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《光学学报》2010,30(5)
提出了一种利用微机电系统(MEMS)制造工艺技术制备的硅基微型红外光源。该光源使用绝缘体上硅(SOI)晶片作为基底材料,其上沉积多晶硅材料并通过离子注入工艺实现材料的电阻加热发光特性,SOI晶片上的单晶硅层通过重掺杂实现辐射光背向吸收自加热效应。利用SOI晶片中的掩埋二氧化硅层为刻蚀停止层,通过背面深反应离子刻蚀(DRIE)技术制备微米量级的薄膜发光层结构。光源表面工作温度和辐射光谱分别通过红外热像仪和光谱辐射计测量得到。实验结果表明,该光源在表面温度约700 K时,1.3~14.5μm波长内的能量转换效率约为5.58%,光源的调制频率在50%的调制深度下接近40 Hz。 相似文献
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针对红外气体传感器对光源的要求,选用了一种宽波长、高调制频率、低功耗的小体积微机电系统(micro-electro-mechanic system, MEMS)红外光源作为辐射源,其各项性能均能很好的满足红外传感系统对于光源的要求。由于其面光源的朗伯辐射特性,整形之后的红外光数值孔径仍然很大,采用传统的长光程气室结构很难实现长光程从而提高系统的检测灵敏度。本文结合双波长单光路的差分检测方法,设计了一种基于积分球特性的吸收气室,有效地解决了MEMS红外光源在高灵敏度气体检测应用中难于实现长光程的问题;并运用光在传输过程中光通量守恒的原理,推导了此积分球吸收气室的等效光程,解决了积分球气室等效光程计算的难题;同时采用FPGA主控芯片对MEMS红外光源进行高频调制并处理探测器的输出信号,使得外围电路的设计更加简单、灵活。设计中,使用直径为5 cm的积分球吸收气室便可实现166.7 cm的等效光程,研究结果显示系统可测得的最小甲烷浓度达0.001×10-6,极大地提高了红外检测系统的灵敏度。 相似文献
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微机电系统红外脉冲光源调制特性的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
针对微机电系统热激发红外光源的动态特性,采用一种新的计算方法。即通过建立光源在不同初始温度下升温与加电时间、功率之间的关系,定量估算不同脉冲频率下辐射功率的调制深度。该方法可以计算调制深度大情况下的动态特性。就其中两个重要影响因素加电方式和发射率分别进行讨论,得到:饱和功率相同的前提下,采用恒压源供电方式相比恒流源供电和恒定功率供电响应时间更小,从而更有利于改善光源的动态调制特性;相同条件下,选择高发射率的光源材料也有利于缩短上升时间。结合计算结果,对一个微型铂金薄膜红外光源的频响特性进行了验证测试,测试结果与计算分析符合较好。 相似文献
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提出了自适应脉冲微扰控制混沌系统的方法.在参量脉冲微扰中引入自适应控制策略,设计出可以产生合适的脉冲强度的自适应控制器来实现混沌控制.采取这种方法对混沌的Rssle r连续系统和Hnon离散映射实施仿真控制,能够将系统稳定到不同的周期轨道或不动点上 ;并且,数值仿真结果还表明该控制方法具有较强的鲁棒性.
关键词:
自适应
脉冲微扰
混沌控制
鲁棒性 相似文献
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This paper presents a non-scanning Fourier transform spectrometer based on a micro-electronic mechanical system micro-mirrors and a single detector. The fundamental principle and key parameters of this Fourier transform spectrometer were analyzed in detail. Theoretical analysis showed that, when the dip angle of the slantwise mirror is 0.38713°, the resolution of the system is 9.7 nm (at 1350 nm). Experiments demonstrated that, the spectra resolution is less than 10 nm, the wavelength deviation is ~1.5 nm, the signal-to-noise ratio is higher than 30 dB and the intensity deviation at peak wavelength is less than 0.4%. 相似文献
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非单色光谱仪杂散光分析和测量 总被引:1,自引:0,他引:1
论述紫外-可见光谱仪杂散光产生的原因,并作了定量分析。简要介绍目前国内外测量光谱仪杂散光的方法。提出了一种测量非单色光谱议杂散光的新方法——光学玻璃截止滤光片法。 相似文献
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等离子体原子荧光光谱仪激发光源空心阴极灯脉冲发生和信号处理控制系统的研制和评估 总被引:2,自引:0,他引:2
本文用带386处理器的微型计算机,通过自行研制的接口,在BairdPlasmaAFS-2000原子荧光光谱仪上实现了荧光激发光源空心阴极灯供电脉冲发生和信号处理的控制。典型元素的检测限、相对标准偏差和线性相关系数表明,系统性能良好。新系统增强了仪器的功能。 相似文献
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脉冲红外法测定难熔金属钛中氧含量 总被引:1,自引:0,他引:1
采用脉冲红外定氧仪测定了难熔金属钛及其合金中氧含量,并对影响测定结果的诸多因素,例如助熔剂的选择和比例、分析功率的确定、坩埚的选择、试样量的选择和空白值的设定进行了实验和讨论,对分析的准确度和稳定性进行了考察,取得了满意的结果。 相似文献
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可见近红外波段无人机载成像光谱仪设计 总被引:1,自引:0,他引:1
为了满足地物成像光谱分析的需要,设计了同轴安装、体积小、重量轻的适用于无人机载的棱镜-光栅-棱镜型可见近红外成像光谱仪.通过角放大率选择、光焦度分配、相对孔径计算设计了视场较大的前置物镜;通过光栅方程求解、体相位全息光栅布拉格条件约束、棱镜折射定律设计了光谱系统的初始结构;通过工作光谱上下限出射角与探测器光谱维宽度的关系确定了成像物镜的焦距;通过出射光角度明确了出射光谱的非线性.设计的无人机载成像光谱仪工作光谱范围为400~1 000nm,视场角为40°,全工作波段在空间截止频率20.8lp/mm处的传递函数值均大于0.67,光谱分辨率小于3nm.装调了无人机载成像光谱仪对室外绿化树木进行光谱推扫成像实验,实现了树叶的多光谱成像.该成像光谱仪能够有效实现光谱成像,性能良好. 相似文献
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作为一个微弱光信号探测系统,拉曼光谱仪中的杂散光分析可以为其设计提供较大帮助。针对微型拉曼光谱仪系统,结合光学设计和三维建模优化了其光机结构,系统分辨率为0.7 nm,体积为110 mm×95 mm,属便携式微型拉曼光谱仪,并基于杂散光分析软件TracePro对系统进行了光线追迹和仿真分析。首先通过优化孔径光阑初步抑制了入射处带来的杂散光,然后针对系统内部的主要杂散光(光栅零级衍射光)抑制装置即光学陷阱进行了详细分析和设计改进,改进后的光学陷阱较改进前更有效地利用了光谱仪内部空间,且分析结果表明改进后的光学陷阱将杂散光线数量减少了50%,杂散光归一化辐照度强度从10-5降低至10-7,在微型化的同时可有效抑制微型拉曼光谱仪系统中的杂散光,将更加有利于微弱信号的探测,为微型拉曼光谱仪的设计和装调提供了参考。 相似文献