高频腔超高真空的获得

高频腔超高真空的获得蒋道满，许炳，管长应，冯兰林，安宜宾（中国科学技术大学国家同步辐射实验室）８００ＭｅＶ电子储存环高频系统是在储存环注人电子束过程，俘获电子束，提高束流能量，确保束流有８ｈ以上的储存寿命，其中高频腔是重要部件之一。高频腔由腔体，输人...     

浅议旋转轴唇形密封圈的安装设计

旋转轴唇形密封圈作为一种橡胶密封制品,已广泛应用于工程机械中。本文结合密封圈的密封机理,从旋转轴唇形密封圈的结构及特点、安装工具、安装注意事项等方面进行了设计,同时对密封圈配合轴与孔口的配合尺寸进行了简要的说明,保证了其安装的质量,也提高了密封圈的密封性能和使用寿命。     

大型超高真空排气台的研制

大型超高真空排气台是我所1989年科研成果,是专门为外形尺寸较大的微波管排气而研制的工艺设备。文章着重介绍该排气台的设计思想和结构特点。     

O形密封圈的失效原因及防止措施

密封性是液压系统正常工作的基本要求,液压传动已经成为工程机械的主要传动形式。工程机械的应用过程中,液压系统的泄露,是机械效率下降的主要原因之一。O形密封圈在液压系统中的使用较为广泛,分析其失效原因,并探讨工程机械在使用过程中的防止措施,对工程机械的运用和保养具有积极的作用。     

多功能超高真空高频除气系统的研制

通过介绍一台超高真空高频加热系统的研制过程,探讨了该类系统在设计制造中的难点和解决方案。     

真空紫外光学的科学进展与改进

1.引言同步辐射的出现对光学元件的发展起到极大的推动作用,尤其在真空紫外波段元件的性能越来越好。但是可用的元件仅有:反射镜、滤光片、波带片、光栅、多层膜。同时人们已经注意到科学进步和仪器改进之间的密切关系,对物质在VUV波段光学特性的理解开创了探索光学仪器性能的可能性,例如,在     

超高真空快速关闭阀控制器的改进

本文介绍了超高真空快速关闭阀是国家同步辐射实验室光束线真空联锁保护和控制系统的关键部件。快速关闭控制器则要求反应速度快、瞬时功率大、抗干扰能力强。本文介绍快速关闭阀控制器的设计与解析，对传统的快速关闭阀控制器有创新的改进措施。     

在超高真空中应用的片子传输机械手

在超高真空中应用的片子传输机械手ＭａｓａｆｕｍｉＫａｎｅｔｏｍｅ等著一目译一种新的极坐标式机械手，是为了在超高真空环境中进行薄膜生长而开发的。它采用可在真空中工作的无摩擦力的簧片结构，由置于真空环境之外的电机进行电磁驱动。真空环境下的所有运动部件仅有...     

真空烧结在电子组装中的应用技术

针对功率混合集成电路中传统电子功率元件组装技术存在的主要问题,介绍了新的组装工艺设备,阐述了功率芯片真空烧结关键工艺参数及组装中的工装要求,列举了典型工装夹具实例,同时对ZSH-型真空烧结炉设备的组成、功能及特性进行了详细介绍.     

真空灭弧室的设计

真空灭弧室是真空开关的最重要的部件，被誉为真空开关的心脏，因此，真空灭板室的设计至为重要，本文介绍真空灭板室的最新设计，其中包括真空灭弧室的基本要求，触头材料及几何形状，波纹管，屏蔽，真空壳体的设计以及真空灭弧室的总体设计等。真空灭板室用于真空断路器，真空接触器以及真空负荷开关等，它对整机的机电性能影响很大，因此，精心设计和制造性能优异的真空灭弧室以满足各种使用场合不同用户要求，这是摆在设计和制造     

消除电子诱导离子脱附误差的超高真空压强测量（四）

第七章分压强真空计当用质谱计分析超高真空内的残余气体肘,在质谱计中也常出现由于 EID 产生的假峰。不过,这种假峰可以用对质谱计离子流调制的方法加以消除。在这一章中,将讨论MIC 规系统用于离子源的设计原理和质谱计结构。     

具有永磁机构和电气控制回路的真空断路器

真空断路器在性能、可靠性、安全性上都已达到了较高的水准，这主要是由于电流在真空中开断时具有很多优点。然而，已在无油开关中使用的机械机构却很难获得改进。随着永磁限位、电磁控制运动的机构的引入，第二代高可靠、长寿命的真空断路嚣诞生了。它的操作由一个电气装置完成，可以完成联锁、传送信号、解锁和自我诊断的功能。由于它是靠电气控制，而且要有电源供给，这就使它与传统的断路器的使用方法有一些不同。这种断路器的操作寿命可以达到l00000次。     

PCB真空框架的设计

本文简介了真空框架的结构，为满足金属芯印制板生产而设计的真空框架的原理，关键工艺和材料等。     

真空灭弧室压力变化及真空寿命的判定

真空灭弧室是以真空作为绝缘和灭弧介质的。内部气体压力对灭弧室的性能起着决定性的作用，本文分析引起内部气体压力上升的气体源，简述了真空寿命的计算判定方法。     

用于铬原子光刻的超高真空原子源的研制

原子光刻技术中,良好原子源的产生是最为基础的条件.针对实验中对原子束的具体要求,设计了一套超高真空原子源产生装置,主要参数为:系统工作真空度优于 5.0×10-5Pa,铬原子源温度为1650℃,铬原子最可几速率为960m/s,原子炉口所喷射出的铬原子数为N=1.5×1017s-1.     

真空发生器的简易设计及应用

为了使专门从事电子专用设备和专用装置研究、生产的技术人员对真空的设备的设计更趋于合理化,本文介绍一种空气引射式真空发生器,以及该发生器的工作机理、特点和设计要点。     

大容量真空灭弧室的设计

结合一个具有典型参数的真空灭弧室,介绍了大容量的真空灭弧室的设计思路.     

CMP中真空供应系统的设计

针对CMP在低生产量及实验室条件下对真空供应系统的特别要求：（1）持续稳定的真空供应;（2）能够及时处理倒流液体;（3）真空电机不易长时间连续工作的要求,从气动性、硬件电路和软件流程图进行全面设计：增加独立的真空槽体和排液槽体,在正常运行情况下二者串联增加真空供应容积,并且自主收集倒流废液,而排液中依然可保证真空稳定供...