条宽测量及其测量因素分析

一、概述随着微电子技术突飞猛进的发展，集成度的不断提高，集成电路制造过程中条宽的测量越来越重要，它不仅对光刻质量、套准精度、腐蚀速率等起控制作用，而且近来还被广泛应用于光掩模制造中，主要是控制掩模的几何图形，以达到设计要求。MPV－CD。条宽测量仪适用于2μm以上条宽的测量，本文给出了MPV－CD。条宽测量仪的测量原理，对测量精确度、重复性做了大量实验，并对影响其测量可靠性的因素进行了一些讨论分析。二、测量原理MPV－CD。条宽测量仪系统是由磁盘驱动器、HP85监示器、显微镜、控制器等主要部分组成如图1所示：…     

数字音频电平及其测量

在模拟和数字的混合系统中，由于没有统一的标准。电平是一个很不明确的概念。下面我们将阐述有关原理，并给读一些切实可行的建议。     

接地电阻及其测量

介绍几种常见接地体的接地电阻允许值和测量它的方法,重点阐述测量接地电阻的新方法和测量中的注意事项。     

声强测量及其应用

本文简要介绍了声强的基本概念,测量方法,误差估计及其应用。声强是一个描述空间某点声能传播的物理量,已经广泛应用于噪声控制、建筑声学、电声学等领域,目前已取得了不少进展。     

群时延及其测量原理

本文从群信号基本概念出发简要地对群时延测量原理进行了分析,并对CCITT组织关于音频及高频线路群时延测量设备提出的技术规格要求综合作了介绍。     

微孔测量及其智能化

对于直径在0.5毫米以下的孔称为微孔,目前市场上还没有一种对微孔尺寸和形状进行快速而准确测量的装置。运用夫琅和费衍射原理,使平行的HeNe激光束通过-被测的微孔,在透镜的焦平面上产生一组同心的衍射光环,由光电转换器件接收,经单片机对     

激光扫描测量及其应用

本文介绍激光扫描测量原理及其系统精度的分析，并介绍该项技术在工业生产中的应用。     

GPS测量技术及其在工程测量中的应用

GPS的出现给测绘领域带来了前所未有的变革.GPS被广泛地应用于大地测量、控制测量等领域,而在工程测量领域,GPS技术同样发挥着巨大的作用,这不但使工程测量的效率大大地提升,而且使工程测量的稳定性增强,进而大大地提高工程测量的准确性与精度.为此,本文阐述了GPS测量技术的特点,以及GPS测量技术在工程测量中的应用.     

硅片的抗弯强度及其测量

研究了硅片抗弯强度，提出了一种圆片冲击定量测定硅片抗弯强度的方法，讨论了其准确度及精度并通过实验进行了偏离小挠度的校准．     

频率短期稳定度及其测量

频率的稳定度是信号的平均频率随机变化程度 ,可划分为长期稳定度和短期稳定度两种。长期稳定度是指信号的频率在一段时间内的随机变化程度。表现为各种噪声引起的频率随机起伏 ,只能按随机过程来处理。目前有时域测量和频域测量两种方法 ,这里只介绍时域测量方法。时域频率短期稳定度用啊伦方差来表示。即 :ｙ =1ｆ0∑ｍｉ=1(ｆｉ+ 1-ｆｉ) 22ｍ式中 :ｙ为频率短期稳定度 ;ｆ0 为频率源标称值 ;ｆ1+ 1,ｆ1　分别为第ｉ + 1次和第Ｉ次测量的频率值 ;ｍ为测量次数。从理论上说ｍ值越大测量准确度就越高。实际测量中ｍ常取 10 0。在 10 0次测…     

GPRS QoS 指标及其测量

1 GPRS简介 通用分组无线业务(GPRS)扩展了第二代移动系统--基于语音的GSM,使其能够收发基于分组的数据.     

图像苛刻度及其测量

苛刻度是衡量图像被压缩编码难易程度的一项可量化指标.本文首先介绍了苛刻度的来源和定义,然后介绍了苛刻度的测量和结果分析方法,并给出了一组高清素材和标清素材的苛刻度实例,最后总结了苛刻度的作用意义.     

激光功率测量及其定标

激光功率的量测是半精出测量,精出度一般超过去5％就算不的了,要超过1％则非常困难,激光功率的量测是辐射能量及功率量测的一部分,辐射能量及功率的量测已进行了许多年的研究与发展。激光功率的量测有其有利的一面,即单色性好,谱线很窄;但亦有其较难的一面,即能量出度大,比较其中在小面积上。     

蓄电池内阻测量及其应用

文章对蓄电池内阻测量法进行了探讨;分析了蓄电池内阻测量的原理和方法;提出了内阻测量与传统测量相结合的通信用铅酸蓄电池测试维护方法。     

GPRS的服务质量及其测量

(GN Nettest)　　一、GPRS简介　　通用分组无线服务 ( GPRS)系统扩展了当前世界上最流行的第二代移动系统一基于语音的 GSM的应用 ,使其能够收发基于分组的数据 ;同时保留了无线接口的基本内容 ,如时分多路复用和频率分配方案 ,以使 GPRS和 GSM能够共存于同一网络上。　　 1 .特性　　传统的 GSM拨号数据接入为用户提供了最大960 0波特的速率。GPRS能够结合多个 GSM时隙 ,在上行链路和下行链路上 ,最多可以使用八个 GSM时隙 ,提供最高 1 70 kbit/sec的带宽。此外 ,GPRS采用全新的 IP网络“一直在线”接入模式 :移动用户开…     

服务质量测量技术及其应用

文章在概述服务质量测量技术的基础上，介绍了服务质量测量技术的服务质量性能评估、网络推测、网络定位等应用，并给出了服务质量测量的一般数学模型。     

天线测量技术及其进展

随着移动通信产业的飞速发展,移动终端和基站天线的测量技术面临着新的挑战.首先概述了天线和天线测量技术的发展历程;其次,针对现代天线测量的准确、稳定和高效的要求,阐述了测量方法分类的依据,分析了各类天线测量方法的原理和特点,指出其不同的应用场景,最后对当前天线测量技术的最新进展进行了说明,为高精度测量技术研究指明方向.