新型高倍显微镜云纹测量技术及其应用

本文介绍了两种新型的高倍显微镜云纹测量技术，即激光扫描共聚焦显微镜（LSCM）云纹法和扫描电子显微镜（SEM）云纹法。阐述了LSCM云纹和SEM云纹的形成及测量原理，同时对此两种云纹法加以对比，比较其各自的特点。此外，还对两种云纹法的应用进行探讨，针对测量物体表面变形和表征物体表面周期性结构特征这两类应用领域，分别以测量多晶铝合金板的残余变形和识别日本纹白蝶翅膀表面结构为例介绍LSCM云纹法的应用，以识别绿带翠凤蝶翅膀表面结构为例介绍了SEM云纹法的应用。实验结果证明了LSCM云纹法和SEM云纹法的可行性、灵活性及高灵敏度特性，均为高效、无损的全场测量技术，在微纳米尺度力学特性测量和表征方面有广泛的应用前景。     

高分辨率电镜微米云纹法及其应用

文中就云纹干涉法,电子束云纹法,原子力云纹法,扫描电镜云纹法,聚焦离子束云纹测量微区变形的原理和适用性进行了讨论.应用1200线/毫米的云纹光栅并结合云纹干涉法,电子束云纹法,原子力云纹法,扫描电镜云纹法测量QFP和BGA型电子封装组件的热变形.提出一种新型聚焦离子束云纹法,在MEMS结构上制栅形成FIB扫描云纹,成功的实验结果表明这种方法的可行性.     

三维电子束云纹法

三维电子束(3D电子束)云纹法是一种微尺度三维变形测量方法。该方法通过在试件表面制作高密度光栅,结合双目视觉立体成像技术,在SEM中形成两个角度的电子束云纹图,即可分析获得三维变形信息。考虑到离面变形与面内变形计算时的相互耦合关系,本文对现有的3D电子束云纹法进行了进一步发展,系统推导了3D电子束云纹法的通用理论公式。利用变形前后不同角度拍摄的电子束云纹图,可分别迭代计算出面内变形、离面变形和形貌等信息。对全息光栅鼓泡变形的验证实验证明了本文发展的3D电子束云纹法理论的正确性。     

扫描隧道显微镜（STM）纳米云纹法及相移技术研究

本文提出了应用扫描隧道显微镜（STM）纳米云纹法的测量面内位移的原理。测量中，扫描隧道显微镜的探针扫描线作为参考栅，物质原子昌格栅结构作为试件栅，由这两组栅线干涉形成云纹进行纳米级变形测量。同时，利用PZT控制载物台使试件沿栅线的垂直方向转动，来实现从0到2π的四步相移。文中对扫描隧道显微镜纳米云纹的形成原理和测量方法以及相移技术进行了详尽的讨论。并运用该方法对高纯定向裂解石墨（HOPG）的纳米级变形虚应变进行了测量研究。     

微电子机械系统（MEMS）面内位移的扫描离子束云纹法实验研究

本文提出应用扫描离子束云纹法测量微电子机械系统面内变形的新方法。对该方法的测量原理以及实验技术进行详尽地阐述，通过平行云纹典型实验对本方法的测量精度进行了检验。成功地将扫描离子束云纹法应用于微悬臂梁表面氧化层随时间生长所引起的变形测量，实验结果表明了该方法的可行性。     

第三讲 云纹干涉法

1 引言本篇介绍了云纹干涉法的发展历史,光学原理,实验技术,在断裂测试中的应用及其发展前景。本篇采用的一种非常简单的方法来定量地解释云纹干涉条纹及其形成,使不熟悉波前干涉理论的初学者易于接受,而又不失其理论上的严谨。云纹干涉法(Moire Interferometry)是在经典云纹法基础上发展起来的一种光测力学新方法。它继承了经典云纹法的简易性、全场性、实时性、条纹定域在表面及不受试件材料限制等的优点,加之测量灵敏度高(可达0.25μm),条纹反差好,而越来越受到实验力学工作者的重视。同时,云纹干涉法综合了经典云纹法和全息干涉的概念和技术。尽管它的条纹形成机理和     

SEM扫描云纹法相移技术在MEMS中的应用

本文提出一种扫描电镜（SEM）扫描云纹法的相移新技术，通过SEM系统控制电镜电子束扫描线移动，对获取的云纹图像实现0－2π范围内的四步相移，从而获得了更高的位移测量灵敏度，同时对SEM相移实验技术的原理进行了详细的阐述，并将该技术应用到微电子机械系统构件的虚应变分析中，实验结果证明了该方法的可行性，该方法为微米云纹法的条纹处理提供了一种新途径。     

反射云纹法应用于热交换器管板的应力分析及其光学信息处理

一、引言反射云纹法由Ligtember F.k存1954年提出,在1956年～1970年间由RiederG和Ritler以及Chiang F.P。等1人对其测量光路作较大的改进用反射云纹法可直接测量弯曲变形板表面各点斜率,通过一次差分求得应变值,其测量的精确度可以满足工程上要求,但是反射云纹法要求试件表面具有良好的反射性能,若同时需获得二个方向的斜率,必须使用正交栅,然而此时所得的云纹图象反差很     

显微云纹技术在微电子器件力学测量中的应用

电子工业的不断发展促进了电子器件的微小型化,作为新型产品设计基础的微电子器件可靠 性分析成为人们非常关注的问题. 力学参数的测量可以为可靠性评价提供有价值的实验依据. 概括总结了显微云纹技术的发展,主要介绍了云纹干涉法和扫描显微镜云纹方法及其在 微电子器件全场变形场测量中的应用.     

