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从征 《激光与光电子学进展》1982,19(3):21
不久前出现了以卤化汞蒸汽产生激光的报导,辐射光谱在可见区:λ=443毫微米(HgJ*),502毫微米(HgBr*)和558毫微米(HgCl*)。对这种激光器的兴趣是由于它有高的预期激光效率、高的脉冲功率和实现周期脉冲运转的可能性。 相似文献
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介绍一台放电泵浦的XeCl准分子激光器。其最大单脉冲能量550mJ,在280Hz工作时输出功率达106W。 相似文献
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射频辉光放电硅烷等离子体的光发射谱研究 总被引:6,自引:6,他引:0
通过对RF—PECVD技术沉积氢化非晶/微晶硅(a—Si:H/μc—Si:H)薄膜沉积过程中硅烷(SiH4)等离子体的光发射谱(OES)原位测量,系统地研究了不同的等离子体工艺条件下,特征发光峰强度(ISiH、IHα和IHβ)的变化规律。结果表明:随着SiH4浓度增大,ISiH^*单调增大且在不同浓度范围内变化快慢不同,而IHα和IHβ峰表现为先增后减的变化,最大值位于3—5%的SiH4浓度之间;工作气压的增大,各特征发光峰均呈现出先增后减的变化,但最大值对应的工作气压点有所不同;增大等离子体功率,所有的特征发光峰单调增加,但在不同的功率区间内变化快慢存在明显差异;气体流量在40一75sccm范围内变化时对特征发光峰的影响最为显著,更低流量时变化很小,更高流量则趋于饱和;衬底温度不仅影响生长表面的发应,对SiH4分解机制的影响不容忽视。 相似文献
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中国科学院安徽光学精密机械研究所承担国家“七五”重点科技攻关项目“激光技术”的子专题“横向放电激励的小功率准分子激光器”合同.在完成国家合同任务的同时(5W器件),安徽光机所自行研制了10W级器件,形成75系列准分子激光器.在设计制造过程中,科技人员参考国内外技术资料和产品,着重吸收自己的科研成果. 相似文献
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在一台X射线预电离的XeF(B→X)准分子激光器中,我们应用磁开关隔离的预脉冲-主脉冲放电激励电路和磁脉冲压缩技术,研究了激光输出能量和转换效率对气体组份、总气压、电路参数和延迟时间的依赖关系,激光性能获得较大改进。当放电体积为0.11L,气体混合物(NF_3/Xe/Ne)的总气压为2.5×10~5 Pa时,激光输出能量345 mJ,总效率达3%。 相似文献
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在一台X射线预电离的XeF(B→X)准分子激光器中,我们应用磁开关隔离的预脉冲-主脉冲放电激励电路和磁脉冲压缩技术,研究了激光输出能量和转换效率对气体组份、总气压、电路参数和延迟时间的依赖关系。 相似文献
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为更好地评价电磁屏蔽材料对静电放电电磁脉冲的屏蔽效能,对静电放电脉冲激励下的材料的屏蔽效能进行了时域测试研究。以静电放电电磁脉冲为注入源,结合宽带同轴测试夹具和数字存储示波器,对一种平面材料的屏蔽效能进行了时域测试。通过得到的屏蔽前后的信号,计算了不同激励电压下该材料的峰值屏蔽效能,结果表明激励电压的大小对该材料的电磁脉冲屏蔽效能影响不大。通过对屏蔽前后信号的FFT 变换计算了其频域幅频特性曲线,与频域实验测试所得的幅频特性曲线进行了对比,结果比较一致。表明该时域测试系统能够可靠地评价材料对高压静电放电电磁脉冲激励下的衰减能力。 相似文献