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针对先进光刻调焦调平传感器系统的增益系数工艺相关性开展理论仿真与实验研究。建立了增益系数工艺相关性理论模型,仿真分析了调焦调平传感器增益系数与测量误差随不同光刻工艺材料膜层厚度的变化规律。在自研实验系统上对表面涂覆不同厚度SiO2薄膜的硅片样品进行了实验验证,发现实验与理论仿真得到的增益系数与测量误差随膜层厚度的变化规律一致。仿真与实验研究结果表明,调焦调平传感器的工艺相关性测量误差在SiO2膜层厚度为250 nm和690 nm附近时分别出现约55.9 nm和36.6 nm的误差峰值。采用表面覆盖特定膜层的硅片来标定光刻机调焦调平传感器,可以有效减小增益系数工艺相关性的影响和测量误差。本研究结果对于光刻精密对焦控制、光刻工艺优化具有重要的参考意义。 相似文献
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LD端面泵浦Nd:YAG激光器热效应研究 总被引:6,自引:3,他引:6
考虑晶体特性参量如热导率、热折射率梯度以及热膨胀系数等随温度变化的影响,通过求解热流方程给出了LD纵向泵浦Nd:YAG激光器激光介质的热透镜和热负荷比测量的表达式,分析了影响热负荷比测量的因素,对以前报道的热负荷比实验测量值与理论值存在的差别给予解释,理论分析与以往的实验结论相符. 相似文献
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为实现二极管泵浦激光器在宽温度环境下免温控稳定工作,分析了激光器泵浦源发射光谱对激光系统稳定性的影响。综合考虑了泵浦过程中的能量利用率,提出了激光器免温控泵浦源光谱优化设计方案。所提方案可有效降低泵浦源波长漂移对激光器系统吸收率和热焦距的影响,实现激光器宽温度范围内免温控工作。在-40~60℃工作温区内,计算了不同吸收长度和掺杂浓度(原子数分数)的Nd···YAG激光器系统泵浦源的最优发射光谱。从理论角度而言,与一般无温控单波长激光二极管(LD)泵浦源相比,利用所提优化方案获得的泵浦源,可以将激光器系统的工作稳定性明显提高,将系统的泵浦光吸收率波动和晶体热焦距波动分别降低到13%和16%以内。对吸收长度为30 mm,掺杂浓度为0.8%的Nd···YAG激光器系统,设计了一种双波长LD泵浦源(中心波长为803.7 nm@10℃和809.2 nm@10℃,对应比重为68.4%和31.6%)。模拟结果表明,在-40~60℃温度范围内,晶体对该泵浦光的吸收率可保持在90.7%以上,泵浦光吸收稳定性和晶体热焦距稳定性分别为91.4%和85.4%。 相似文献
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400mJ二极管泵浦Nd:YAG圆棒激光器采用主振荡器 放大器方式。谐振腔采用失调低灵敏度单横模设计,以减少外界环境干扰和机械振动,提高激光器的稳定性。谐振腔采用平凹腔,谐振腔腔长0.6m,Nd:YAG棒为φ2,谐振腔基模腰斑半径为0.5mm。泵浦模块采用5个二极管激光器环形对称泵浦,根据实验测得的泵浦模块热焦距f=0.53m,采用一对平凹负透镜进行补偿,补偿后的泵浦模块热焦距为2.0m,谐振腔全反射镜的曲率半径为1.02m,离泵浦模块中心的距离0.24m。 相似文献
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