基于全电荷格林函数的MEI方法在超高速集成电路互连线参数提取中的应用

本文提出了将全电荷格林函数用于测度不变方程（ＭＥＩ）法中，即将全电荷格林函数代替完全格林函数积分以求得测量函数从而决定测度不变方程．并以这种ＭＥＩ法计算了某些多导体互连线的分布电容矩阵．     

多导体互连线分布电容矩阵的一种近似格林函数算法

本文提出了一种计算多层介质多导体互连线系统分布电容，分布电感矩阵的简单有效的方法，本方法能适用于横截形状为矩形或无限薄的多导体系统，主要是利用谱域格林函数直接求出空域格林函数的近似表达式，采用一定的加速方法后，在保持必要的计算精度的基础上能明显提高了计算速度，计算结果与文献符合很好。     

高速数字集成电路互连线的时域分析

本文首次把波形松驰迭代法和拉普拉斯数值变换相结合,提出了一种分析具有线性终端的耦合互连传输线的新方法。与其它方法相比,这种方法分析简单,计算量小,适用范围广,更加可靠和有效。     

高速集成电路芯片内互连线的计算机辅助分析

分析了高速集成电路芯片内互连线的时域特性。首先营运全波方法提取互连线的频变等效电路参数。在此基础上运用数值反拉普拉斯变换（ＮＩＬＴ）法分析互连电路的时域响应。在分析过程中,提出或运用了一些提出精度或效率的技术和方法。分析结果表明,该方法很适合高速集成电路芯片内至连线的计算机辅助分析。     

集成电路铜互连线及相关问题的研究

论述了Cu作为互连金属的优点、面临的主要问题及解决方案,介绍了制备Cu互连线的双镶嵌工艺及相关工艺问题,讨论了Cu阻挡层材料的作用及选取原则,对低k材料的研究的进展情况也了简要的介绍。     

高速IC互连线分布参数提取的一种新方法:采用Pade逼近的介质格林函数法

本文提出采用Ｐａｄｅ逼近的介质格林函数方法计算多导体互连线分布参数。由于采用了分层介质的格林函数，只需在导体表面进行剖分，大大降低了未知变量的规模，本文首先提出利用Ｐａｄｅ逼近对Ｌａｐｌａｃｅ方程的级数形式的格林函数进行收敛性加速。文中给出了加速收敛的结果，表明这种方法是很有效的。     

有限厚度的平面型多导体互连线系统静态参量的直线法提取

本文首次给出了用直线法对有限厚度平面多导体互连线系统进行静态参量提取的方法。其关键之处是如何处理常数边界条件，以及非齐次常数微分方程组的去耦问题。在对定解问题求解之后，利用电场分布可以求得导体侧壁上的电荷的分布。从而得到有限厚度多介质层，多层体互连线的分布电容矩阵。     

一种提了以多导体互连线等效电路频变分布参数的时域全波方法

本文给出了一种基于时域有限差分法，提取多导体互连线等效电路频变分布参数的时域全波方法。计算结果表明：这种方法是可靠的。     

一种提取多导体互连线等效电路频变分布参数的时域全波方法

本文给出了一种基于时域有限差分（ＦＤＴＤ）法，提取多导体互连线等效电路频变分布参数的时域全波方法．提取出的频率分布参数可用来研究含有多种导体互连线的高速集成电路（ＶＬＳＩ）系统的时域响应．由于在全波分析中电压和电流没有唯一的定义，本文还给出了基于不同电压、电流定义而得到的电路参数之间的转换关系．计算结果表明：这种方法是可靠的．     

NILT法求解高速集成电路芯片内频变互连线的瞬态响应

频变参数互连线的瞬态响应分析在高速集成电路的设计很重要,本文运 拉普拉斯变换法分析高速集成电路中频变参数互加线的时域响应。提出了一种离散频变参数的拟合方法,应用于多导体传输线的复频域建模。     

高速集成电路芯片内互连线的计算机辅助分析

分析了高速集成电路芯片内互连线的时域特性。首先运用全波方法提取互连线的频变等效电路参数。在此基础上运用数值反拉普拉斯变换 ( NILT)法分析互连电路的时域响应。在分析过程中 ,提出或运用了一些提高精度或效率的技术和方法。分析结果表明 ,该方法很适合高速集成电路芯片内互连线的计算机辅助分析。     

