半导体芯片化学机械抛光过程中材料去除机理研究进展

就国内外关于集成电路芯片化学机械抛光(CMP)材料去除机理研究的现状和进展进行了评述，总结了集成电路芯片常用介电材料二氧化硅以及导电互连材料钨、铝及铜的化学机械抛光研究现状和进展，进而分析了化学机械抛光过程中化学作用同机械作用的协同效应，指出关于芯片化学机械抛光的材料去除机理尚存在争议，因此有必要在CMP研究领域引入原子力显微镜和电化学显微镜等先进分析测试设备和相关技术，以便在深入揭示CMP过程中材料去除机理的基础上，为更好地控制CMP过程和提高CMP效率提供科学依据．     

虚拟测试的理论体系与系统技术研究

从工程背景的一般性测试问题出发,提出虚拟测试的概念,将虚拟现实与测试技术结合在一起,形成虚拟测试研究领域。指出虚拟测试研究的理论、技术和应用背景在于虚拟现实和可视化与一般测试问题的结合。界定其研究内容和技术特征,并阐明其研究方法和实验系统。对于虚拟现实环境下的测试系统、测试对象和测试信息智能模型的建立与合成方法的研究,以及虚拟现实的其它相关应用领域具有推广意义。     

双轴速率位置台全数字化控制系统实现

讨论了一种适用于双轴测试转台的全数字化控制系统结构。该系统采用了多单片机并行实现的主从分布式控制方法，不仅大大简化了系统硬件设计，提高了可靠性；而且其控制器完全由软件来实现，易于实现模拟电路难以实现的复杂的控制规律；同时也为在不改变硬件的前提下进一步扩展系统功能，改善系统的动、静特性提供了基础。实验表明，文中提出的全数字化控制系统结构完全能满足双轴测试转台的控制需要。     

电容式微加速度计专用集成电路温度特性

温度是影响微加速度计性能的一个重要的因素。本文在分析微加速度计系统的基础上,设计并实现了电容式微加速度计专用集成电路,通过软件仿真和实际的温度试验,研究了专用集成电路的温度特性,给出了仿真和实测结果,并进行了相应的对比和分析。实测结果表明:在?40~120℃温度范围内,专用集成电路芯片输出随温度的输出变化为68.75μV/℃,即6.875×10-5。     

舰用动爆冲击波记录系统的设计与应用

利用抗恶劣环境的存储测试技术,以单片机和CPLD为主控芯片,设计了一种舰用动爆冲击波记录系统。系统具备内、外触发功能,采用光纤传输触发信号,提高触发电路的抗干扰能力,确保系统具有同一时间基准和可靠触发。通过激波管校准实验和舰船实验,系统成功记录了冲击波信号,证明了该系统具有良好的实用性和可靠性。     

PIGA自动化实时测试系统的设计与实现

本文介绍一种针对摆式积分陀螺加速度计（ＰＩＧＡ）的输出与回路状态变量进行实时测试的自动化测试系统。根据对测试系统的测试要求和多路待测试的信号特点，设计了一套集外中断计时、ＧＰ—ＩＢ总线接口、实时数据与图象动态显示、完美的用户界面于一体的测试软、硬件，并对采样数据的处理进行了研究，该实时测试系统在工程实际应用中精度较高，取得了较为满意的效果     

光纤陀螺可视化测试系统设计与实现

叙述了光纤陀螺可视化测试系统的设计方案和实现功能。该系统通过VC＋＋6．0中方便简洁的串口通信控件MSComm来实现光纤陀螺的数据采集，并使用技巧的数据存储方法，存储后的数据通过MATLAB7．0开发的数据处理程序进行处理，所有操作均采用模块化设计和可视化方法，方便和简化了复杂的测试过程。实验结果表明整个测试系统具有准确性、方便性等优点。     

基于虚拟仪器技术的加速度计集成自动测试系统

本介绍了一套基于虚拟仪器技术的加速度计集成自动测试系统。该系统采用NI公司的LabVIEW开发平台，实现了加速度计的静态性能、动态性能及灵敏度性能的自动测试，完成数据采集、测试的控制与实时显示、教据存储与分析处理以及所生成报表的浏览与打印等功能，提高了测试的精度和效率，为加速度计的性能分析与进一步改进提供基础。     

