微机械（MEMS）与微细加工技术

首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述，在此基础上，着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平。指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主，并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势。     

微机械及微细加工方法的研究

基于光固化快速成型制造技术,结合光刻技术、牺牲层技术以及化学镀膜技术,研究了一种新型的微细加工方法,提出了非导电极板（光敏树脂固化物）镀膜的新方案,设计了一种有较大驱动位移的微型电容式激励器,并介绍了其加工制作的工艺流程。实验结果表明此微细加工方法是可行的,从而开辟了微细加工的新途径。     

微机械(MEMS)与微细加工技术

首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述,在此基础上,着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平.指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主,并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势.     

远程控制快速成型加工技术研究

以快速成型制造基本工作过程为基础，构选了远程控制快速成型加工的3种通信模型，并通过分析与选择，确定了以SLI文件的远程输入控制的基本模式，基于Winsock网络软件实现了TCP／IP单地址的点对点通信，利用客户机／服务器模式开发相应软件，完成了控制与加工数据的发送和接送，实现了在Internet上快速成型机的远程控制和制造。     

基于快速成型技术的电火花加工用石墨电极研磨技术

介绍了一种制造电火花加工用石墨电极的新工艺,这种技术采用高频微振动原理,直接用快速成型制成的母型翻制成形研具,然后利用这种研具,在没有任何刀具或夹具的情况下,加工出形状复杂的石墨电极,目前,已采用一种自行开发的价格低廉、性能可靠的树脂水泥材料浇铸成了研具,并用它制成了石墨电极,用来电火花加工拖拉机曲柄连杆的锻模。     

激光微细加工

如果进入微观世界，能够捕获一个或多个单原子，然后让它们重新排列组合，那么就会导致物质本身发生某些变化，而这些变化将会对未来许多领域及人类生活产生巨大影响。例如，我们把组成水分子的氢和氧分开，两者就都可以燃烧。小的分子，只有足球体积的几亿分之一，用机械方法，几乎是不可能捉住它，分子又是由原子组成的，操纵一个原子，就更难了，而光可以做到这一点。一束极细的激光，产生光子流，其动量转移给物体，形成光压，再通过适当的光场分布，可以把那种极小的原子俘获在一定的位置，并可方便地移动它。实际上这就实现了对原子的…     

微机械及其制造加工技术

介绍了微机械的概念及其特点，着重介绍了目前微机械的加工技术。     

快速成型加工方法中的误差研究

首先研究了国内外快速成型技术的现状和发展趋势,其次采用理论分析和试验的方法,研究了激光烧结参数对加工精度的影响,通过对试验数据的分析研究,探讨了烧结制件中出现的几种缺陷的形成原因,得出了一些影响烧结制件精度的规律,并提出了减少烧结缺陷的措施和方法,这对激光烧结成型工艺的应用有一定的指导意义。     

微细加工技术发展研究

微细加工技术发展研究ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＭｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ谢常青，陈梦真（中国科学院微电子中心，北京１０００１０）微细加工技术是集成电路（ＩＣ）工业的基础，是半导体器件研究的必要手段。其中的ＩＣ以动态随机存储器（ＤＲ...     

基于快速成型技术的陶瓷零件加工制造研究

快速成型制造技术是制造领域的一大突破,本文阐述了快速成型制造技术的原理和其在陶瓷制件上的应用进展,并简要介绍了快速成型软件的目前现状。     

微型三角件的微塑性成形技术研究

为研究微型零件的微塑性成形工艺,设计加工微型模具,借助扫描电镜对成形件的表面形貌进行观察和分析,用照片放大的方法测量成形件尺寸,分析成形应力、摩擦等对成形的影响。结果表明增大成形应力有利于提高微塑性成形性能,成形件几何尺寸精度依赖于模具的尺寸精度,采用塑性成形工艺可以成形出微型零件。     

光固化快速成形中柱形支撑生成算法的研究

提出了光固化快速成形中一种新的工艺支撑形式——柱形支撑及其自动生成算法．其算法思想为：在零件的包容立方体内确定支撑生成点的布点规则以后,对于零件的每个三角面片,求出与其相关布点射线的交点,再由这些交点在三维空间内直接生成柱形支撑的中心线段,而后生成STL格式的柱形支撑实体．该算法生成柱形支撑的速度快,可实现实时模拟,快速观察生成效果,已成功应用于光固化快速成形系统中．     