基于体积分方程的三维集成电路互连线电磁快速求解器

三维集成电路通过高密度金属互连线实现芯片在三维空间上互连,其电路参数的快速提取是保证信号完整性良好设计的关键技术之一.文中基于体积分混合势积分方程（mixed potential integral equation,MPIE）方法,结合多层平面介质格林函数与预纠正快速傅里叶变换（pre-corrected fast fourier transformation,pFFT）方法,通过对互连线内趋肤电流准确建模,实现对互连线结构S参数的快速准确提取.通过对典型互连线结构的仿真表明,本文求解器得到的结果与商业软件HFSS结果在网格剖分考虑趋肤效应时,其精度相当,计算效率可提高50%以上.所以本文方法在三维集成电路互连线参数快速提取方面具有一定的应用前景.     

超深亚微米集成电路互连线几何变异提取方法

硅片上互连线几何变异提取对于超深亚微米工艺节点下集成电路可制造性设计研究开发极其关键.这里基于电阻和电容等电学测试结构相应的数学计算公式,阐述进行互连线几何变异提取的方法,分析所采用的测试结构与计算公式的可行性,讨论误差来源,提出仿真工作与测试芯片设计原则.目的在于解决工艺建模与寄生参数建模过程中电阻和电容变异之间紧密的空间相关性,从而易于建立用于集成电路参数成品率评估计算的可制造性设计模型.     

多芯片组件带网孔接地板多导体互连线结构的电磁特性分析

本文给出一基于准静态场的直线法,来分析多芯片组件（ＭＣＭ）带有网孔接地板的多层多导体互连线结构的分析方法,以此提取等效传输线的特性参数。最后给出几个实例的计算结果。     

基于FDTD模拟综合VLSI互连线的时域特征模型

本文提出了大规模集成电路（ＶＬＳＩ）中互连线的特征模型，利用进域有限差分法（ＦＤＴＤ）模拟的响应电压和电流波形以及离散逆卷积技术，该特征模型直接在时域被数值综合。利用该模型，任何激励和负载条件下互连线的瞬态响应波形可以通过离散卷积运算迅速获得。     

一种基于概率解释的新型互连线时延Slew模型

基于概率解释的互连线时延模型具有效率高,实现简单,估计准确等特点,在亚100纳米工艺IC设计及验证中具有较好的应用前景.基于概率解释的互连线时延模型往往需要大量的查表计算,对效率及计算精度都存在一定的影响,而且有些模型不能进行Slew的估计.本文提出了一种基于BS统计分布的互连线时延模型,完全避免了查表运算而且可直接用于Slew估计.90纳米工艺TCAD仿真实验结果表明,该模型在效率、精度、实现难易程度等方面具有一定的优势,对亚100纳米VLSI静态时序分析及相关EDA工具开发也有一定的参考价值.     

基于偏心Preissmann格式的高速互连线分析

 将偏心Preissmann格式应用于高速电路互连线分析,导出一种互连线离散模型.通过调整偏心参数,可以获得二阶精度的差分格式.数值仿真表明,该方法能够应用于一般互连线的瞬态分析,改善间断之后的数值扰动现象,并与特征法进行了比较,说明了方法的有效性.     

三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法

基于直接边界元素法,提出一种边界电容矩阵概念,从而实现了三维互连电容的层次式提取算法．该算法将三维求解区域划分为若干小块,对每个小块分别计算其边界电容矩阵,再通过层次式合并算法便可得到全耦合互连电容矩阵．数值实验表明,本方法进行电容提取的速度比商业软件SpiceLink、虚拟多介质快速算法、区域分解法等均快一个数量级以上．     

三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法

基于直接边界元素法,提出一种边界电容矩阵概念,从而实现了三维互连电容的层次式提取算法.该算法将三维求解区域划分为若干小块,对每个小块分别计算其边界电容矩阵,再通过层次式合并算法便可得到全耦合互连电容矩阵.数值实验表明,本方法进行电容提取的速度比商业软件SpiceLink、虚拟多介质快速算法、区域分解法等均快一个数量级以上.     

基于小波加速的三维导体结构频变电感参数提取

本文首次次多分辨率稀疏化技术引入有耗三维导体结构频变电感参数的提取过程中,通过多分辨率分解对稠密的部分电感矩阵进行稀疏比,有效地加速了对紧耦合部分元等效电路的修正节点分析过程。分别计算了单根导体以及一个矩形螺旋电感的例子。数值结果表明该方法可以显著提高参数提取的效率。