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采用sol-gel工艺, 在分层快速退火的工艺条件下成功地制备了高质量Si基Bi4Ti3O12铁电薄膜. 研究了Si基Bi4Ti3O12薄膜的生长行为、铁电性能、C-V特性和疲劳特性. 研究表明: Si基Bi4Ti3O12薄膜具有随退火温度升高沿c轴择优生长的趋势; 退火温度通过影响薄膜的晶粒尺寸、生长取向和薄膜中载流子的浓度来改变Si基Bi关键词:
sol-gel法
铁电薄膜
4Ti3O12')" href="#">Bi4Ti3O12
C-V特性 相似文献
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采用sol-gel工艺,在分层快速退火的工艺条件下成功地制备了高质量Si基BiTi3O12铁电薄膜.研究了Si基Bi4Ti3O12薄膜的生长行为、铁电性能、C-V特性和疲劳特性.研究表明:Si基Bi4Ti3O12薄膜具有随退火温度升高沿c轴择优生长的趋势;退火温度通过影响薄膜的晶粒尺寸、生长取向和薄膜中载流子的浓度来改变Si基Bi4Ti3O12薄膜的铁电性能;Ag/Bi4Ti3O12/p-Si异质结的C-V特性曲线呈现顺时针回滞,可以实现极化存储;109次极化反转后Bi4Ti3O12薄膜的剩余极化仅下降12%,具有较好的疲劳特性. 相似文献
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采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺在Pt/TiO2/SiO2/p-Si(100)衬底上制备出Bi4Ti3O12(BIT)和Bi3.25La0.75Ti2.97V0.03O12(BLTV)铁电薄膜,研究了La,V共掺杂对BIT薄膜的晶体结构和电学性能的影响.BIT薄膜为c轴择优取向,BLTV薄膜为随机取向,拉曼光谱分析表明V掺杂降低了TiO6(或VO6)八面体的对称性,也增强了Ti—O键(或V—O键)杂化.BLTV薄膜的剩余极化Pr为25.4μC/cm2,远大于BIT薄膜的9.2μC/cm2,表现出良好的铁电性能.疲劳、漏电流测试显示BLTV薄膜具有优良的抗疲劳特性和漏电流特性,表明La,V共掺杂能有效地降低薄膜中的氧空位. 相似文献
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采用Sol-Gel工艺低温制备了Si基Bi3.25La0.75Ti3O12铁电薄膜.研究了退火温度对薄膜微观结构、介电特性与铁电性能的影响.500℃退火处理的Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜未能充分晶化,晶粒细小且有非晶团聚,介电与铁电性能均较差.高于550℃退火处理的Bi3.25La0.75
关键词:
铁电薄膜
3.25La0.75Ti3O12')" href="#">Bi3.25La0.75Ti3O12
Sol-Gel工艺 相似文献
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采用溶胶-凝胶法,在氧气氛中和层层晶化的工艺条件下,成功地制备了沉积在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上的铁电性能优良的Sr2Bi4Ti5O18 (SBTi)薄膜,并研究了SBTi薄膜的微结构、表面形貌、铁电性能和疲劳特性.研究表明:薄膜具有单一的层状钙钛矿结构,且为随机取向;薄膜表面光滑,无裂纹,厚度约为725nm;铁电性能测试显示较饱和、方形的电滞回线,当外电场强度为275kV/cm时
关键词:
溶胶-凝胶法
铁电薄膜
2Bi4Ti5O18')" href="#">Sr2Bi4Ti5O18 相似文献
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原子层沉积制备Ta_2O_5薄膜的光学特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
以乙醇钽[Ta(OC2H5)5]和水蒸气为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法分别在基板温度为250℃和300℃的K9和石英衬底上制备了Ta2O5光学薄膜。采用分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等手段对薄膜的光学特性、微结构和表面形貌进行了研究。结果表明,用ALD方法制备的Ta2O5薄膜在刚沉积和350℃退火后均为无定形结构,而250℃温度下沉积的薄膜其表面粗糙度低,聚集密度很高,光学均匀性优,在中紫外到近红外均表现出很好的光学特性,可以作为高折射率材料很好地应用于光学薄膜中。 相似文献
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采用有机金属沉积法(MOD)制备了Bi4Ti3O12(BIT)和Bi3.25La0.75Ti3O12(BLT)前驱体溶液,分别在单晶硅基片上制备了BIT和BLT铁电薄膜.前驱体溶液的干凝胶粉体和铁电薄膜分别用红外光谱(FTIR)、拉曼光谱和环境扫描电镜(ESEM)进行了表征.结果表明600℃时晶粒实现了由焦绿石相向类钙钛矿相结构的完全转变;温度升高,晶粒尺寸增大,薄膜结晶效果得到改善;引入镧使Ti-O和Bi-O键吸收峰位置向低波数频移,高温时频移率较大;500℃热处理时,干凝胶中乙二醇甲醚、乙酰丙酮完全分解,温度超过600℃后,残留的水及硝酸根离子挥发或分解. 相似文献
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利用Sol-Gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Bi4Ti3O12和Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜,研究了La掺杂对Bi4Ti3O12薄膜的晶体结构、铁电性能和疲劳特性的影响,发现La掺杂没有改变Bi4Ti3O12薄膜的基本晶体结构,并且提高了Bi4Ti3O12铁电薄膜的剩余极化值和抗疲劳性能,对La掺杂改善Bi4Ti3O12铁电薄膜性能的机理进行了讨论.
