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陶瓷电容器化学镀铜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
陶瓷电容器化学镀铜的研究袁永明万家义王惠萍(四川大学化学系成都610064)关键词陶瓷电容器以铜代银化学镀中图分类号O69陶瓷电容器是最基本的电子元件,目前国内外大都采用涂银(印银)-烧银法制作银电极。这种方法需要消耗大量的贵金属银,设备投资贵、成本... 相似文献
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随着半导体集成度的不断提高,铜互连线的电阻率迅速提高。当互连线宽度接近7 nm时,铜互连线的电阻率与钴接近。IBM和美国半导体公司(ASE)已经使用金属钴取代铜作为下一代互连线材料。然而,钴种子层的形成和超级电镀钴填充7 nm微孔的技术工艺仍是一个很大的挑战。化学镀是在绝缘体表面形成金属种子层的一种非常简单的方法, 通过超级化学镀填充方式, 直径为几纳米的盲孔可以无空洞和无缝隙的方式完全填充。本文综述了化学镀钴的研究进展,并分析了还原剂种类对化学镀钴沉积速率和镀膜质量的影响。同时, 在长期从事超级化学填充研究的基础上, 作者提出了通过超级化学镀钴技术填充7 nm以及一下微盲孔的钴互连线工艺。 相似文献
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近几十年,二次锂电池作为重要的储能装置得到迅猛发展,而开发高性能的锂电池电极材料一直是电化学能源领域的研究热点之一。与传统无机正极材料相比,聚合物正极材料具有比容量高、柔软性好、廉价易得、环境友好、加工方便、可设计性强等诸多优点。本文综述了导电聚合物、共轭羰基聚合物以及含硫聚合物正极材料的结构特点、电极反应机理、电化学性能和近五年来的重大研究进展,总结了这三类聚合物电极材料的优缺点,并重点介绍了含硫聚合物电极材料中存在的问题及改进手段,最后提出了综合这三类聚合物优点的含硫共轭导电聚合物将会是该领域的研究方向。 相似文献
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具有纳米结构的导电聚合物因其诱人的应用前景越来越引起人们的重视。本文综述了聚苯胺、聚吡咯以及聚噻吩等导电聚合物的零维、一维、二维以及三维纳米结构的合成方法,并介绍了聚合物纳米结构的表征以及研究现状和应用前景。参考文献60篇。 相似文献
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A new method is described for the electroless deposition of copper onto glass.Commercially available glass slide was modified with γ-aminopropyltrimethoxysilane to form self-assembled monolayer (SAM) on it .Then it was dipped directly into PdCl2 solution instead of the conventional SnCl2 sensitization followed by PdCl2 activation.Experimental results showed that the Pd^2 ions from PdCl2 solution were coordinated to the amino groups on the glass surface resulting in the formation of N-Pd complex.In an electroless copper bath containin a formaldehyde reducing agent,the N-Pd complexes were reduced to Pd^0 atoms,which then acted as catalysts and initiated the deposition of copper metal.Although the copper deposition rate on SAM-modified glass was slow at the beginning,it reached to that of conventional method in about 5min. 相似文献
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Electroless Copper Plating on Liquid Crystal Polymer Films Using Dimethylamine Borane as Reducing Agent 下载免费PDF全文
Dimethylamine borane (DMAB) was used in electroless copper plating on liquid crystal polymer (LCP) films. An orthogonal test was applied to optimize the plating condition. With Cu film resistivity as the evaluation index, the optimum plating condition is: 10 g/L of CuSO4 ? 5H2O, 14 g/L of EDTA‐2Na, 6 g/L of DMAB, 9.5 of pH value and 50 °C. As pH value increases, the Cu film resistivity decreases and the depo‐ sition rate increases. As temperature increases, the Cu film resistivity decreases first and then increases with a minimum at 50 °C while the deposition rate increases first and then decreases with a maximum at 50 °C. The decreased Cu film resistivity can be attributed to the occurrence of CuO. The adhesive strength of copper layer to LCP film is constant at pH values lower than 8.5 and decreases slightly with the increase in pH value. As temperature increases, the adhesive strength decreases slightly. The decreased adhesive strength with both pH and temperature may be a result of an increased corrosion attack from the bath to the surface of LCP films. Low Cu film resistivity and high deposition rate as well as high adhesive strength can be obtained using DMAB reducing agent. 相似文献
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超级化学镀铜填充微道沟的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
超级化学铜填充技术不仅可以应用于半导体超大集成电路铜互连线, 而且可以应用于三维封装. 研究了不同浓
度、不同分子量的PEG 对以甲醛为还原剂的化学镀铜溶液中铜的沉积速率的影响. 随着添加剂PEG 浓度和分子量的
增大, 化学铜的沉积速率明显降低. 电化学研究结果表明PEG 通过抑制甲醛的氧化反应降低化学铜的沉积速率, PEG
分子量越大, 对化学铜的抑制作用越强. 利用PEG-6000 对化学铜的抑制作用和在溶液中低的扩散系数, 采用添加
PEG-6000 的化学镀铜溶液, 成功地实现了宽度在0.2 μm 以下微道沟的超级化学填充. 就PEG 的分子量、微道沟的深
径比等因素对超级化学铜填充的影响也做了研究. 相似文献
度、不同分子量的PEG 对以甲醛为还原剂的化学镀铜溶液中铜的沉积速率的影响. 随着添加剂PEG 浓度和分子量的
增大, 化学铜的沉积速率明显降低. 电化学研究结果表明PEG 通过抑制甲醛的氧化反应降低化学铜的沉积速率, PEG
分子量越大, 对化学铜的抑制作用越强. 利用PEG-6000 对化学铜的抑制作用和在溶液中低的扩散系数, 采用添加
PEG-6000 的化学镀铜溶液, 成功地实现了宽度在0.2 μm 以下微道沟的超级化学填充. 就PEG 的分子量、微道沟的深
径比等因素对超级化学铜填充的影响也做了研究. 相似文献
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化学镀铜过程混合电位本质的研究 总被引:5,自引:0,他引:5
现场测量了铜基和陶瓷基化学镀铜过程混合电位-时间曲线(Emix-t),成功地检测到了化学镀诱发过程.考察了添加剂和络合剂的浓度以及pH值对Emix-t曲线的影响,结合阴、阳极极化曲线及双电层理论对各种影响因素进行了讨论.新生铜活化的铜基化学镀铜的诱发过程是一个缓慢激活过程,所对应的Emix-t曲线是一个稍微倾斜的台阶,这不同于钯活化的基体的诱发过程.通过对不同活化工艺的Emix-t曲线的比较,发现较高的活化温度能明显减少活化时间,而且还可加速诱发过程,从而提高化学沉积铜的速度. 相似文献
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玻璃表面的无钯活化化学镀镍 总被引:16,自引:0,他引:16
在非金属基体上化学镀镍 ,一般要先在基体上形成一层化学镀的催化剂 ,传统工艺是采用PdCl2 SnCl2 活化 敏化法[1 ] 。该工艺处理过程复杂 ,而且使用有毒的PdCl2 ,其价格昂贵。因此无钯活化法将带来巨大的经济效益和社会效益。我们曾在这方面进行了有益的尝试 ,如将玻璃表面经喷雾热解形成ZnO ,然后吸附银盐 ,活化还原 ,再化学镀[2 ] 。李兵等[3] 研究了非金属材料无钯催化活化工艺。研究了活化时间及温度对覆盖度的影响 ,但未给出具体活化液配方。本文提出了玻璃表面的一种无钯活化镀镍液配方 ,该配方由醋酸镍、甲醇、柠檬酸钠和氨组… 相似文献