获得了高于 3× 10 -8的相对精度。     

激光干涉测量系统非结构性误差的分析与补偿

介绍了测量系统中双频激光干涉仪的测量原理。针对测量系统精度要求高的特点,深入分析了环境及安装因素对测量结果的影响,尤其是激光波长、镜面面形、数据延迟、反射镜安装非正交等4种干涉仪非结构性误差,研究各种误差对测量结果的影响,并给出相应的误差补偿方法。结果表明,这些补偿方法有效地消除了环境及安装误差对整个测量系统的影响。     

提高直线度测量分辨率的新方法

利用测量光线的多次反射和组合透镜的方法使测量系统的分辨率相对于用探测器直接探测分辨率提高了8倍.实验结果表明:在二维直线度测量范围为±100 μm内,测量系统与Renishaw ML10激光干涉仪比对结果的线性相关度为0.999 7,对应点的标准偏差优于0.1 μm.     

细丝直径测量的双光束干涉法

本文提出一种双光束干涉法测量细丝直径的方法,两束平行光波相向入射到细丝上,反射后形成两条虚线源,它们产生平直的条纹,条纹周期与丝径成反比,由ＣＣＤ摄取条纹图进入微机处理。给出细丝直径。文中将介绍该方法的原理和装置,给出相应的实验结果,并对其应用前景作简要的讨论。     

双光栅干涉位移传感器原理及其误差分析

双光栅干涉位移传感器拥有量程大、精度高等优点。文中详细阐述了传感器的测量原理,并对此理论原理进行ZE MAX软件仿真。与此同时,基于角谱理论推导得到干涉场中的光强分布。结果表明,激光通过双光栅后可以得到三角函数分布的干涉条纹,且双光栅相对移动一个光栅距离时条纹相应移动一个周期。最后分析了对双光栅传感器位移测量结果可能带来误差的因素,以及这些因素对测量结果的影响,文中给出了部分因素的误差表达式。     

基于双频激光干涉技术的高精度直线度基准装置

提出一种高精度直线度基准装置 ,它以激光波长作为测量基准 ,采用双频激光干涉技术和直尺反转误差分离技术 ,在一般实验室条件下实现了优于 0 1μm/m的测量不确定度。目前该装置已应用于航天质量保证体系国防校准实验室     

基于测速误差的雷达间电磁干扰判决方法

为了更好地判定雷达间电磁干扰对雷达性能的影响程度,分析了传统干扰余量判决方法的不足,在雷达受到干扰的情况下建立了雷达测速误差的计算模型,并以3种典型雷达信号为例推导了测速误差与信干比的定量关系.仿真实验结果表明:随着信干比的不断增大3种信号的测速误差逐渐降低,当信干比由0 dB增加到20 dB时,矩形脉冲信号和线性调频...     

基于条纹跟踪实现热膨胀系数的高精度自动测量

将改进的菲涅耳双镜干涉装置用于材料在273～373 K温度范围内的热膨胀系数的测量,分析了把常用的热膨胀系数测量方法用于更高精度的测量时存在的不足.新方法利用干涉条纹图像实时采集与处理系统,对由材料受热膨胀时引起的干涉条纹的移动量进行跟踪测量,并利用最小二乘法对导出的材料热膨胀量与干涉条纹移动所掠过的CCD像元个数间的线性关系进行曲线拟合,从而对材料的热膨胀系数进行计算.实验结果表明,新的测量方法是可行的,测量结果与文献推荐值吻合得很好,绝对热膨胀量可测到0.1μm,相对不确定度为1.1%.     

基于mimo系统的干扰对准技术研究

干扰对准技术是一项新兴的干扰抑制技术.在MIMO系统中,干扰对准能够显著提高系统的复用增益.本文介绍了干扰对准技术的基本原理以及波束成型矩阵的限制条件,并且讨论了干扰对准在3用户MIMO系统中的应用情况.     