关键词:
铁电性能
4Ti3O12薄膜')" href="#">Bi4Ti3O12薄膜
3.25La0.75Ti3O12薄膜')" href="#">Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜
sol-gel法
La掺杂 相似文献
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Scalable fabrication of Bi_2O_2Se polycrystalline thin film for near-infrared optoelectronic devices applications 下载免费PDF全文
《中国物理 B》2021,30(10):106803-106803
We present a controlled, stepwise formation of layered semiconductor Bi_2O_2 Se thin films prepared via the vapour process by annealing topological insulator Bi_2Se_3 thin films in low oxygen atmosphere for different reactions. Photodetectors based on Bi_2O_2 Se thin film show a responsivity of 1.7×10~4 A/W at a wavelength of 980 nm. Field-effect transistors based on Bi_2O_2 Se thin film exhibit n-type behavior and present a high electron mobility of 17 cm~2/V·s. In addition, the electrical properties of the devices after 4 months keeping in the air shows little change, implying outstanding air-stability of our Bi_2O_2 Se thin films. From the obtained results, it is evident that low oxygen annealing is a surprisingly effective method to fabricate Bi_2O_2 Se thin films for integrated optoelectronic applications. 相似文献
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Molecular dynamics simulations of cascade damage near the Y_2Ti_2O_7 nanocluster/ferrite interface in nanostructured ferritic alloys 下载免费PDF全文
A comparative study of cascades in nanostructured ferritic alloys and pure Fe is performed to reveal the influence of Y_2Ti_2O_7 nanocluster on cascades by molecular dynamics simulations. The cascades with energies of primary knock-on atom(PKA) ranging from 0.5 keV to 4.0 keV and PKA's distances to the interface from 0 to 50 are simulated. It turns out that the Y_2Ti_2O_7 nanocluster can absorb the kinetic energy of cascade atoms, prevent the cascade from extending and reduce the defect production significantly when the cascades overlap with the nanocluster. When the cascade affects seriously the nanocluster, the weak sub-cascade collisions are rebounded by the nanocluster and thus leave more interstitials in the matrix. On the contrary, when the cascade contacts weakly the nanocluster, the interface can pin the arrived interstitials and this leaves more vacancies in the matrix. Moreover, the results indicate that the Y_2Ti_2O_7 nanocluster keeps stable upon the displacement cascade damage. 相似文献
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采用化学溶液方法在(111)Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Bi3.25La0.75Ti3O12(BLT)和Bi3.25Nd0.75Ti3O12(BNT)薄膜.x射线衍射测试表明,两种薄膜都为单一的层状钙钛矿结构.扫描电子显微镜分析显示,BNT薄膜由大而均匀的棒状晶粒组成,BLT薄膜的组成晶粒则较小.采用紫外一近红外椭圆偏振光谱仪测试了200-100nm波长范围的椭圆偏振光谱,拟合得到薄膜的光学常数(折射率和消光系数)和厚度,确定BLT薄膜的禁带宽度分别为4.30和3.61eV,并采用单电子振子模型分析了薄膜在带间跃迁区的折射率色散关系. 相似文献
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钛酸钾晶须通常是直径和长度在微米量级的无机晶须 ,可用K2 O·nTiO2 表示其组成 ,n =1,2 ,4 ,6 ,8,[1] .六钛酸钾晶须具有耐高温、耐腐蚀、纤维拉伸强度高、导热系数小、红外反射率高 ,硬度低的特点 .在民用及工业方面有很多应用 .如催化剂载体、离子吸附交换材料、高温过滤器、绝热材料、耐摩擦材料等[2~ 5] .钛酸钾纳米线的合成尚未见报道 .我们在用电弧产生的N2 等离子体热解焦油时 ,生成了一种直径 9~ 2 0nm长约几百纳米线 .X射线能谱定量分析表明这种纳米线化学组成为K2 Ti8O15,是一种新的非化学计量化合物 .试验装… 相似文献
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SiO2薄膜的制备方法与性质 总被引:2,自引:0,他引:2
本文采用光电子能谱和扫描电镜方法研究了溅射沉积条件对SiO2薄膜的表面上的针孔、薄膜原子结构的影响,并分析了不同条件下制备的SiO2薄膜中电子的输运过程. 相似文献
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利用微带谐振技术研究了MgB2/A12O3和YBa2Cu3o7-X/LaAlO3(YBCO/LAO)超导薄膜的微波性质.一个颗粒尺寸模型被用来分析超导薄膜的穿透深度和表面电阻.结果表明,对于高质的YBCO/LAO,微波性质主要由颗粒决定.对于低质的MgB2/Al2O3,该薄膜的微波性质主要由颗粒边界决定. 相似文献