用于传感器和执行器封装的键合技术

本文简要介绍了用于传感器和执行器封装的硅一硅键合,硅一玻璃阳极键合及基于表面修饰工艺的选择键盒技术;讨论了如何消除键合晶片之间空隙的方法。     

未来的传感器和执行器

本文简单地评述了微传感器和执行器的发展概况。     

自感知执行器—传感器、执行器集成新概念

总结了传感器与执行器集成的两种方式,即结构集成和功能集成,功能集成就是自感知执行器,如果待测信号能从执行器的控制信号中分离出来,理论上讲基于电磁耦合和机电耦合等可逆效应的换能器都可作自感知执行器,重点分析了压电材料作自感知执行器的物理基础,基于应变速度电桥电路制成了压电陶瓷自感知执行器,实验表明能有效抑制悬臂梁的振动。     

铁电薄膜材料及其制备技术的发展

综述了铁电薄膜材料及铁电薄膜制备技术的发展概况。阐述了几种典型铁电薄膜材料及主要制备技术的特点。     

铁电存储器研究进展

近几年来,铁电存储器研究取得了很大进展.铁电存储器因其所具有的许多优越性和良好的应用前景而受到人们的广泛关注和重视.本文介绍了铁电存储器的工作原理及设计与制作方法.并对其研究现状及进一步发展趋势作了简要的评述.     

铁电微电容的制作工艺

研究了铁电电容的制作工艺，摸索了Ｐ（Ｌ）ＺＴ铁电薄膜及上、下电极材料的微细图形加工工艺条件，总结出切实可行的工艺流程及相应的工艺条件。     

压电和铁电薄膜及其应用的发展趋势

本文讨论了压电和铁电薄膜材料及其在固体器件中应用的发展趋势。薄膜生长技术的进展,为压电和铁电薄膜集成固体器件在各个领域的应用开辟了广阔的前景。ZnO和AIN薄膜将广泛地用于SAW和BAW器件。特别是成功地制作了薄膜体声波谐振器和高次谐波体波谐振器。以PbTiO_3为基的PZT和PLZT固溶体外延薄膜将应用于热电探测器和SAW器件。在实现了对多层薄膜的界面结构及其特性的成功控制之后,铁电薄膜将在铁电存储和集成光学领域发挥重要作用。     

铁电存储器和IC卡

铁电薄膜与半导体集成产生了新一代非易失存储器，与传统的半导体非易失存储器比较具有突出的优点，是新一代ＩＣ卡的理想存储芯片。     

铁电薄膜的特性、制备及应用

铁电薄膜材料具有自发极化，且其方向随外电场反转．它还具有压电效应、热释电效应等，因此在不挥发存贮器、压力传感器、红外传感器等方面有广泛的应用。铁电薄膜制备工艺与标准ＣＭＯＳ工艺、双极型集成电路工艺以及ＧａＡｓ集成电路工艺相容，使集成铁电技术取得长足的发展。一门崭新的集半导体、电介质等学科于一体的集成铁电学正在崛起。     

Textile Technology for Soft Robotic and Autonomous Garments

Textiles have emerged as a promising class of materials for developing wearable robots that move and feel like everyday clothing. Textiles represent a favorable material platform for wearable robots due to their flexibility, low weight, breathability, and soft hand-feel. Textiles also offer a unique level of programmability because of their inherent hierarchical nature, enabling researchers to modify and tune properties at several interdependent material scales. With these advantages and capabilities in mind, roboticists have begun to use textiles, not simply as substrates, but as functional components that program actuation and sensing. In parallel, materials scientists are developing new materials that respond to thermal, electrical, and hygroscopic stimuli by leveraging textile structures for function. Although textiles are one of humankind's oldest technologies, materials scientists and roboticists are just beginning to tap into their potential. This review provides a textile-centric survey of the current state of the art in wearable robotic garments and highlights metrics that will guide materials development. Recent advances in textile materials for robotic components (i.e., as sensors, actuators, and integration components) are described with a focus on how these materials and technologies set the stage for wearable robots programmed at the material level.     

Emerging Thermal Technology Enabled Augmented Reality

In the past decade, remarkable progress has been made in the domain of augmented reality/virtual reality (AR/VR). The need for realistic and immersive augmentation has propelled the development of haptics interfaces-enabled AR/VR. The haptics interfaces facilitate direct interaction and manipulation with both real and virtual objects, thus augmenting the perception and experiences of the users. The level of augmentation can be significantly improved by thermal stimulation or sensing, which facilitates a higher degree of object identification and discrimination. This review discusses the thermal technology-enabled augmented reality and summarizes the recent progress in the development of different thermal technology such as thermal haptics including thermo-resistive heater and Peltier devices, thermal sensors including resistive, pyroelectric, and thermoelectric sensors, which can be utilized to improve the realism of augmentation. The fundamental mechanism, design strategies, and the rational guidelines for the adoption of these technologies in AR/VR is explicitly discussed. The conclusion provides an outlook on the existing challenges and outlines the future roadmap for the realization of next-generation thermo-haptics enabled augmented reality.     

LIGA技术及其在微驱动器中的应用

介绍了LIGA加工工艺以及多层掩模技术、复制技术和外形磨削成型技术的现状。给出LIGA技术在微驱动器中的应用。     

纳米操作系统及其关键技术

纳米技术是21世纪的热点技术,它的基础技术———纳米操作技术是能够精确地改变、控制原子、分子及纳米尺度器件的技术。本文系统介绍了纳米操作系统的组成及其关键技术。给出了纳米操作系统的纳米操作器、传感器、驱动器等主要组成部分。指出了存在的问题和可能的解决方法。并给出了纳米操作系统可能的应用领域。     

制备工艺对厚膜SnO_2气敏元件性能的影响

采用平面丝网印刷技术制备不同厚度的 Sn O2 厚膜气敏试样 ,在不同温度下进行热处理后 ,测量试样对乙醇气体的灵敏度 ,研究热处理温度及敏感膜厚度等对元件性能的影响。结果表明 ,热处理温度和膜厚的均匀性会影响元件的电阻值和灵敏度 ,准确控制热处理温度和膜厚能显著改善元件的灵敏度和一致性。     

小型化混合微波集成电路制造技术

介绍了小型化混合微波集成电路（ＭＨＭＩＣ）的制造工艺,列举了研制的几种典型的小型化混合微波集成电路（ＭＨＭＩＣ）。与传统的混合微波集成电路（ＨＭＩＣ）相比,ＭＨＭＩＣ具有体积小、重量轻、组装密度高、可靠性高、设计和调试灵活方便等显著优点。     

基于压阻效应的厚膜力敏材料及传感器

介绍了厚膜电阻的压阻效应、厚膜力敏材料及传感器。描述了厚膜力敏材料及传感器的现状, 着重阐述了厚膜压力传感器和力传感器的结构和工艺特点, 并讨论了提高其性能的途径及其发展趋势。     

“传感器与检测技术”课程建设探讨

"传感器与检测技术"是一门自动化专业的必修课.本文介绍了该课程教学内容和方法的改革,以取得好的教学效果;实验和实践环节的加强,可以培养学生的动手能力和创新意识;教材和辅助教材的编写能为学生提供丰富的学习资料.