一种基于QR分解的稳健干扰对齐算法

大多数干扰对齐算法都假定发送端可以获得理想的信道状态信息(CSI),由于信道估计误差、反馈延迟等原因,实际通信系统中CSI往往是有误差的。为此,该文提出一种基于QR分解的稳健干扰对齐算法。对含有误差的联合接收信号进行基于QR分解的预处理,消除一半有误差的干扰;然后在有误差的等效信道联合矩阵下,充分考虑信道误差和干扰的影响,通过最小化发送端泄漏到非目标接收端的干扰信号功率来设计预编码矩阵,并基于最小均方误差(MMSE)准则来设计干扰抑制矩阵。最后,在理想CSI和误差CSI的情况下,通过实验仿真,证明了该算法有效地提高了系统性能。     

外测数据误差的高精度估计与分离方法

航天发射场火箭外弹道数据预处理主要完成原始测量数据随机误差和系统误差的修正,是后续进行航迹融合和目标识别的基础。为解决传统最小二乘方法难以对测量数据随机误差进行高精度估计的难题,本文提出利用小波变换的多层分解与重构技术对测量数据的随机误差进行统计和消除;并针对复杂模型下测量数据系统误差难以分离的难题,采用模型辨识和回归分析理论对系统误差进行模型分析和诊断的方法。仿真和实际应用证明新算法简单适用,可有效解决传统方法难于对测元误差进行准确修正的问题,大大提高参与融合求解的测元数据质量和弹道解算精度,在靶场外测数据预处理方面具有良好的应用前景。     

基于干涉条纹的激光准直技术的检测系统

为了获得被测导轨的直线度误差信息,采用半导体激光器发出的激光,经准直扩束后照射到楔形平板上,利用楔形平板上下表面的反射作用,将这束激光分解为交角2α的交叉光束,在这两条平行激光束交叉的范围内产生干涉条纹。将此干涉光作为准直测量的基准,用线阵CCD作为光电转换器件固定在接收靶上;检测接收靶处于被测导轨任一测量点时干涉条纹在接收靶上的位置,得到了该测量点与准直光束的偏移量。进行了重复性实验以及与光电自准直仪的比对实验。在测量长度842mm时,直线度误差18.96μm,测量长度最远可达14m。结果表明,样机的性能、指标基本达到了预定目标。     

基于灰色误差理论的测量不确定度评定方法

基于灰色系统理论给出残余误差的定义,提出求解测量结果实验标准差的新方法,以此来评定测量不确定度。评定结果表明,该方法简单易行,与采用贝塞尔公式得到的结果相对误差较小,具有相当的精度和较强的实用性,尤其对测量数据较少或统计规律未知的测量过程尤为实用。     

基于Bayes估计和数据流间功率分配的联合干扰相位对齐算法

针对信道状态信息（CSI）存在时延和误差的情况,本文提出了适用于多小区MIMO-BC的基于Bayes估计和数据流间功率分配的联合干扰相位对齐算法.首先,发送端通过Bayes估计获得当前CSI的最佳估计;其次,通过最大化期望信号功率与小区间干扰功率的比值来设计干扰抑制矩阵;而在反向通信时,通过最大化信干比来设计预编码;进一步地,结合注水算法来优化功率分配.最后,采用相位对齐将数据流间的干扰旋转到目标接收数据流的信号空间中,进而增强目标数据流的接收功率.仿真表明,无论是在理想CSI还是时延误差CSI,本文算法较其他算法都有一定的性能优势.     

高精度机器视觉对准测量系统设计

设计了用于半导体先进封装光刻设备中的高精度机器视觉对准测量系统,明确了机器视觉对准测量系统工作原理、设计指标及系统设计中需要考虑的关键技术点,同时给出了机器视觉对准测量系统关键零部件的设计,并给出了对准测量系统最终在整机上测得的性能数据。测试结果表明,所设计的机器视觉对准测量系统完全可以满足集成电路先进封装工艺需求。     

激光干涉快速超精密测量残余累计误差研究

随着激光外差干涉测量速度的提高,其存在的原理性误差严重影响测量精度。通过对激光外差干涉原理上产生残余累计误差的机理进行理论分析,给出影响误差大小的因素,并进行相应的仿真验证,提出误差修正方案,应用数值分析的方法,通过获取激光外差干涉的实时速度,实现误差补偿。仿真结果表明,此方法能够有效地减小残余累计误差,当最大测量速度为1m／s、最大位移为3m时,能够消除17．7nm的残余累计误差,而且能消除其累计现象。