共查询到20条相似文献,搜索用时 15 毫秒
1.
2.
3.
4.
5.
6.
本文回顾了气敏传感器的发展史,针对限制气敏传感器发展的诸因素,提出了解决问题的思路;指出了集成化的关键在于敏感膜的设计和制备,最后讨论了几种有前途的集成气敏传感器单元。 相似文献
7.
8.
9.
10.
11.
12.
13.
通过QM-Y2型旁热式乙醇氧化传感器的工作寿命试验和试验数据的处理,获得了该型传感器的寿命分布和分布参数以及可靠性水平,为评价和提高该气敏传感器的可靠性水平提供了依据。 相似文献
14.
15.
在气体成份分析技术中已应用了以压电石英微量称量法为基础的测量装置。石英谐振器的频率与其质量变化的关系是这种方法的基础。利用淀积于谐振器表面的薄膜对气体吸收的过程,从而实现了使气体成份浓度的测量转变为测量质量的变化。气体分析器的灵敏度和精确度都很高。对某些气体的临阈灵敏度可达10~(-7)克。线性动态范围约为3个数量级,弛豫时间亦小,为零点几秒。 相似文献
16.
17.
18.
本文以一种新型有机半导体材料——三明治型稀土金属元素镨双酞菁配合物(Pr 2) 为气敏材料,利用Langmuir-Blodgett(LB)超薄膜技术,将Pr 2以1:3的配比与十八烷醇(OA)的混合LB多层膜(Pr 2/OA)拉制在自行设计的场效应晶体管上,形成了一种新型的以LB膜取代通常的MOSFET中栅金属的化学场效应管器件.将该器件放入NO2气体中,随着气体浓度和LB膜层数的变化,器件的漏电流IDS将产生0.05×10-6A~1.5×10-6A的变化,探测灵敏度可达到5ppmNO2,这种气敏传感器的气敏特性受到FET的电流放大作用和LB膜有序性的影响. 相似文献
19.
基于单壁碳纳米管(SWCNT)的场效应气体传感器由于具有传感性能好、体积小、室温操作和加偏压自我解吸附等优良性能,有着广泛的应用前景。利用单壁碳纳米管自组装技术在SiO2/Si基底上制备均匀分布的SWCNT薄膜,将其作为沟道制作了具有灵敏开关特性的场效应晶体管(FET),该FET器件的开关比达到105。将此FET器件作为气体传感芯片用于甲基膦酸二甲酯(DMMP)气体分子的检测。结果显示,当通入DMMP气体时,器件的阈值电压向负栅电压方向移动。当DMMP体积分数为5×10-6,栅压为-10 V时,器件的灵敏度达到32%,响应时间为300 s。在15 V的栅压下器件能够很快地实现气体解吸附。 相似文献
20.