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本文报道了在同一直流电弧等离子体射流CVD装置上,采用不同的沉积条件高速合成金刚石,类金刚石,高取向热解石墨以及无定形碳等四种碳膜。经X射线衍射(XRD),拉曼散射谱(Raman),扫描电镜(SEM)形貌分析以及显微硬度测试表明,该方法制得的金刚石膜和高取向热解石墨膜具有很高的纯度和良好的晶性,类金刚石具有独特的形貌和Raman散射特征以及可与金刚石膜比拟的硬度。 相似文献
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给出了寂静放电产生的非平衡态氧等离子体特性的实验研究结果,并对空气中及氧气中合成臭氧的特性进行了研究,得到了在纯氧放电时臭氧质量浓度C= 18.9m g ·L- 1、臭氧产率Q=1800m g ·h- 1、臭氧单能产率η= 70g ·(kW ·h)- 1 的实验结果,同时对影响C、Q的因素也进行了研究。最后,就臭氧对造纸黑液的脱色、降粘及脱木素的作用进行了实验探讨 相似文献
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单体流量是影响等离子体聚合沉积过程的重要宏观参数之一。本文应用发射光谱方法研究了苯乙烯单体流量变化时,CH,C4H^+2粒子发射强度的变化情况,用红外吸收光谱法分析了等离子体聚苯乙烯膜的本体结构,并测量了相应放电条件下膜的沉积速率。 相似文献
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金刚石膜合成条件下的鞘层与等离子体参数分布 总被引:1,自引:0,他引:1
本文报导了在用热阴极直流放电等离子体化学气相沉积(通常也称EACVD.即电子辅助化学气相沉积)方法合成金刚石的条件下的等离子体密度、电子温度、等离子体空间电位分布及基片附近等离子体鞘结构,并讨论其对成膜的影响. 相似文献