某型飞机双卫星定位校正系统精度测试

针对某型飞机双卫星定位校正系统的精度指标评定问题，讨论了精度指标的评定方法，研制了机载导航精度测试系统，并进行了试飞数据的采集和分析处理。结果表明，研制的机载导航精度测试系统是有效的，提出的CEP误差计算方法是可行的。     

六通换向阀的性能测试系统设计及实验研究

六通换向阀是一种重要的流动换向设备，用整体设计的六通换向阀替代传统的多阀控制系统，完成在主、备用动力设备间的转换．有效提高了整个系统的安全性。针对六通换向阀的特性，设计建造了六通换向阀性能测试系统，着重介绍了该测试系统的结构组成、测试方法、及主要功能。在此基础上，选择32#汽轮机油为工作介质，对80JH-33和40JH-33两种口径的六通换向阀进行了各种工况下的阻力特性实验及稳定性和可靠性实验。实验研究表明，该测试系统设计合理、功能完善、测试准确可靠．可以模拟六通换向阀实际应用的各种工作状况。还可拓展用于其它类似设备的流动性能测试与实验研究。     

Preface

This special issue of PARTICUOLOGY is devoted to the first UK-China Particle Technology Forum taking place in Leeds, UK, on 1-3 April 2007. The forum was initiated by a number of UK and Chinese leading academics and organised by the University of Leeds in collaboration with Chinese Society of Particuology, Particle Technology Subject Group （PTSG） of the Institution of Chemical Engineers （IChemE）, Particle Characterisation Interest Group （PCIG） of the Royal Society of Chemistry （RSC） and International Fine Particle Research Institute （IFPRI）. The forum was supported financially by the Engineering and Physics Sciences Research Council （EPSRC） of United Kingdom,     

The 7th International Conference on Fluid Mechanics May 24-27,2015,Qingdao,China

正http://www.icfm7.org First Announcement and Call for PapersThe objective of International Conference on Fluid Mechanics(ICFM)is to provide a forum for researchers to exchange new ideas and recent advances in the fields of theoretical,experimental,computational Fluid Mechanics as well as interdisciplinary subjects.It was successfully convened by the Chinese Society of Theoretical and Applied Mechanics(CSTAM)in Beijing(1987,     

INFORMATION FOR CONTRIBUTORS

Contributions： The Journal, Acta Mechanica Solida Sinica, is pleased to receive papers from engineers and scientists working in various aspects of solid mechanics. All contributions are subject to critical review prior to acceptance and publication.     

Guide for authors

正Each of the sections below provides essential information for authors.We recommend that you take the time to read them before submitting a contribution to Acta Mechanica Sinica.We hope our guide to authors may help you navigate to the appropriate section.How to prepare a submission This document provides an outline of the editorial process involved in publishing a scientific paper in Acta Mechanica Sinica.     

基于鲁棒滤波的捷联导引头视线角速度估计方法

针对捷联导引头无法直接获取视线角速度等信息的问题,研究了鲁棒滤波在大气层外飞行器捷联导引头视线角速度估计中的应用。为了建立非线性滤波估计模型,考虑目标视线角速度的慢变特性,采用一阶马尔科夫模型建立了状态方程;推导了视线角速度的解耦模型,并建立了量测方程;考虑到实际应用中存在系统噪声统计特性失准的问题,基于Huber-Based鲁棒滤波方法,设计了视线角速度滤波器,并完成了基于Huber-Based滤波方法和扩展卡尔曼滤波方法的数学仿真。仿真结果表明Huber-Based滤波方法的视线角、视线角速度及视线角加速度估计精度分别达到0.1140'、0.1423'/s、0.0203'/s2,而扩展卡尔曼滤波方法的视线角、视线角速度及视线角加速度估计精度仅分别为0.6577'、0.6415'/s、0.0979'/s~2。仿真结果证明了该方法可以有效地估计出相对视线角速度等信息,并且在非高斯噪声的条件下,依然可获得较高的估计精度,具有一定的鲁棒性。     

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