快速原型制造技术及应用

介绍了快速原型制造的工作原理及制造技术，着重介绍了ＳＬＡ，３ＤＰｒｉｎｔｉｎｇ，ＳＬＳ和ＬＯＭ４种系统原型的制造技术，并对目前快速原型制造技术中存在的问题及今后的发展趋势进行了论述．     

快速成型中零件水平下表面支撑设计规则的研究

利用可仿真成型过程中层间力学行为的有限元计算模型，对零件分层后截面形状与收缩变形趋势间的关系及支撑间距与层片最大变形量间的关系进行了研究．研究表明，零件层片边界为翘曲变形的最大处，支撑间距与层片最大变形量间近似呈线性关系，因此零件水平下表面应沿边界设计成墙式支撑，边界区域内应设计成十字交叉支撑．针对XJ-01树脂，当支撑间距设计为10mm时，光固化快速成型制作可以满足成型精度的要求．     

快速成形技术的研究现状及发展趋势

成形材料的开发应用,可提升成形质量、拓宽原型应用的领域、开发新的成形工艺.软件是快速成形技术的灵魂,第三方软件介入是当前快速成形技术软件开发的一个明显趋势.基于快速成形思想的各种新的工艺方法、研究与工艺装备开发,以及桌面化设备和功能原型成形设备的开发,是新的快速成形设备研制的两大趋势.     

光固化快速成型中零件制作方向的多目标优化问题研究

阐述了快速成型中与制作方向相关的质量与经济性问题,对制作方向的优化目标进行了定义,并依据该目标建立了制作方向多目标优化模型,针对悬臂变形,台阶效应,过固化及制作时间,分别构造了子目标函数,利用评价函数法,把制作方向优化的多个目标函数化为一个数值目标的评价函数,并给出了优化模型的约束函数,最后,以该优化模型作为计算的理论依据,进行了应用实例的方向优化,计算结果表明：该模型准确地表达了快速成型中的制作方向优化问题,理论正确,方法可行。     

面曝光快速成形系统升降工作台运动精度研究

介绍了面曝光快速成形实验系统的基本原理,构建了由运动控制卡、驱动器、精密滚珠丝杠、直线导轨等组成的升降工作台,并对其运动精度进行了测试和评定.工作台向下进给时,定位精度为10.9μm,单向重复定位精度为10.8μm;工作台向上进给时,定位精度和单向重复定位精度都为7.6μm.测试结果表明,该系统能够满足制作小尺寸零件的精度要求.     

快速成型中的支撑结构设计策略研究

从光固化法快速成型制造中支撑结构的作用及设计时应考虑的因素出发，以快速成型的成型精度为设计目标，以实验优化经验为修正，进行了支撑规则研究。面向ＳＴＬ模型，进行了待支撑区域的分类及分类技术研究；针对不同待支撑区域，提出了十字支撑类、带垂直板的单墙支撑类、斜板支撑类、轮廓支撑类、自由单墙支撑类等结构设计策略。研究结果有助于智能地完成支撑结构设计，可有效地保证快速成形的质量。     

光固化向量扫描过程中的能量控制

为消除光固化扫描过程中向量两端点加速和减速区域的过固化,在对振镜扫描系统加速和减速阶段的扫描特性进行研究的基础上,提出了匀速扫描固化。通过实验测定和数据拟合的方法,建立了5种典型扫描速度下加速和减速阶段的位移时间函数关系以及速度时间函数关系。计算结果表明:不同扫描速度下加速和减速时间相同,加速和减速距离与扫描速度成正比。给出了不同扫描速度下匀速扫描的时间范围、空间区域以及向量端点外延距离的计算公式,并用控制软件实现了匀速扫描固化。     

快速原型制造系统中切片数据拟合算法的研究

针对快速原型制造系统中广泛采用的立体光造型 (STL)标准本身的近似性给切片后所带来的固有误差 ,通过分析、比较常用的几种离散点序列拟合方法 ,结合快速成型系统的特殊性 ,提出了一种切实可行的拟合方案及其实现原理 ,并已成功地应用于系统中