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采用XeCl脉冲准分子激光器,烧蚀高阻抗单晶Si靶,在1—500 Pa的Ar气环境下沉积制备了纳米Si薄膜. x射线衍射谱测量证实,纳米Si晶粒已经形成.利用扫描电子显微镜观测了所形成纳米Si薄膜的表面形貌,结果表明,随着环境气压的增加,所形成的纳米Si晶粒的平均尺寸增大,气压为100 Pa时达到最大值20 nm,而后开始减小. 从晶粒形成动力学角度,对实验结果进行了定性分析.
关键词:
纳米Si晶粒
脉冲激光烧蚀
表面形貌 相似文献
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采用分子动力学方法和镶嵌原子势, 模拟了4000个Cu原子和13500个Cu原子(简称Cu4000和Cu13500)组成的纳米颗粒以及块体Cu的等温晶化过程. 通过对这些颗粒在晶化过程中结构和动力学行为的分析研究, 发现低温时, 不同尺寸的纳米Cu颗粒均出现多步晶化, 且晶化时间的分布曲线远比高温时范围大; 除了温度, 颗粒尺寸对晶化行为也有重要的影响, 尺寸越大, 晶化时间越长, 最终的晶化程度越高; 但是晶化时间随尺寸增大而增加的趋势不会一直持续, 发现存在一个临界尺寸rc, 小于rc时, 晶化时间随颗粒尺寸增大而增加, 大于rc时,晶化时间随尺寸增大而减小. 相似文献
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Abstract Transformation kinetics from hBN to cBN has been studied at 6 GPa with changing reaction temperature and content of catalyst mixed with hBN powder. At lower catalyst content (3–10 wt %), rate of transformation was extraordinary rapid between 1300 and 1350 C. At higher catalyst content (30–50 wt %), rate of transformation was decreased. Normal nucleation kinetics was observed at about 1500 C. The rapid transformation temperature region correlates characteristic behavior of the sintering process. 相似文献
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将黑色、黄色、棕色三种小于50 μm立方氮化硼粉末为样品,研究了其红外光谱、拉曼光谱、反射光谱,结果表明:(1)样品的红外光谱中,1 818 cm-1和1 548 cm-1属于cBN的晶格本征振动,而立方氮化硼的晶格本征振动外的晶体缺陷吸收则发生在~800 cm-1,1 580 cm-1~1 740 cm-1和大于2 400 cm-1处。(2)拉曼光谱测试表明,在1 052 cm-1和1 304 cm-1附近出现的散射与cBN不具有反演中心及cBN具有立方结构这样的事实相一致,并且这种散射伴随着布里渊区中心声子的横向和纵向发射。144 cm-1附近出现的散射,被认为是由于局部振荡模式的出现,在反斯托克斯区造成的信号,这与晶格中杂质缺陷有关。(3)依据得到的反射光谱,计算了cBN单晶禁带宽度,发现这三种cBN都具有大于金刚石的禁带宽度值,分别为:Eg(黑)=6.21 eV,Eg(黄)=5.73 eV,Eg(棕)=5.71 eV。 相似文献
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