同时测量U、V场的云纹干涉系统

本文介绍了两种可以同时测量物体变形U、V场的云纹干涉系统.并利用该系统成功地完成了有塑性变形高分子材料的泊松比测量实验.     

测量高温主蒸汽管道蠕变的云纹法研究

本文从云纹法测量物体变形的基本原理出发，推导了测量主蒸汽管道蠕变变形的云纹法计算公式，给出了该方法测量曲面变形的精度分析，并对发电厂高温主蒸汽管道蠕变进行了实测应用。     

断裂测试系列讲座 第二讲 云纹法及其在断裂力学中的应用

1.云纹法(Moire Method) 由粘牢于试件(模型或构件)表面并可随其一起变形的栅片和栅板重迭(图1),栅线间因几何干涉而产生条纹(图2),这种干涉条纹称为云纹。云纹法就是根据这类云纹测定和分析试件的位移场或应变场的实验应力分析方法。     

物体的三维形状或离面变形的自动检测技术

本文采用数字图象处理设备,应用一维傅立叶变换技术和分段线性增强技术,提出了一种建立投影云纹数字图象的新方法,所形成的条纹图象灰度具有严格的正弦或余弦分布特性,结合位相检测技术,可计算出物体的离面高度或离面变形。可完全由计算机进行处理,自动化程度高,并能保证测量精度.最后给出了应用于物体形状检测或离面变形测试的两个实例,实验结果表明了该方法的可行性和可靠性。     

塔宝效应在求缺口应力集中系数中的应用

用普通云纹法研究微小弹性变形时,存在着灵敏度较低的问题.本方利用塔宝效应,产生一个不同栅线距的栅.与原栅形成初始云纹,来增加云纹条纹的密度,从而提高了测量精确度.     

一种基于投影云纹法的三维形貌测量技术及其标定方法

投影云纹法测量物体的三维形貌具有非接触式、快速、全场测量的优势,且计算结果的分辨率和精度都很高。本文提出了一种新的投影云纹系统测量三维形貌的计算和标定方法,这种方法适用于由投影仪直接投影栅线的投影云纹系统,对光路没有特殊相对位置要求,标定过程对设备的要求低,简单易行,仅需一大一小两块平整的标定板即可实现对整个系统的标定。其可行性、正确性以及高精度的特点都被真实物体测量证实。     

影象云纹法在加劲平板稳定性试验研究中的应用

1.引言影象云纹法是实验力学中云纹法的一种。主要用于测量物体表面的离面位移及其型态.该法使用与试件尺寸相当的一块栅板实验法,称为影象云纹法. 影象云纹法的研究在我国近几年才开始.从公开发表的文献看,研究较早的是张世     

遥测自动云纹引伸仪——实时位移测量系统

云纹法是一种新的位移场或应变场测试技术，本文采用云纹法论述的遥测自动云纹引伸仪系统包括云纹引伸仪、位移信息转换和传输装置以及显示接收监测台。由于采用了轮形光栅从而使引伸仪突破了传统的测量限制，从理论上讲，量程可达无穷大。     

用云纹干涉法测量和研究双层钴合金的挠度

运用云纹干涉原理对双层钴-合金材料进行三点弯曲试验,测试其常温与高温条件下的挠度值.通过大量试验,且与千分表测试的挠度值进行比较.结果表明,常温条件下的云纹测试挠度值与千分表法可以达到同样的精确度.同时,该实验方法体现了高温云纹干涉法在材料高温力学性能测试方面的优越性.高温云纹法是非接触式测量,在高温环境下有效地解决了量具高温变形的困难,且结合云纹图像可以对试件受力动态变形情况进行实时观测和分析,是一种较为精确测试常温及高温挠度的新方法.     

剪切散斑:一种光学测量技术及其应用

本文综述了剪切散斑测量技术及其成功的应用领域。剪切散斑技术是一种基于激光的全场、非接触表面变形(位移或应变)测量技术,它无需特殊的隔震装置,克服了因参考光束给全息干涉技术所带来的诸多限制。因此,它是用于现场测量的一个有效工具。剪切散斑测量技术已经得到了工业界的普遍认同,尤其是在工业无损检测方面更显示出了它的极大优势,它可以通过识别被诱发的异常变形来显示物体的内部缺陷。剪切散斑的应用还包括应变测量、材料特性表征、残余应力评估、泄漏探测、振动分析和三维形貌测量等。     

基于时域位相分析的云纹法形貌测量技术研究

采用影像云纹法和时域相位分析技术研究了物体形貌测量的新方法.通过研制高精度旋转平台,利用栅线旋转的方式使栅线的空间频率以一定的规律变化,使物体的离面高度与该点的灰度变化率有关.在利用FFT确定灰度变化频率时,采用补零的方法提高了频率的确定精度,从而有效地提高了物面形貌测量的精度.实验发现:当补零倍数达到原始长度的128倍时,使用空间频率为5 l/mm的栅线精度可以达到0.02mm.本文讨论了该方法相关技术参数的选取方法,给出了标定实验和利用该测量系统实际测量门齿生长发育沟的实例,阐述了牙齿表面形貌数字化在牙科修复手术中的意义.通过具体标定过程与应用实例,证明了本文提出的测量方法提高了测量精度,简化了测量过程,在云纹干涉形貌测量领域有了新的突破.